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一種用于硅芯拉制的吹氣裝置的制作方法

文檔序號:11365050閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種用于硅芯拉制的吹氣裝置,包括進氣管(1)、吹氣嘴(6)和吹氣孔(11),其特征在于:環(huán)繞每一根硅芯設(shè)置一個吹氣嘴(6),吹氣嘴(6)上開設(shè)多個吹氣孔(11),使從吹氣孔(11)吹出的氣體沿多個方向均勻吹向每根硅芯。

2.如權(quán)利要求1所述的吹氣裝置,其特征在于:在所述吹氣嘴(6)的上游設(shè)置一個或多個進氣通道,通過連接管(5)將吹氣嘴(6)與進氣通道相連通,所述的多個進氣通道之間通過多個進氣孔(15)相互連通,使進入吹氣裝置的氣流在所述的進氣通道及吹氣嘴(6)內(nèi)重新分布。

3.如權(quán)利要求2所述的吹氣裝置,其特征在于:所述的進氣通道為多個平行疊置的環(huán)形通道,冷卻氣體經(jīng)進氣管(1)進入之后,由第一進氣通道(13)進入第二進氣通道(14),再經(jīng)連接管(5)進入第三進氣通道(16),后由吹氣孔(11)吹向硅芯。

4.如權(quán)利要求3所述的吹氣裝置,其特征在于:第一進氣通道(13)和第二進氣通道(14)均設(shè)置在圓環(huán)形的吹氣環(huán)(4)內(nèi),第一進氣通道(13)設(shè)置在吹氣環(huán)(4)的上方,第二進氣通道(14)設(shè)置在吹氣環(huán)(4)的下方,通過多個進氣孔(15)相互連通。

5.如權(quán)利要求4所述的吹氣裝置,其特征在于:所述的若干個吹氣嘴(6)設(shè)置在吹氣環(huán)(4)下方,第三進氣通道(16)位于吹氣嘴(6)內(nèi)部,通過連接管(5)將其與第二進氣通道(14)相連通,吹氣孔(11)設(shè)置在吹氣嘴(6)上,對準硅芯的結(jié)晶區(qū)。

6.如權(quán)利要求4所述的吹氣裝置,其特征在于:吹氣環(huán)(4)具有一開口A(8),該開口A(8)與第一進氣通道(13)及第二進氣通道(14)端部相對應(yīng)的位置設(shè)有排污口,在排污口處設(shè)有封堵螺釘(7)。

7.如權(quán)利要求4所述的吹氣裝置,其特征在于:所述吹氣環(huán)(4)上設(shè)有若干個固定柱(3),用于安裝導(dǎo)心板。

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