專利名稱：三氯氫硅生產(chǎn)中的除硼裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種三氯氫硅生產(chǎn)中的除硼裝置。
背景技術(shù)：
硼含量是多晶硅原料采購(gòu)中需要嚴(yán)格控制的指標(biāo)之一，一般在IOOppb左右。我公 司作為一個(gè)多晶硅原料生產(chǎn)商，降低產(chǎn)品中的硼含量是我們的必要工作。在三氯氫硅生產(chǎn)中，主要靠分餾塔分餾前餾分的方式除硼。此方法的前餾分多，耗 費(fèi)大，且成品中硼含量一般大于200ppb，超過了多晶硅生產(chǎn)商采購(gòu)的硼含量指標(biāo)，極大的限 制了三氯氫硅附加值的提高。為此，設(shè)計(jì)一種除硼設(shè)備很有必要。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述現(xiàn)狀，旨在提供一種能有效除硼，且不會(huì)引入新的 雜質(zhì)的三氯氫硅生產(chǎn)中的除硼裝置。本實(shí)用新型目的的實(shí)現(xiàn)方式為，三氯氫硅生產(chǎn)中的除硼裝置，由與精餾塔連通的1 號(hào)除硼塔和2號(hào)除硼塔串聯(lián)組成，兩除硼塔內(nèi)有Lsc樹脂填料層，塔間通過管道連通。使用本實(shí)用新型時(shí)，分餾好的物料利用位差自動(dòng)流入本實(shí)用新型，經(jīng)過兩除硼塔 內(nèi)的Lsc樹脂除硼后，直接進(jìn)入成品罐裝車外售。本實(shí)用新型不需要增加新的動(dòng)力設(shè)備，不會(huì)引入新的雜質(zhì)。采用本實(shí)用新型生產(chǎn) 的三氯氫硅經(jīng)ICP檢測(cè)，硼含量低于6ppb，一直維持在2 5ppb之間。

附圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參照附圖，本實(shí)用新型由與精餾塔連通的1號(hào)除硼塔3和2號(hào)除硼塔2串聯(lián)組成， 兩除硼塔內(nèi)有Lsc樹脂填料層1，塔間通過管道連通。本發(fā)明在除硼塔內(nèi)填充Lsc樹脂填料層，因Lsc樹脂與硼化合物通過配位鍵可形 成螯合物，從而使得硼化合物能從三氯氫硅中去除。Lsc樹脂與硼化合物形成的螯合物結(jié)構(gòu)示意圖如下
權(quán)利要求1.三氯氫硅生產(chǎn)中的除硼裝置，其特征在于由與精餾塔連通的1號(hào)除硼塔和2號(hào)除硼 塔串聯(lián)組成，兩除硼塔內(nèi)有Lsc樹脂填料層，塔間通過管道連通。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種三氯氫硅生產(chǎn)中的除硼裝置。由與精餾塔連通的1號(hào)除硼塔和2號(hào)除硼塔串聯(lián)組成，兩除硼塔內(nèi)有Lsc樹脂填料層，塔間通過管道連通。使用本實(shí)用新型時(shí)，分餾好的物料利用位差自動(dòng)流入本實(shí)用新型，經(jīng)過兩除硼塔內(nèi)的Lsc樹脂除硼后，直接進(jìn)入成品罐裝車外售。本實(shí)用新型不需要增加新的動(dòng)力設(shè)備，不會(huì)引入新的雜質(zhì)。采用本實(shí)用新型生產(chǎn)的三氯氫硅經(jīng)ICP檢測(cè)，硼含量低于6ppb，一直維持在2～5ppb之間。
文檔編號(hào)C01B33/107GK201890773SQ201020653729
公開日2011年7月6日 申請(qǐng)日期2010年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月8日
發(fā)明者徐智, 楊霖, 石明勝, 羅濤, 閔運(yùn)豪 申請(qǐng)人:湖北江鉆天祥化工有限公司