本申請(qǐng)涉及晶硅制備,特別是涉及一種加料裝置及晶硅生長(zhǎng)爐。
背景技術(shù):
1、晶硅制備行業(yè)內(nèi),為了降低生產(chǎn)成本,硅料復(fù)投料是發(fā)展趨勢(shì)之一。相關(guān)技術(shù)中,通常使用石英桶進(jìn)行二次加料操作。然而,石英桶加料過(guò)程中,需要規(guī)避金屬污染風(fēng)險(xiǎn),以避免金屬元素?fù)诫s至硅料中影響晶硅棒的少子壽命。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、基于此,有必要提供一種能夠規(guī)避金屬污染風(fēng)險(xiǎn)的加料裝置及晶硅生長(zhǎng)爐。
2、根據(jù)本申請(qǐng)的第一方面,提供一種加料裝置,所述加料裝置包括:
3、料筒,沿第一方向具有第一端和第二端;
4、提拉機(jī)構(gòu),包括:
5、固定連板,固定于所述料筒的第一端;
6、底錐板,位于所述料筒的第二端;以及
7、拉桿,所述拉桿的一端穿過(guò)所述固定連板,所述拉桿的另一端與所述底錐板連接,以使所述底錐板隨所述拉桿沿第一方向運(yùn)動(dòng)而與所述料筒的第二端的端面抵接或分離;
8、其中,所述提拉機(jī)構(gòu)還包括沿第一方向依次套設(shè)于所述拉桿的第一防護(hù)管和隔離管,所述第一防護(hù)管遠(yuǎn)離所述隔離管的一端與所述固定連板抵接,所述隔離管遠(yuǎn)離所述第一防護(hù)管的一端與所述底錐板抵接;
9、所述第一方向與所述拉桿的縱長(zhǎng)延伸方向彼此平行。
10、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述隔離管位于所述料筒內(nèi);所述第一防護(hù)管的至少部分位于所述料筒外。
11、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述第一防護(hù)管內(nèi)構(gòu)造有沿第一方向間隔設(shè)置的第一限位部和第二限位部;所述第一限位部和所述第二限位部分別從所述第一防護(hù)管的內(nèi)壁向所述第一防護(hù)管的中軸線延伸,以構(gòu)造出供所述拉桿穿過(guò)的第一過(guò)孔和第二過(guò)孔;其中,所述第二限位部相較于所述第一限位部更靠近所述隔離管。
12、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述第一過(guò)孔和所述第二過(guò)孔的內(nèi)徑,均小于所述隔離管的內(nèi)徑。
13、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述第一過(guò)孔的中軸線、所述第二過(guò)孔的中軸線和所述隔離管的中軸線彼此重合。
14、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述第一防護(hù)管遠(yuǎn)離所述固定連板的一端的內(nèi)徑r1滿足條件:r1>r2;
15、其中,所述r2為所述隔離管的外徑。
16、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述第一防護(hù)管包括沿第一方向依次套設(shè)于所述拉桿的第一子管和第二子管;所述第一子管遠(yuǎn)離所述第二子管的一端與所述固定連板抵接,所述第二子管遠(yuǎn)離所述第一子管的一端與所述隔離管抵接;其中,所述第二子管構(gòu)造為能夠至少部分地插入所述第一子管內(nèi),且相對(duì)所述第一子管鎖止于不同伸入長(zhǎng)度。
17、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述第一子管和所述第二子管螺紋連接。
18、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述提拉機(jī)構(gòu)還包括套設(shè)于所述拉桿且位于所述隔離管內(nèi)側(cè)的第二防護(hù)管;所述第二防護(hù)管的長(zhǎng)度l1滿足條件:l3<l1<l2;
19、其中,所述l2為所述拉桿位于所述料筒內(nèi)的部分的長(zhǎng)度,所述l3為所述拉桿沿所述第一方向運(yùn)動(dòng)的最大行程。
20、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述拉桿包括彼此連接的第一部分和第二部分;所述第一部分的外徑大于所述第二部分的外徑,以形成一呈環(huán)形的臺(tái)階面,所述第二防護(hù)管設(shè)置于所述第二部分,所述第二防護(hù)管的一端抵接于所述臺(tái)階面,另一端抵接于所述底錐板。
21、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述第二防護(hù)管為碳化硅管或者氮化硅管。
22、根據(jù)本申請(qǐng)的第二方面,提供一種晶硅生長(zhǎng)爐,包括如上述任一項(xiàng)所述的加料裝置。
23、上述加料裝置及晶硅生長(zhǎng)爐,通過(guò)依次套設(shè)于拉桿的第一防護(hù)管和隔離管,避免拉桿裸露在外,實(shí)現(xiàn)對(duì)拉桿的防硅料碰撞防護(hù),避免硅料加入料筒內(nèi)及由料筒倒入爐內(nèi)時(shí)出現(xiàn)金屬結(jié)構(gòu)裸露問(wèn)題,可以實(shí)現(xiàn)料筒加料過(guò)程的全金屬防護(hù),有效避免料筒加料過(guò)程中硅料與金屬結(jié)構(gòu)接觸后進(jìn)入爐內(nèi)而導(dǎo)致硅料受到金屬污染,有效規(guī)避金屬污染風(fēng)險(xiǎn),從而避免金屬元素?fù)诫s至硅料中影響晶硅棒的少子壽命,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的少子壽命提升,改善產(chǎn)品品質(zhì),提升品質(zhì)穩(wěn)定性。
1.一種加料裝置,其特征在于,所述加料裝置包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加料裝置,其特征在于,所述隔離管位于所述料筒內(nèi);所述第一防護(hù)管的至少部分位于所述料筒外。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加料裝置,其特征在于,所述第一防護(hù)管內(nèi)構(gòu)造有沿第一方向間隔設(shè)置的第一限位部和第二限位部;
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加料裝置,其特征在于,所述第一過(guò)孔和所述第二過(guò)孔的內(nèi)徑,均小于所述隔離管的內(nèi)徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加料裝置,其特征在于,所述第一過(guò)孔的中軸線、所述第二過(guò)孔的中軸線和所述隔離管的中軸線彼此重合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加料裝置,其特征在于,所述第一防護(hù)管遠(yuǎn)離所述固定連板的一端的內(nèi)徑r1滿足條件:r1>r2;
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的加料裝置,其特征在于,所述第一防護(hù)管包括沿第一方向依次套設(shè)于所述拉桿的第一子管和第二子管;
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的加料裝置,其特征在于,所述第一子管和所述第二子管螺紋連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的加料裝置,其特征在于,所述提拉機(jī)構(gòu)還包括套設(shè)于所述拉桿且位于所述隔離管內(nèi)側(cè)的第二防護(hù)管;
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加料裝置,其特征在于,所述拉桿包括彼此連接的第一部分和第二部分;
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加料裝置,其特征在于,所述第二防護(hù)管為碳化硅管或者氮化硅管。
12.一種晶硅生長(zhǎng)爐,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-11任一項(xiàng)所述的加料裝置。