技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種可實現(xiàn)殘余熱應力消除處理的太陽能電池用硅片擴散爐，其包括有爐體，爐體之中設置有經(jīng)由其外部導通至內(nèi)部的進氣管道與排氣管道，排氣管道之上設置有抽風機；所述爐體內(nèi)部設置有用于安置硅片的石英舟；所述爐體之中包括有安置端面，安置端面之上設置有爐門，所述安置端面的邊部與爐門之間設置有朝向爐體外部進行延伸的散熱管道；所述爐體之中，排氣管道之上設置有多個導通至散熱管道之中的散熱端口，多個散熱端口沿散熱管道的軸向均勻分布；上述可實現(xiàn)殘余熱應力消除處理的太陽能電池用硅片擴散爐可在硅片退爐過程中有效消除硅片內(nèi)部的殘余熱應力，以確保硅片的完整性。

技術(shù)研發(fā)人員：吳衛(wèi)偉;皇韶峰
受保護的技術(shù)使用者：徐州中輝光伏科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.13
技術(shù)公布日：2017.09.22