一種用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜，包括柜體，所述柜體內(nèi)設(shè)置有檢測電阻，所述檢測電阻的一端通過線束與多晶硅硅棒相連接，且該檢測電阻的另一端接地，所述檢測電阻通過互感應(yīng)線圈連接有互感器，所述互感器通過線束連接有檢測電路。本實(shí)用新型的有益效果：將漏電參數(shù)記錄上傳給人機(jī)交互系統(tǒng)，避免了繁瑣的測量，降低了人工成本；系統(tǒng)智能化，自動甄別漏電類型，并將存在隱患的問題以報警形式進(jìn)行提示，如果該問題繼續(xù)惡化并且達(dá)到了極限值，系統(tǒng)會切斷電源以保護(hù)人身和設(shè)備的安全。因此在系統(tǒng)操作上大大的進(jìn)行了簡化；該設(shè)備可以輔助化工工藝人員查找工藝問題，補(bǔ)缺工藝漏洞，因此提高了生產(chǎn)效率。
【專利說明】
一種用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜。
【背景技術(shù)】
[0002]在采用西門子法進(jìn)行還原多晶硅時，由于硅棒為帶電體，爐體為金屬物質(zhì)，因此爐體要和硅棒進(jìn)行絕緣。而在多晶硅生長的過程中，可能會接觸到還原爐壁，從而使絕緣體上附著一層多晶硅粉末，由于多晶硅為半導(dǎo)體，電阻率會隨著溫度的升高急劇降低，因此對絕緣有破壞作用。而溫度又決定了多晶硅生長快慢，直接影響到多晶硅生產(chǎn)廠商的經(jīng)濟(jì)利益，所述依靠傳統(tǒng)的人工測量已經(jīng)無法滿足生產(chǎn)的需要。
[0003]因此，研制出一種檢測速度快，檢測精度高的接地檢測柜，便成為業(yè)內(nèi)人士亟需解決的問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對相關(guān)技術(shù)中的上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出了一種用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜，解決了上述技術(shù)問題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0006]—種用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜，包括柜體，所述柜體內(nèi)設(shè)置有檢測電阻，所述檢測電阻的一端通過線束與多晶硅硅棒相連接，且該檢測電阻的另一端接地，所述檢測電阻通過互感應(yīng)線圈連接有互感器，所述互感器通過線束連接有檢測電路。
[0007]進(jìn)一步地，所述檢測電路通過線束連接人機(jī)交互系統(tǒng)。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果:將漏電參數(shù)記錄上傳給人機(jī)交互系統(tǒng)，避免了繁瑣的測量，降低了人工成本;系統(tǒng)智能化，自動甄別漏電類型，并將存在隱患的問題以報警形式進(jìn)行提示，如果該問題繼續(xù)惡化并且達(dá)到了極限值，系統(tǒng)會切斷電源以保護(hù)人身和設(shè)備的安全。因此在系統(tǒng)操作上大大的進(jìn)行了簡化;該設(shè)備可以輔助化工工藝人員查找工藝問題，補(bǔ)缺工藝漏洞，因此提高了生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0009]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0010]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例所述的用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜的原理示意圖；
[0011]圖2是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例所述的用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜的具體工作示意圖。
[0012]圖中:
[0013]1、檢測電阻;2、互感器;3、檢測電路;4、人機(jī)交互系統(tǒng)。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0015]如圖1-2所示，一種用于多晶娃還原系統(tǒng)的接地檢測柜，包括柜體，所述柜體內(nèi)設(shè)置有檢測電阻I，所述檢測電阻I的一端通過線束與多晶硅硅棒相連接，且該檢測電阻I的另一端接地，所述檢測電阻I通過互感應(yīng)線圈連接有互感器2，所述互感器2通過線束連接有檢測電路3。
[0016]其中，所述檢測電路3通過線束連接人機(jī)交互系統(tǒng)4。
[0017]為了方便理解本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案，以下通過具體使用方式上對本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0018]所述檢測電阻I與多晶硅硅棒的N排電極電連接，當(dāng)絕緣因附著多晶硅而電阻下降時，通過檢測電阻I的電流會急劇變大，從而引起互感應(yīng)線圈的電流變化，所述感應(yīng)器將電流變化傳輸給檢測電路，所述檢測電路對電流變化進(jìn)行分析，并將分析結(jié)果傳送到人機(jī)交互系統(tǒng)，當(dāng)多晶硅發(fā)生沉積引起電流變化時，所述人機(jī)交互系統(tǒng)將發(fā)出警報并通知工藝人員進(jìn)行工藝的調(diào)整，當(dāng)電流增長到極限值時，所述人機(jī)交互系統(tǒng)將立即斷開還原爐的電源，保證人身和設(shè)備的安全，此外當(dāng)還原爐在發(fā)生“斷電”或“掉電”時，所述人機(jī)交互系統(tǒng)將進(jìn)行報警，并封鎖還原爐，防止因還原爐發(fā)生“斷電”而檢測不到漏電及碰壁故障，當(dāng)報警或封鎖后，報警值小于0.9倍報警值時將自動開始復(fù)位，封鎖值小于0.9倍封鎖值時可手動復(fù)位，所述檢測柜還可以連接有工控機(jī)，所述工控機(jī)用于繪制漏電流數(shù)值曲線。
[0019]綜上所述，借助于本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案，可以將漏電參數(shù)記錄上傳給人機(jī)交互系統(tǒng)，從而避免了繁瑣的測量，降低了人工成本;可以利用智能化系統(tǒng)，自動甄別漏電類型，并將存在隱患的問題以報警形式進(jìn)行提示，如果該問題繼續(xù)惡化并且達(dá)到了極限值，系統(tǒng)會切斷電源以保護(hù)人身和設(shè)備的安全，從而簡化了系統(tǒng)操作;可以輔助化工工藝人員查找工藝問題，補(bǔ)缺工藝漏洞，從而提高了生產(chǎn)效率。
[0020]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜，包括柜體，其特征在于，所述柜體內(nèi)設(shè)置有檢測電阻(1)，所述檢測電阻(I)的一端通過線束與多晶硅硅棒相連接，且該檢測電阻(I)的另一端接地，所述檢測電阻(I)通過互感應(yīng)線圈連接有互感器(2)，所述互感器(2)通過線束連接有檢測電路(3)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于多晶硅還原系統(tǒng)的接地檢測柜，其特征在于，所述檢測電路(3)通過線束連接人機(jī)交互系統(tǒng)(4)。
【文檔編號】G01R31/02GK205484644SQ201620275959
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年4月6日
【發(fā)明人】吳小鳴, 羅宇
【申請人】北京三義錦程電氣科技有限責(zé)任公司