技術特征：

技術總結(jié)
本發(fā)明提供一種HVPE用氣體傳輸裝置、反應腔及HVPE設備，其中，所述HVPE用氣體傳輸裝置至少包括：含金屬前驅(qū)物氣體通路管道，屏蔽氣體通路管道，以及含氮前驅(qū)物氣體通路管道；其中：所述含金屬前驅(qū)物氣體通路管道和所述屏蔽氣體通路管道均為圓形管道，且所述屏蔽氣體通路管道套設于所述含金屬前驅(qū)物氣體通路管道外，形成圓形雙套管結(jié)構(gòu)；所述含氮前驅(qū)物氣體通路管道位于所述圓形雙套管結(jié)構(gòu)的上方或者一側(cè)。本發(fā)明避免了混合后的前驅(qū)物氣體上浮沉積在氣體傳輸裝置的外壁上而導致其發(fā)生破裂，提高了含氮前驅(qū)物氣體與含金屬前驅(qū)物氣體混合的均勻性，并提高了氣流均勻性，從而提高了在襯底表面生長的外延層厚度及其組分的均勻性。

技術研發(fā)人員：特洛伊·喬納森·貝克;王穎慧;謝宇;羅曉菊
受保護的技術使用者：鎵特半導體科技（上海）有限公司
技術研發(fā)日：2017.06.01
技術公布日：2017.09.22