本發(fā)明涉及太陽能電池的制備領(lǐng)域，尤其是一種可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐。

背景技術(shù)：

太陽能是一種潔凈、無污染且可以循環(huán)利用的可再生能源，把太陽能轉(zhuǎn)換為電能是有效利用太陽能的一項(xiàng)重要技術(shù)。自1839年bequeral首先發(fā)現(xiàn)光伏效應(yīng)到1954年貝爾實(shí)驗(yàn)室開發(fā)出效率為4.5％的單晶硅太陽電池，直到現(xiàn)在該市場仍然以每年36％左右的速度在增長，目前，太陽電池已經(jīng)完成第一代晶體硅電池研究，正處于第二代薄膜電池研究高峰，并向第三代高效率電池研究努力。而作為現(xiàn)今占據(jù)太陽電池絕大部分市場的晶體硅太陽電池，其制備技術(shù)一直代表著整個太陽電池工業(yè)的制備技術(shù)水平。

最近幾年里，無論是在降低生產(chǎn)成本方面，還是在提升電池轉(zhuǎn)換效率方面，晶體硅太陽電池的制備工藝都取得飛速的發(fā)展。晶體硅太陽電池是一種用晶體硅材料制成的太陽電池，大致分為單晶硅太陽電池和多晶硅太陽電池兩種，這兩種電池在很多技術(shù)領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用，如人造衛(wèi)星、太陽能熱水器、通信通訊等領(lǐng)域。晶體硅太陽電池的核心結(jié)構(gòu)是pn結(jié)的構(gòu)建，其采用不同的摻雜工藝，將p型半導(dǎo)體與n型半導(dǎo)體制作在同一塊硅片上，在它們的交界面形成的空間電荷區(qū)就叫做pn結(jié)。目前，關(guān)于pn結(jié)的制備方法主要有合金法、擴(kuò)散法、離子注入法和外延生長法。

現(xiàn)有技術(shù)在晶體硅太陽電池的生產(chǎn)中，幾乎所有廠家都采用擴(kuò)散的方法制備pn結(jié)，即在擴(kuò)散爐內(nèi)將摻雜介質(zhì)擴(kuò)散至硅片表面。然而，現(xiàn)有的擴(kuò)散爐在完成擴(kuò)散工藝后，其往往直接將硅片自擴(kuò)散爐內(nèi)取出；擴(kuò)散爐內(nèi)的工作溫度往往達(dá)到800至950℃，直接將硅片自上述溫度環(huán)境取出至室溫的過程中，硅片在加工過程中其內(nèi)部的熱應(yīng)力難以消除，硅片中的殘余熱應(yīng)力在受到溫度驟變的影響下極易導(dǎo)致硅片發(fā)生破損甚至斷裂，進(jìn)而致使影響硅片的生產(chǎn)與加工進(jìn)程。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐，其可在硅片完成擴(kuò)散處理后使其內(nèi)部殘余熱應(yīng)力得以消除，進(jìn)而避免其造成硅片的損壞。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明涉及一種可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐，其包括有爐體，爐體之中設(shè)置有經(jīng)由其外部導(dǎo)通至內(nèi)部的進(jìn)氣管道與排氣管道，排氣管道之上設(shè)置有抽風(fēng)機(jī)；所述爐體內(nèi)部設(shè)置有用于安置硅片的石英舟；所述爐體之中包括有安置端面，安置端面之上設(shè)置有爐門，所述安置端面的邊部與爐門之間設(shè)置有朝向爐體外部進(jìn)行延伸的散熱管道；所述爐體之中，排氣管道之上設(shè)置有多個導(dǎo)通至散熱管道之中的散熱端口，多個散熱端口沿散熱管道的軸向均勻分布。

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述散熱管道之上設(shè)置有多個采用環(huán)形結(jié)構(gòu)的冷凝套管，多個冷凝套管沿散熱管道的軸向均勻分布；所述排氣管道之中，每一個散熱端口之上設(shè)置有采用環(huán)形結(jié)構(gòu)的輔助冷凝套管，多個冷凝套管以及多個輔助冷凝套管內(nèi)均填充有冷凝介質(zhì)，且多個冷凝套管以及多個輔助冷凝套管中冷凝介質(zhì)的溫度在散熱管道的延伸方向上逐漸降低。

采用上述技術(shù)方案，其可通過多個冷凝套管以及輔助冷凝套管以對于散熱管道進(jìn)行輔助冷卻處理，以確保散熱管道內(nèi)的溫度較于爐體內(nèi)溫度得以降低；同時，冷凝套管以及輔助冷凝套管內(nèi)部冷凝介質(zhì)溫度的漸變設(shè)置可使得散熱管道內(nèi)部溫度在硅片輸出方向上成梯度逐漸降低，進(jìn)而使得石英舟以及硅片在通過散熱管道的過程中可得以逐步冷卻處理，以有效避免硅片在輸出過程中的任意位置的外部溫度發(fā)生驟變，致使硅片內(nèi)部殘余熱應(yīng)力得以消除進(jìn)而避免其造成硅片損壞現(xiàn)象。

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述散熱管道之中，任意兩個相鄰的散熱端口之間分別設(shè)置有導(dǎo)流端體，導(dǎo)流端體沿散熱管道的內(nèi)壁呈環(huán)形延伸，導(dǎo)流端體在散熱管道軸向上的側(cè)端面均采用向?qū)Я鞫梭w內(nèi)部彎曲的曲面結(jié)構(gòu)。采用上述技術(shù)方案，其可通過導(dǎo)流端體的設(shè)置以對于散熱端口輸出的氣流進(jìn)行其運(yùn)動方向的導(dǎo)流處理，以使得每一個散熱端口輸出的氣流在與其相鄰的兩個導(dǎo)流端體的曲面結(jié)構(gòu)作用下，在其對應(yīng)區(qū)域內(nèi)形成運(yùn)動范圍相對固定的環(huán)流，進(jìn)而使得散熱管道內(nèi)部每一個散熱端口對應(yīng)位置均可形成相對獨(dú)立的溫度區(qū)間，上述溫度區(qū)間內(nèi)的溫度趨于穩(wěn)定；上述散熱管道內(nèi)的溫度區(qū)間分布可使其內(nèi)部形成更為明顯的溫度梯級變化，以使得硅片所受到的逐漸冷卻效果得以進(jìn)一步改善。

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述散熱管道包括有連接至爐體安置端面之上的第一管道，以及設(shè)置在第一管道端部的第二管道；所述第一管道的長度至多為20厘米，第一管道的端部設(shè)置有外螺紋，第二管道的端部設(shè)置有內(nèi)螺紋，第一管道與第二管道之間通過螺紋進(jìn)行彼此連接；所述第一管道的外壁之上設(shè)置有與第二管道端部彼此相對的第一固定端體，第一固定端體與第二管道的相對端面之上設(shè)置有第一牙體，第一牙體與第二管道彼此咬合，所述第二管道的內(nèi)壁之上設(shè)置有與第一管道端部彼此相對的第二固定端體，第二固定端體與第一管道的相對端面之上設(shè)置有第二牙體，第二牙體與第一管道彼此咬合。采用上述技術(shù)方案，其可通過散熱管道的結(jié)構(gòu)設(shè)計以使其形成可拆卸結(jié)構(gòu)，使得工作人員可在第二管道與第一管道分離狀態(tài)下，從第一管道內(nèi)部實(shí)現(xiàn)對于爐門開閉的管理，以避免工作人員在操作爐門時因散熱管道的設(shè)置而造成其操作不便；與此同時，第一管道與第二管道的連接位置可通過第一固定端體以及第二固定端體之上的牙體與對應(yīng)管道之間的咬合實(shí)現(xiàn)緊固處理，進(jìn)而使得第一管道與第二管道之間的連接穩(wěn)定性以及密閉性得以顯著改善。

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐之中包括有推舟裝置，其包括有設(shè)置在爐體外部的直線驅(qū)動裝置，以及設(shè)置在直線驅(qū)動裝置端部的懸臂槳，所述石英舟設(shè)置在懸臂槳之上；所述懸臂槳包括有連接至直線驅(qū)動裝置之上的連接端，以及用于承載石英舟的承載端，懸臂槳的承載端采用中空結(jié)構(gòu)，其內(nèi)部設(shè)置有輔助導(dǎo)熱腔室，輔助導(dǎo)熱腔室之中包括有延伸至承載端前端面的吸熱端口，吸熱端口之中設(shè)置有吸熱喉部，吸熱端口的直徑經(jīng)由其兩端朝向吸熱喉部對應(yīng)位置逐漸減?。凰鍪⒅壑性O(shè)置有多個經(jīng)由其底端部延伸至其內(nèi)部的輔助導(dǎo)熱槽，多個輔助導(dǎo)熱槽沿石英舟的長度方向均勻分布。

采用上述技術(shù)方案，其可通過懸臂槳內(nèi)部輔助導(dǎo)熱腔室的設(shè)置，以使得其在爐體內(nèi)部對于石英舟進(jìn)行承載與退爐處理過程中，使得爐體內(nèi)的高溫氣體經(jīng)由其前端的吸熱端口進(jìn)入至輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部；吸熱端口在工作過程中，其內(nèi)部吸熱喉部的設(shè)置使得吸熱端口于輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部一側(cè)的區(qū)域相對于外部側(cè)區(qū)域形成負(fù)壓效應(yīng)，進(jìn)而使其對于高溫氣體形成一定的吸附效果，進(jìn)而改善其進(jìn)氣效率與效果。位于輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部的高溫氣體則可在石英舟連同硅片進(jìn)行退爐過程中從底部對其進(jìn)行輔助保溫處理，進(jìn)而進(jìn)一步的控制了硅片在退爐過程中的溫度降低速率。與此同時，石英舟底端部的輔助導(dǎo)熱槽可使得上述輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)的高溫氣體經(jīng)由其通過至硅片所在位置，以對硅片進(jìn)行更為高效的保溫處理，而輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)的高溫氣體在通過輔助導(dǎo)熱槽逐漸排出過程中，其可使得輔助導(dǎo)熱腔室對于硅片的加熱效果逐漸降低，以在硅片完全退出散熱管道時可得以充足的冷卻處理。此外，上述輔助導(dǎo)熱槽亦可在石英舟連同硅片于爐體內(nèi)進(jìn)行氣體擴(kuò)散過程中改善氣體相對于硅片的運(yùn)動角度，以改善硅片的擴(kuò)散效果。

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述懸臂槳的側(cè)端部設(shè)置有多個輔助導(dǎo)熱端體，其采用導(dǎo)熱材料制成，輔助導(dǎo)熱端體在豎直方向上貼合石英舟的外壁進(jìn)行延伸；所述輔助導(dǎo)熱端體的端部延伸至輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部。采用上述技術(shù)方案，其可通過輔助加熱端體的設(shè)置以使得輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部的熱量可從石英舟的側(cè)端部對其進(jìn)行輔助加熱處理，以使得石英舟內(nèi)硅片的輔助導(dǎo)熱效果得以進(jìn)一步的改善。

采用上述技術(shù)方案的可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐，其可在太陽能電熱用硅片于爐體內(nèi)完成擴(kuò)散處理而需進(jìn)行退舟處理時，可另石英舟連同硅片經(jīng)由散熱管道實(shí)現(xiàn)其自爐體內(nèi)部至外界的傳輸。上述硅片在進(jìn)入散熱管道前，排氣管道將爐體內(nèi)部工作過程中產(chǎn)生的高溫氣體抽出，并經(jīng)由散熱端口輸送至散熱管道內(nèi)部，致使散熱管道內(nèi)部實(shí)際溫度介于爐體的工作溫度以及室溫之間；上述散熱管道的溫度變化使得硅片進(jìn)入至散熱管道后，其所處溫度環(huán)境與爐體內(nèi)的工作溫度相對接近，進(jìn)而有效避免硅片直接由爐內(nèi)溫度降至室溫而導(dǎo)致其內(nèi)部的殘余熱應(yīng)力造成硅片損壞。上述散熱管道內(nèi)部溫度受熱量傳遞影響由其朝向爐體一側(cè)向其開口一側(cè)逐漸降低，且其溫度變化趨于平緩，故使得硅片沿其傳輸過程中可實(shí)現(xiàn)逐級降溫處理，致使硅片在任意時段內(nèi)均不會發(fā)生其所處溫度的驟變，進(jìn)而使得硅片內(nèi)部殘余熱應(yīng)力得以逐步消除，在其完全與外界接觸時則可保持良好的完整性。

上述可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐可在硅片退爐過程中有效消除硅片內(nèi)部的殘余熱應(yīng)力，以確保硅片的完整性；與此同時，本申請中的擴(kuò)散爐對于散熱管道進(jìn)行加熱的熱源來源于硅片擴(kuò)散處理過程中的高溫氣體，故其可在避免產(chǎn)生額外的加熱能耗的同時，實(shí)現(xiàn)了對于擴(kuò)散爐工作過程中所產(chǎn)生廢氣的回收利用處理，進(jìn)而使得本申請中的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐可同時改善其工作成本以及環(huán)保效益。

附圖說明

圖1為本發(fā)明示意圖；

圖2為本發(fā)明中實(shí)施例3示意圖；

圖3為本發(fā)明中實(shí)施例4示意圖；

圖4為本發(fā)明中實(shí)施例5示意圖；

附圖標(biāo)記列表：

1—爐體、101—安置端面、2—進(jìn)氣管道、3—排氣管道、4—抽風(fēng)機(jī)、5—石英舟、6—爐門、7—散熱管道、701—第一管道、702—第二管道、8—散熱端口、9—冷凝套管、10—輔助冷凝套管、11—導(dǎo)流端體、12—第一固定端體、13—第二固定端體、14—第一牙體、15—第二牙體、16—直線驅(qū)動裝置、17—懸臂槳、1701—連接端、1702—承載端、18—輔助導(dǎo)熱腔室、19—吸熱端口、1901—吸熱喉部、20—輔助導(dǎo)熱槽、21—輔助導(dǎo)熱端體。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施方式，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解下述具體實(shí)施方式僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。需要說明的是，下面描述中使用的詞語“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語“內(nèi)”和“外”分別指的是朝向或遠(yuǎn)離特定部件幾何中心的方向。

實(shí)施例1

如圖1所示的一種可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐，其包括有爐體1，爐體1之中設(shè)置有經(jīng)由其外部導(dǎo)通至內(nèi)部的進(jìn)氣管道2與排氣管道3，排氣管道3之上設(shè)置有抽風(fēng)機(jī)4；所述爐體1內(nèi)部設(shè)置有用于安置硅片的石英舟5；所述爐體1之中包括有安置端面101，安置端面101之上設(shè)置有爐門6，所述安置端面101的邊部與爐門6之間設(shè)置有朝向爐體1外部進(jìn)行延伸的散熱管道7；所述爐體1之中，排氣管道3之上設(shè)置有多個導(dǎo)通至散熱管道7之中的散熱端口8，多個散熱端口8沿散熱管道7的軸向均勻分布。

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，所述散熱管道7之上設(shè)置有多個采用環(huán)形結(jié)構(gòu)的冷凝套管9，多個冷凝套管9沿散熱管道7的軸向均勻分布；所述排氣管道3之中，每一個散熱端口8之上設(shè)置有采用環(huán)形結(jié)構(gòu)的輔助冷凝套管10，多個冷凝套管9以及多個輔助冷凝套管10內(nèi)均填充有冷凝介質(zhì)，且多個冷凝套管9以及多個輔助冷凝套管10中冷凝介質(zhì)的溫度在散熱管道7的延伸方向上逐漸降低。采用上述技術(shù)方案，其可通過多個冷凝套管以及輔助冷凝套管以對于散熱管道進(jìn)行輔助冷卻處理，以確保散熱管道內(nèi)的溫度較于爐體內(nèi)溫度得以降低；同時，冷凝套管以及輔助冷凝套管內(nèi)部冷凝介質(zhì)溫度的漸變設(shè)置可使得散熱管道內(nèi)部溫度在硅片輸出方向上成梯度逐漸降低，進(jìn)而使得石英舟以及硅片在通過散熱管道的過程中可得以逐步冷卻處理，以有效避免硅片在輸出過程中的任意位置的外部溫度發(fā)生驟變，致使硅片內(nèi)部殘余熱應(yīng)力得以消除進(jìn)而避免其造成硅片損壞現(xiàn)象。

采用上述技術(shù)方案的可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐，其可在太陽能電熱用硅片于爐體內(nèi)完成擴(kuò)散處理而需進(jìn)行退舟處理時，可另石英舟連同硅片經(jīng)由散熱管道實(shí)現(xiàn)其自爐體內(nèi)部至外界的傳輸。上述硅片在進(jìn)入散熱管道前，排氣管道將爐體內(nèi)部工作過程中產(chǎn)生的高溫氣體抽出，并經(jīng)由散熱端口輸送至散熱管道內(nèi)部，致使散熱管道內(nèi)部實(shí)際溫度介于爐體的工作溫度以及室溫之間；上述散熱管道的溫度變化使得硅片進(jìn)入至散熱管道后，其所處溫度環(huán)境與爐體內(nèi)的工作溫度相對接近，進(jìn)而有效避免硅片直接由爐內(nèi)溫度降至室溫而導(dǎo)致其內(nèi)部的殘余熱應(yīng)力造成硅片損壞。上述散熱管道內(nèi)部溫度受熱量傳遞影響由其朝向爐體一側(cè)向其開口一側(cè)逐漸降低，且其溫度變化趨于平緩，故使得硅片沿其傳輸過程中可實(shí)現(xiàn)逐級降溫處理，致使硅片在任意時段內(nèi)均不會發(fā)生其所處溫度的驟變，進(jìn)而使得硅片內(nèi)部殘余熱應(yīng)力得以逐步消除，在其完全與外界接觸時則可保持良好的完整性。

上述可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐可在硅片退爐過程中有效消除硅片內(nèi)部的殘余熱應(yīng)力，以確保硅片的完整性；與此同時，本申請中的擴(kuò)散爐對于散熱管道進(jìn)行加熱的熱源來源于硅片擴(kuò)散處理過程中的高溫氣體，故其可在避免產(chǎn)生額外的加熱能耗的同時，實(shí)現(xiàn)了對于擴(kuò)散爐工作過程中所產(chǎn)生廢氣的回收利用處理，進(jìn)而使得本申請中的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐可同時改善其工作成本以及環(huán)保效益。

實(shí)施例2

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，如圖1所示，所述散熱管道7之中，任意兩個相鄰的散熱端口8之間分別設(shè)置有導(dǎo)流端體11，導(dǎo)流端體11沿散熱管道7的內(nèi)壁呈環(huán)形延伸，導(dǎo)流端體11在散熱管道7軸向上的側(cè)端面均采用向?qū)Я鞫梭w11內(nèi)部彎曲的曲面結(jié)構(gòu)。采用上述技術(shù)方案，其可通過導(dǎo)流端體的設(shè)置以對于散熱端口輸出的氣流進(jìn)行其運(yùn)動方向的導(dǎo)流處理，以使得每一個散熱端口輸出的氣流在與其相鄰的兩個導(dǎo)流端體的曲面結(jié)構(gòu)作用下，在其對應(yīng)區(qū)域內(nèi)形成運(yùn)動范圍相對固定的環(huán)流，進(jìn)而使得散熱管道內(nèi)部每一個散熱端口對應(yīng)位置均可形成相對獨(dú)立的溫度區(qū)間，上述溫度區(qū)間內(nèi)的溫度趨于穩(wěn)定；上述散熱管道內(nèi)的溫度區(qū)間分布可使其內(nèi)部形成更為明顯的溫度梯級變化，以使得硅片所受到的逐漸冷卻效果得以進(jìn)一步改善。

本實(shí)施例其余特征與優(yōu)點(diǎn)均與實(shí)施例1相同。

實(shí)施例3

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，如圖2所示，所述散熱管道7包括有連接至爐體1安置端面101之上的第一管道701，以及設(shè)置在第一管道701端部的第二管道702；所述第一管道701的長度為15厘米，第一管道701的端部設(shè)置有外螺紋，第二管道702的端部設(shè)置有內(nèi)螺紋，第一管道701與第二管道702之間通過螺紋進(jìn)行連接；所述第一管道701的外壁之上設(shè)置有與第二管道702端部彼此相對的第一固定端體12，第一固定端體12與第二管道702的相對端面之上設(shè)置有第一牙體14，第一牙體14與第二管道702彼此咬合，所述第二管道702的內(nèi)壁之中設(shè)置有與第一管道701端部彼此相對的第二固定端體13，第二固定端體13與第一管道701的相對端面之上設(shè)置有第二牙體15，第二牙體15與第一管道701彼此咬合。采用上述技術(shù)方案，其可通過散熱管道的結(jié)構(gòu)設(shè)計以使其形成可拆卸結(jié)構(gòu)，使得工作人員可在第二管道與第一管道分離狀態(tài)下，從第一管道內(nèi)部實(shí)現(xiàn)對于爐門開閉的管理，以避免工作人員在操作爐門時因散熱管道的設(shè)置而造成其操作不便；與此同時，第一管道與第二管道的連接位置可通過第一固定端體以及第二固定端體之上的牙體與對應(yīng)管道之間的咬合實(shí)現(xiàn)緊固處理，進(jìn)而使得第一管道與第二管道之間的連接穩(wěn)定性以及密閉性得以顯著改善。

本實(shí)施例其余特征與優(yōu)點(diǎn)均與實(shí)施例2相同。

實(shí)施例4

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，如圖3與圖4所示，所述可實(shí)現(xiàn)殘余熱應(yīng)力消除處理的太陽能電池用硅片擴(kuò)散爐之中包括有推舟裝置，其包括有設(shè)置在爐體外部的直線驅(qū)動裝置16，以及設(shè)置在直線驅(qū)動裝置16端部的懸臂槳17，所述石英舟5設(shè)置在懸臂槳17之上；所述懸臂槳17包括有連接至直線驅(qū)動裝置16之上的連接端1701，以及用于承載石英舟5的承載端1702，懸臂槳17的承載端1702采用中空結(jié)構(gòu)，其內(nèi)部設(shè)置有輔助導(dǎo)熱腔室18，輔助導(dǎo)熱腔室18之中包括有延伸至承載端1702前端面的吸熱端口19，吸熱端口19之中設(shè)置有吸熱喉部1901，吸熱端口19的直徑經(jīng)由其兩端朝向吸熱喉部1901對應(yīng)位置逐漸減??；所述石英舟5之中設(shè)置有多個經(jīng)由其底端部延伸至其內(nèi)部的輔助導(dǎo)熱槽20，多個輔助導(dǎo)熱槽20沿石英舟5的長度方向均勻分布。

采用上述技術(shù)方案，其可通過懸臂槳內(nèi)部輔助導(dǎo)熱腔室的設(shè)置，以使得其在爐體內(nèi)部對于石英舟進(jìn)行承載與退爐處理過程中，使得爐體內(nèi)的高溫氣體經(jīng)由其前端的吸熱端口進(jìn)入至輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部；吸熱端口在工作過程中，其內(nèi)部吸熱喉部的設(shè)置使得吸熱端口于輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部一側(cè)的區(qū)域相對于外部側(cè)區(qū)域形成負(fù)壓效應(yīng)，進(jìn)而使其對于高溫氣體形成一定的吸附效果，進(jìn)而改善其進(jìn)氣效率與效果。位于輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部的高溫氣體則可在石英舟連同硅片進(jìn)行退爐過程中從底部對其進(jìn)行輔助保溫處理，進(jìn)而進(jìn)一步的控制了硅片在退爐過程中的溫度降低速率。與此同時，石英舟底端部的輔助導(dǎo)熱槽可使得上述輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)的高溫氣體經(jīng)由其通過至硅片所在位置，以對硅片進(jìn)行更為高效的保溫處理，而輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)的高溫氣體在通過輔助導(dǎo)熱槽逐漸排出過程中，其可使得輔助導(dǎo)熱腔室對于硅片的加熱效果逐漸降低，以在硅片完全退出散熱管道時可得以充足的冷卻處理。此外，上述輔助導(dǎo)熱槽亦可在石英舟連同硅片于爐體內(nèi)進(jìn)行氣體擴(kuò)散過程中改善氣體相對于硅片的運(yùn)動角度，以改善硅片的擴(kuò)散效果。

本實(shí)施例其余特征與優(yōu)點(diǎn)均與實(shí)施例3相同。

實(shí)施例5

作為本發(fā)明的一種改進(jìn)，如圖4所示，所述懸臂槳的側(cè)端部設(shè)置有多個輔助導(dǎo)熱端體21，其采用導(dǎo)熱材料制成，輔助導(dǎo)熱端體21在豎直方向上貼合石英舟5的外壁進(jìn)行延伸；所述輔助導(dǎo)熱端體21的端部延伸至輔助導(dǎo)熱腔室18內(nèi)部。采用上述技術(shù)方案，其可通過輔助加熱端體的設(shè)置以使得輔助導(dǎo)熱腔室內(nèi)部的熱量可從石英舟的側(cè)端部對其進(jìn)行輔助加熱處理，以使得石英舟內(nèi)硅片的輔助導(dǎo)熱效果得以進(jìn)一步的改善。

本實(shí)施例其余特征與優(yōu)點(diǎn)均與實(shí)施例4相同。