技術(shù)編號(hào)：10801714
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在采用西門子法進(jìn)行還原多晶硅時(shí)，由于硅棒為帶電體，爐體為金屬物質(zhì)，因此爐體要和硅棒進(jìn)行絕緣。而在多晶硅生長(zhǎng)的過程中，可能會(huì)接觸到還原爐壁，從而使絕緣體上附著一層多晶硅粉末，由于多晶硅為半導(dǎo)體，電阻率會(huì)隨著溫度的升高急劇降低，因此對(duì)絕緣有破壞作用。而溫度又決定了多晶硅生長(zhǎng)快慢，直接影響到多晶硅生產(chǎn)廠商的經(jīng)濟(jì)利益，所述依靠傳統(tǒng)的人工測(cè)量已經(jīng)無法滿足生產(chǎn)的需要。因此，研制出一種檢測(cè)速度快，檢測(cè)精度高的接地檢測(cè)柜，便成為業(yè)內(nèi)人士亟需解決的問題。實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)相關(guān)...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。