技術編號：3442797
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及一種三氯氫硅生產中的除硼裝置。 背景技術硼含量是多晶硅原料采購中需要嚴格控制的指標之一，一般在IOOppb左右。我公 司作為一個多晶硅原料生產商，降低產品中的硼含量是我們的必要工作。在三氯氫硅生產中，主要靠分餾塔分餾前餾分的方式除硼。此方法的前餾分多，耗 費大，且成品中硼含量一般大于200ppb，超過了多晶硅生產商采購的硼含量指標，極大的限 制了三氯氫硅附加值的提高。為此，設計一種除硼設備很有必要。發(fā)明內容本實用新型的目的是針對上述現狀，旨在...
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