本技術涉及單晶生長，特別是涉及一種充氧機構及包括該充氧機構的烘烤裝置。

背景技術：

1、在單晶生長領域中，需要使用坩堝浸潤晶體，而該坩堝需要通過充氧烘烤處理以在坩堝表面形成氮化硼氧化膜層，從而使得坩堝能夠更好的浸潤晶體；現(xiàn)有的坩堝烘烤裝置中的充氧機構如圖1所示，包括容器1和進氣管3，容器1內可容納多個坩堝5，進氣管3的氧氣出口是直接設在容器1的開口處的，這導致在通過進氣管3對容器1進行充氧時，容器1內靠近開口處的區(qū)域的氧氣濃度遠遠大于容器1內遠離開口處的區(qū)域的氧氣濃度，從而使得在通過烘烤裝置對坩堝進行充氧烘烤處理時，設于容器內遠離開口處的區(qū)域的坩堝不能和氧氣充分反應，導致這些坩堝的表面不能很好的形成氧化層，降低了這些坩堝的浸潤性，降低了單晶成晶率；因此，現(xiàn)有技術的充氧機構存在氧氣濃度在容器內分布不均勻的問題，降低了坩堝的浸潤性。

技術實現(xiàn)思路

1、旨在至少解決現(xiàn)有技術中存在的技術問題之一，本實用新型提供一種充氧機構、及包括該充氧機構的烘烤裝置，所述充氧機構能夠將氧氣輸送至容器內的多個區(qū)域中，以提高所述容器內的氧氣濃度的分布均勻性。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種充氧機構，具有第一方向，包括容器、進氣管和布氣管；所述容器具有沿所述第一方向延伸并用于容納多個坩堝的容置腔，所述容器在所述第一方向上的一端敞開形成有與所述容置腔相連通的開口；所述進氣管具有進氣管道，所述進氣管在所述第一方向上具有相對的第一端和第二端，所述第一端開設有與所述進氣管道相連通的氧氣輸入口；所述布氣管連接于所述第二端并設于所述容置腔內，所述布氣管具有與所述進氣管道相連通的布氣管道，所述布氣管開設有連通所述布氣管道和所述容置腔的多個氧氣輸出孔。

3、在一些實施方式中，所述進氣管為直線形進氣管。

4、在一些實施方式中，所述布氣管為直線形布氣管。

5、在一些實施方式中，所述布氣管為螺旋形布氣管。

6、在一些實施方式中，所述螺旋形布氣管的內側形成有能夠容納所述坩堝的容納空間。

7、在一些實施方式中，所述螺旋形布氣管是在所述第一方向上保持預設的間距而螺旋形延伸形成的。

8、在一些實施方式中，還包括密封蓋，所述密封蓋封蓋于所述開口并與所述容器可拆卸連接，所述進氣管連接于所述密封蓋。

9、在一些實施方式中，所述容器的材質為石英材質。

10、在一些實施方式中，所述進氣管的材質為石英材質。

11、本實用新型還提供的一種烘烤裝置，包括上述任一項所述的充氧機構，還包括供氧機構和加熱爐，所述加熱爐具有爐膛，所述充氧機構設于所述爐膛內，所述供氧機構與所述第一端相連接并通過所述氧氣輸入口與所述進氣管道相連通。

12、本實用新型提供的一種充氧機構與現(xiàn)有技術相比，其有益效果在于：通過設置于進氣管相連通的所述布氣管并將所述布氣管設于所述容置腔內，使得能夠先通過所述進氣管道將氧氣送入所述布氣管道內，再通過所述氧氣輸出孔將所述布氣管道內的氧氣輸送至所述容置腔內，從而能夠通過多個所述氧氣輸出孔將氧氣輸送至所述容器內的多個區(qū)域中，以提高所述容器內的氧氣濃度的分布均勻性，進而使得所述容器內能夠具有充足的氧氣以供多個所述坩堝進行充分反應。

13、本實用新型提供的一種烘烤裝置與現(xiàn)有技術相比，其有益效果在于：通過多個所述氧氣輸出孔將氧氣輸送至所述容器內的多個區(qū)域中，能夠提高所述容器內的氧氣濃度的分布均勻性，從而使得所述容器內能夠具有充足的氧氣以供所述坩堝進行充分反應，進而能夠在通過所述烘烤裝置對所述多個坩堝進行充氧烘烤處理時，使得設于所述容器內的多個區(qū)域中的多個所述坩堝的表面均能夠很好地形成氧化層，提高所述坩堝的浸潤性。

技術特征：

1.一種充氧機構，具有第一方向，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權利要求1所述的充氧機構，其特征在于，所述進氣管為直線形進氣管。

3.根據(jù)權利要求2所述的充氧機構，其特征在于，所述布氣管為直線形布氣管。

4.根據(jù)權利要求2所述的充氧機構，其特征在于，所述布氣管為螺旋形布氣管。

5.根據(jù)權利要求4所述的充氧機構，其特征在于，所述螺旋形布氣管的內側形成有能夠容納所述坩堝的容納空間。

6.根據(jù)權利要求4所述的充氧機構，其特征在于，所述螺旋形布氣管是在所述第一方向上保持預設的間距而螺旋形延伸形成的。

7.根據(jù)權利要求1-6任一項所述的充氧機構，其特征在于，還包括密封蓋，所述密封蓋封蓋于所述開口并與所述容器可拆卸連接，所述進氣管連接于所述密封蓋。

8.根據(jù)權利要求1-6任一項所述的充氧機構，其特征在于，所述容器的材質為石英材質。

9.根據(jù)權利要求1-6任一項所述的充氧機構，其特征在于，所述進氣管的材質為石英材質。

10.一種烘烤裝置，其特征在于，包括根據(jù)權利要求1-9任一項所述的充氧機構，還包括供氧機構和加熱爐，所述加熱爐具有爐膛，所述充氧機構設于所述爐膛內，所述供氧機構與所述第一端相連接并通過所述氧氣輸入口與所述進氣管道相連通。

技術總結
本技術涉及單晶生長技術領域，公開了一種充氧機構及包括該充氧機構的烘烤裝置，所述充氧機構包括容器、進氣管和布氣管；所述容器具有用于容納多個坩堝的容置腔，所述容器有與所述容置腔相連通的開口；所述進氣管具有進氣管道，所述進氣具有第一端和第二端，所述第一端設有氧氣輸入口；所述布氣管連接于所述第二端并設于所述容置腔內，所述布氣管具有布氣管道，所述布氣管開設有多個氧氣輸出孔；本技術所提供的充氧機構能夠通過多個所述氧氣輸出孔將氧氣輸送至所述容器內的多個區(qū)域中，以提高所述容器內的氧氣濃度的分布均勻性，進而使得所述容器內能夠具有充足的氧氣以供多個所述坩堝進行充分反應。

技術研發(fā)人員：易明輝,張汪陽,張浩,周鐵軍
受保護的技術使用者：廣東先導微電子科技有限公司
技術研發(fā)日：20231213
技術公布日：2024/12/19