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一種全熔多晶硅鑄錠坩堝的制作方法

文檔序號:12920312閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:設(shè)有坩堝本體,坩堝本體的內(nèi)底部設(shè)有高效復(fù)合涂層,所述高效復(fù)合涂層由從下往上依次鋪設(shè)的鑄錠阻隔層、復(fù)合形核層和形核保護層構(gòu)成,所述高效復(fù)合涂層的整體厚度在0.3-3mm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:所述的鑄錠阻隔層厚度為0.1-1mm,所述復(fù)合形核層的厚度為0.1-2mm,所述形核保護層的厚度為0.1-0.5mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:所述的鑄錠阻隔層厚度為0.2-0.5mm,所述復(fù)合形核層的厚度為0.5-1mm,所述形核保護層的厚度為0.2-0.3mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:所述復(fù)合形核層中顆粒的粒度為0.1-5mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:所述復(fù)合形核層中顆粒的粒度為150μm-600μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:所述的復(fù)合形核層設(shè)有上下兩層,上層為由呈多面體的硅顆粒構(gòu)成的硅顆粒層,下層為由呈多面體的石英砂顆?;蛱蓟桀w粒構(gòu)成的硅化物顆粒層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:所述高效復(fù)合涂層的整體厚度為0.8-2mm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:在所述高效復(fù)合涂層的下方設(shè)有由硅顆粒或石英砂顆粒構(gòu)成的高效涂層。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全熔多晶硅鑄錠坩堝,其特征在于:在所述坩堝本體的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有氮化硅涂層。

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