1.一種多晶硅還原生產(chǎn)新型汽化器，其特征在于：包括汽化器（7），所述汽化器（7）分別連接還原爐和蒸汽加熱裝置，汽化器（7）包括管殼（71），在管殼（71）的兩端分別安裝有平蓋管箱（72），在管殼（71）上方設(shè)有氣體出口，管殼（71）下方設(shè)有液體入口，在管殼（71）的內(nèi)部設(shè)有蒸汽換熱U管（73）和還原尾氣換熱U管（74），所述蒸汽換熱U管（73）和還原尾氣換熱U管（74）分別安裝在管殼（71）兩端平蓋管箱（72）的管板上，蒸汽換熱U管（73）的一端通過(guò)蒸汽進(jìn)口管（3）連接蒸汽加熱裝置，另一端連接冷凝水出水管（4），還原尾氣換熱U管（74）的兩端分別通過(guò)還原尾氣進(jìn)口管（5）和還原尾氣出口管（6）連接還原爐，所述管殼（71）上方的氣體出口通過(guò)氣相三氯氫硅出口管（2）連接還原爐，管殼（71）下方的液體入口連接液相三氯氫硅進(jìn)口管（1）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多晶硅還原生產(chǎn)新型汽化器，其特征在于：所述蒸汽換熱U管（73）的長(zhǎng)度大于還原尾氣換熱U管（74）的長(zhǎng)度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種多晶硅還原生產(chǎn)新型汽化器，其特征在于：所述管殼（71）的內(nèi)徑與蒸汽換熱U管（73）或還原尾氣換熱U管（74）的直徑之比小于2。