技術(shù)總結(jié)
一種砷化鎵多晶合成裝置,包括從外到內(nèi)依次設(shè)置的合成爐體、石墨保溫罩和石墨坩堝，石墨坩堝內(nèi)設(shè)有若干氮化硼坩堝，石墨坩堝的底部連接有石墨坩堝桿，石墨坩堝和石墨保溫罩之間設(shè)有加熱器，所述加熱器為環(huán)形，加熱器沿周向分布在石墨坩堝的外側(cè)，所述石墨保溫罩的內(nèi)壁從上到下設(shè)有若干個保溫罩環(huán)形凸臺，加熱器的外壁上設(shè)有若干個加熱器環(huán)形凸臺，保溫罩環(huán)形凸臺與加熱器環(huán)形凸臺的位置相適配；本實用新型能及早發(fā)現(xiàn)石墨坩堝和加熱器的觸碰，防止觸碰的幅度變大，甚至變?yōu)榧訜崞骱褪卣值挠|碰，避免發(fā)生事故。

技術(shù)研發(fā)人員：楊向東;李玉平;侯利偉;李曉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：新鄉(xiāng)市神舟晶體科技發(fā)展有限公司
文檔號碼：201720026915
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.11
技術(shù)公布日：2017.08.08