本發(fā)明屬于超硬磨料領(lǐng)域，具體涉及一種窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法。

背景技術(shù)：

金剛石微粉是以人造金剛石為原料，經(jīng)過(guò)破碎、整形、提純、分級(jí)、烘干等工序加工制成，根據(jù)產(chǎn)品粒度大小的不同，廣泛應(yīng)用于切削、研磨和拋光等不同領(lǐng)域。

由于金剛石的高硬度帶來(lái)的高效率，細(xì)粒度金剛石微粉曾經(jīng)是很多拋光領(lǐng)域企業(yè)的不二選擇，但隨著技術(shù)進(jìn)步，特別是電子信息技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)材料拋光后的表面光潔度的要求越來(lái)越高，選用的金剛石微粉越來(lái)越向超細(xì)粒度發(fā)展，如早期的電腦硬盤、磁頭、存儲(chǔ)芯片等材料拋光，開(kāi)始選用金剛石微粉粒度中值粒徑(D50)為0.5μm的產(chǎn)品，很快轉(zhuǎn)變?yōu)?.2μm直至0.1μm，但隨著這些領(lǐng)域?qū)Ρ砻婀鉂嵍纫蟮奶岣?，更?xì)粒度的金剛石微粉應(yīng)用在超精密拋光后往往伴隨淺表劃傷，無(wú)法滿足上述產(chǎn)品對(duì)表面光潔度的要求，逐漸被氧化硅、氧化鋁等其他材料替代，近年來(lái)快速發(fā)展的半導(dǎo)體、光通信和高性能陶瓷等領(lǐng)域也存在相同問(wèn)題，細(xì)粒度金剛石只能完成前期的粗拋，最后一道的超精密拋光依然不得不選用效率較低的氧化硅、氧化鋁、氧化鈰等材料。

超細(xì)粒度金剛石微粉之所以會(huì)造成淺表劃傷，無(wú)法達(dá)到超精密拋光的要求，通過(guò)高性能的掃描電子顯微鏡(SEM)對(duì)現(xiàn)有常規(guī)的超細(xì)粒度金剛石微粉產(chǎn)品進(jìn)行形貌觀測(cè)就可以找到答案，圖1是常規(guī)的標(biāo)識(shí)中值粒徑(D50)為100nm的超細(xì)金剛石微粉，可以發(fā)現(xiàn)這種超細(xì)金剛石微粉顆粒非常不規(guī)則，存在大量的條、片狀顆粒，同時(shí)粒度分布非常不集中，存在大量的一直到零粒度的微小顆粒以及遠(yuǎn)超過(guò)100nm數(shù)倍的大顆粒，正是這些微小顆粒的存在導(dǎo)致產(chǎn)品粒度測(cè)試時(shí)在表觀數(shù)據(jù)上降低了中值粒徑(D50)，而在實(shí)際的超精密拋光中，不規(guī)則形狀以及超尺寸顆粒正是導(dǎo)致被加工工件出現(xiàn)淺表劃傷的原因。

表征金剛石微粉質(zhì)量水平的主要技術(shù)指標(biāo)有：顆粒形狀、粒度分布和表面純度，理想的作為磨粒的金剛石微粉應(yīng)該是顆粒為塊狀的等積形，粒度分布集中，無(wú)過(guò)粗、過(guò)細(xì)顆粒，表面純凈雜質(zhì)含量低，超細(xì)金剛石微粉之所以存在顆粒形狀差、粒度分布寬等品質(zhì)問(wèn)題，究其原因，主要和金剛石微粉特別是超細(xì)粒度金剛石微粉的生產(chǎn)加工技術(shù)進(jìn)步較慢有關(guān)，實(shí)際生產(chǎn)中細(xì)粒度金剛石微粉主要來(lái)源于微粉加工過(guò)程中的破碎、整形工序，在對(duì)粗粒度微粉破碎、整形的同時(shí)，崩解碎裂的細(xì)粒度金剛石顆粒伴隨產(chǎn)生，由于這些細(xì)粒度金剛石顆粒是隨機(jī)產(chǎn)生的，因此各種不規(guī)則形狀都可能出現(xiàn)，同時(shí)由于這些顆粒非常微小，因比表面積和表面能顯著增大，微細(xì)顆粒相互團(tuán)聚的趨勢(shì)明顯增強(qiáng)，這對(duì)后序的整形和分級(jí)工藝提出了更高的要求。

目前國(guó)內(nèi)的金剛石微粉企業(yè)對(duì)較粗粒度(中值大于1μm)金剛石微粉的整形、分級(jí)工藝相對(duì)成熟，基本能夠滿足各行業(yè)對(duì)微粉顆粒形狀、粒度分布等技術(shù)指標(biāo)的要求，但對(duì)細(xì)粒度特別是超細(xì)粒度金剛石微粉的整形、分級(jí)缺少有效手段。

授權(quán)公告號(hào)為CN102250582B的專利公開(kāi)了一種窄分布亞微米尺寸的多晶金剛石磨料的制備方法，包括以下步驟：(1)將多晶金剛石微粉與純水配成漿料；(2)將鋼球與漿料一起混合攪拌研磨整形；(3)酸洗提純后超聲分散在純水中，離心分級(jí)。用該工藝制備的0.5μm金剛石拋光LED襯底用藍(lán)寶石晶片的表面粗糙度為2.81nm。

金剛石微粉生產(chǎn)中，常用的整形設(shè)備是球磨機(jī)，但由于1μm以細(xì)的金剛石微細(xì)顆粒流動(dòng)性差，顆粒間容易團(tuán)聚，被整形的顆粒很快就粘附在球磨機(jī)內(nèi)壁或鋼球上使整形失效，曾經(jīng)有人嘗試通過(guò)添加助磨劑來(lái)改善粉體的流動(dòng)性，使有效整形時(shí)間延長(zhǎng)，但由于球磨機(jī)整形效果是靠鋼球與金剛石顆粒互相撞擊、摩擦等作用實(shí)現(xiàn)的，只有在兩個(gè)鋼球接觸點(diǎn)上的金剛石顆粒才能被有效整形，即使通過(guò)添加助磨劑延長(zhǎng)整形時(shí)間，但由于相同重量下微細(xì)顆粒數(shù)量要大大高于粗顆粒數(shù)量，要實(shí)現(xiàn)超細(xì)微粉整體較好的整形效果，需要非常漫長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)確保每個(gè)顆粒都與鋼球產(chǎn)生作用，這將大大增加生產(chǎn)成本，同時(shí)長(zhǎng)時(shí)間的鋼球研磨產(chǎn)生的鋼球磨損全部混入金剛石微粉內(nèi)，給后道的提純處理也帶來(lái)巨大的壓力。

同樣的問(wèn)題也出現(xiàn)在超細(xì)粒度的分級(jí)工序，現(xiàn)階段細(xì)粒度金剛石微粉的分級(jí)一般采用多管式離心機(jī)，待分級(jí)料漿通過(guò)加入分散劑(一般選用硅酸鈉)提高分散性能，這種工藝在分級(jí)200nm以粗的顆粒時(shí)比較有效，分級(jí)產(chǎn)品粒度相對(duì)集中，但由于200nm以細(xì)的超細(xì)顆粒里面存在大量的小于20nm的納米級(jí)顆粒，這些顆粒受靜電引力和范德華力的共同作用，極易發(fā)生二次團(tuán)聚形成較大尺寸的團(tuán)聚體，通過(guò)普通分散劑和超聲分散處理不能使其穩(wěn)定分散，這就導(dǎo)致分級(jí)時(shí)目標(biāo)顆粒與較大的團(tuán)聚體一起離心沉降，使分級(jí)失效。

事實(shí)上由于無(wú)法實(shí)現(xiàn)真正的整形和分級(jí)，很多的金剛石微粉企業(yè)都有大量200nm以細(xì)的“尾料”，這些產(chǎn)品微觀上包括了從幾百納米一直到零粒度之間的全部顆粒，而且形狀很差，容易引起劃傷，無(wú)法實(shí)際應(yīng)用，是每個(gè)金剛石微粉企業(yè)的“雞肋”。

綜上所述，嘗試采用新的加工工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)超細(xì)粒度金剛石顆粒進(jìn)行快速有效的整形、分級(jí)處理，從而獲得一種顆粒形狀規(guī)則、粒度集中度較高同時(shí)具有較低生產(chǎn)成本的納米級(jí)金剛石，對(duì)于硬盤、磁頭、半導(dǎo)體等超精密拋光領(lǐng)域有著非常重要的意義。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法，從而解決現(xiàn)有的超細(xì)金剛石微粉的制備存在容易引入雜質(zhì)、整形效率低的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：

一種窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法，包括以下步驟：

1)將中值粒徑為0.3μm以細(xì)的金剛石微粉與水混合，制備原料料漿；

2)向原料料漿中加入超硬磨料顆粒作為研磨介質(zhì)進(jìn)行研磨整形，過(guò)濾，得到整形料漿；研磨介質(zhì)的粒度大于步驟1)中金剛石微粉的粒度；

3)將步驟2)所得整形料漿進(jìn)行分級(jí)，即得。

本發(fā)明提供的窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法，以相對(duì)金剛石微粉更粗粒度的超硬磨料顆粒作為研磨介質(zhì)，其強(qiáng)度高，不會(huì)在加工過(guò)程中發(fā)生崩解破碎現(xiàn)象，相較于鋼球破碎、整形的傳統(tǒng)工藝，全程沒(méi)有金屬及其他污染，徹底解決了金剛石微粉生產(chǎn)過(guò)程中需要使用的大量的酸、堿等強(qiáng)腐蝕性化學(xué)品進(jìn)行提純處理的工藝弊端，簡(jiǎn)化了生產(chǎn)工藝，符合環(huán)保要求；以超硬磨料顆粒作為研磨介質(zhì)，相較于鋼球之間只有接觸點(diǎn)上的接觸、碰撞整形，研磨介質(zhì)之間的摩擦、碰撞、剪切等效應(yīng)更加有效，大大提高了整形效率，有利于獲得形狀規(guī)則、粒度集中度較高的納米級(jí)金剛石微粉產(chǎn)品。

步驟1)中，金剛石微粉與水的質(zhì)量比為1：(5～16)。優(yōu)選的，將金剛石微粉、水、助磨劑混合，配制原料料漿；金剛石微粉與水的質(zhì)量比為1：(5～16)；助磨劑與金剛石微粉的質(zhì)量比為1：(100～1000)。助磨劑優(yōu)選為十二烷基苯磺酸鈉、六偏磷酸鈉、三乙醇胺、異丙醇、硬脂酸中的一種或多種組合。

步驟2)中，所述超硬磨料顆粒為鋸切級(jí)金剛石；優(yōu)選的，鋸切級(jí)金剛石的粒度為16～20目。

步驟2)中，采用盤式砂磨機(jī)進(jìn)行研磨整形，研磨盤的線速度為8～15m/s。研磨介質(zhì)在砂磨機(jī)的研磨筒內(nèi)的加入量為研磨筒體積的40～80％。研磨整形的時(shí)間為4～8h。

步驟3)中，將整形料漿進(jìn)行脫水處理，得到待分級(jí)物料；再向待分級(jí)物料中加入水、分散劑配制成待分級(jí)料漿，然后進(jìn)行離心分級(jí)。進(jìn)一步優(yōu)選的，金剛石微粉與水的質(zhì)量比為(3～15)：100，分散劑與金剛石微粉的質(zhì)量比為1：(100～1000)。所述分散劑為BYK-190、聚丙烯酸胺、聚丙烯酸、六偏磷酸鈉中的一種或多種組合。

進(jìn)一步的，本發(fā)明的窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法，采用盤式砂磨機(jī)進(jìn)行研磨整形，相對(duì)于其他研磨設(shè)備具有更大的分散研磨作用面積，限制了超細(xì)金剛石顆粒的聚集，在上述優(yōu)選參數(shù)下，大大縮短了整形時(shí)間，提高了整形效率；采用具有靜電空間位阻機(jī)制的物質(zhì)作為分散劑，有利于使納米級(jí)金剛石顆粒實(shí)現(xiàn)良好分散，為實(shí)現(xiàn)真正的粗細(xì)顆粒分級(jí)奠定了基礎(chǔ)。

上述制備方法可以采用各金剛石微粉企業(yè)積壓的亞微米級(jí)“尾料”為原料，生產(chǎn)可用于超精密拋光領(lǐng)域的金剛石微粉，在采用該工藝制作的中值粒徑(D50)為100nm的研磨液對(duì)LED藍(lán)寶石襯底進(jìn)行單面精拋加工時(shí)，加工后的表面光潔度Ra值達(dá)到0.217nm，在同樣去除表面損傷層10-15μm的條件下，加工時(shí)間縮短為1.5h，相對(duì)采用納米氧化硅需要的4～6h，大大縮短了加工時(shí)間，提高了工作效率。

由上述制備方法制備得到的顆粒規(guī)則、粒度集中的金剛石微粉，相對(duì)于現(xiàn)階段常用的超精密拋光材料如氧化硅、氧化鋁、氧化鈰等具有更高的材料去除率和相同的表面光潔度，在硬盤、磁頭、半導(dǎo)體等超精密拋光領(lǐng)域可以大大提高工作效率，縮短加工時(shí)間。該制備方法生產(chǎn)成本低廉，產(chǎn)品工藝簡(jiǎn)單，生產(chǎn)周期短，采用本工藝加工的產(chǎn)品無(wú)疑為這些長(zhǎng)期積壓的“廢料”找到了全新的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。

附圖說(shuō)明

圖1為未整形、分級(jí)處理的中值粒徑(D50)為100nm的超細(xì)金剛石微粉的SEM圖；

圖2為整形、分級(jí)處理后的中值粒徑(D50)為50nm的超細(xì)金剛石微粉的SEM圖；

圖3為整形、分級(jí)處理后的中值粒徑(D50)為100nm的超細(xì)金剛石微粉的SEM圖；

圖4為未整形、分級(jí)處理的中值粒徑(D50)為100nm的超細(xì)金剛石微粉的粒度分布圖；

圖5為整形、分級(jí)處理后的中值粒徑(D50)為50nm的超細(xì)金剛石微粉的粒度分布圖；

圖6為整形、分級(jí)處理的中值粒徑(D50)為100nm的超細(xì)金剛石微粉的粒度分布圖；

圖7為采用本發(fā)明的方法得到的金剛石微粉研磨拋光LED藍(lán)寶石襯底的AFM圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。以下實(shí)施例中，研磨整形階段選用立式砂磨機(jī)，攪拌軸選擇研磨盤式，為防止加工過(guò)程中引入二次污染，研磨盤的材質(zhì)選用耐磨聚氨酯材質(zhì)，攪拌軸、研磨筒內(nèi)壁及其他可能與料漿接觸的部分選用聚四氟乙烯或聚氨酯材質(zhì)包覆處理；具體進(jìn)行研磨整形處理時(shí)，可采用以下兩種方法：

(1)直接將料漿加入砂磨機(jī)的研磨筒內(nèi)密閉整形，裝填量以料漿液面與研磨介質(zhì)持平或不高于5cm為宜，該方法適合少量、快速的整形處理；

(2)在立式砂磨機(jī)外增設(shè)周轉(zhuǎn)桶和隔膜泵，周轉(zhuǎn)桶的出料口與砂磨機(jī)的進(jìn)料口相連通，周轉(zhuǎn)桶的進(jìn)料口與砂磨機(jī)的出料口相連通，周轉(zhuǎn)桶、砂磨筒形成外循環(huán)系統(tǒng)，通過(guò)調(diào)整隔膜泵使料漿以3000～5000ml/min的流量在砂磨機(jī)與周轉(zhuǎn)桶之間循環(huán)。

實(shí)施例1

本實(shí)施例的窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法，步驟如下：

1)取中值粒徑(D50)為100nm的超細(xì)金剛石微粉500g，分散在8000ml去離子水中，加入十二烷基苯磺酸鈉2g，三乙醇胺1.5g，超聲分散30min，得到原料料漿；

2)將原料料漿加入研磨筒容積為10000ml的立式砂磨機(jī)中，加入粗粒度原生鋸切級(jí)金剛石10kg(中南鉆石股份有限公司，2290系列，規(guī)格16/20)，啟動(dòng)砂磨機(jī)開(kāi)始研磨整形，調(diào)整砂磨機(jī)研磨盤的線速度至12m/s或轉(zhuǎn)速在900～950rpm，運(yùn)行6h，放出料漿并用120目篩網(wǎng)過(guò)濾混入的粗粒度研磨介質(zhì)，得到整形料漿；

3)將步驟2)所得整形料漿離心脫水后，再加入去離子水10000ml、BYK-190 2g、聚丙烯酸1.5g，超聲分散30min，得到待分級(jí)料漿；

4)將待分級(jí)料漿裝入多管式離心機(jī)的分級(jí)杯中，設(shè)定離心機(jī)轉(zhuǎn)速7000rpm，運(yùn)行45min，收集分級(jí)杯上層懸浮液，離心脫水，置于電熱干燥箱中烘干，控制溫度在80±5℃，即得中值粒徑為50nm的窄粒度分布超細(xì)粒度金剛石微粉。

實(shí)施例2

本實(shí)施例的窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法，步驟如下：

1)取中值粒徑(D50)為100nm的超細(xì)金剛石微粉5000g，分散在80000ml去離子水中，加入十二烷基苯磺酸鈉20g，三乙醇胺15g，超聲分散30min，得到原料料漿；

2)將原料料漿加入與砂磨機(jī)連接的外循環(huán)周轉(zhuǎn)桶內(nèi)，向研磨筒容積為30000ml的立式砂磨機(jī)中，加入粗粒度原生鋸切級(jí)金剛石30kg(中南鉆石股份有限公司，2290系列，規(guī)格16/20)，開(kāi)啟隔膜泵將原料料漿泵入砂磨機(jī)下部的進(jìn)料口，調(diào)整隔膜泵使料漿以4000ml/min的流量在砂磨機(jī)與周轉(zhuǎn)桶之間循環(huán)，啟動(dòng)砂磨機(jī)開(kāi)始整形處理，調(diào)整砂磨機(jī)研磨盤的線速度至10m/s或轉(zhuǎn)速在800～850rpm，運(yùn)行15h，放出料漿并用120目篩網(wǎng)過(guò)濾混入的粗粒度研磨介質(zhì)，得到整形料漿；

3)將步驟2)所得整形料漿離心脫水后，再加入去離子水100000ml、BYK-190 20g、聚丙烯酸15g，超聲分散30min，得到待分級(jí)料漿；

4)將待分級(jí)料漿裝入多管式離心機(jī)的分級(jí)杯中，設(shè)定離心機(jī)轉(zhuǎn)速7000rpm，運(yùn)行45min，取底部物料，再次用去離子水調(diào)整為分級(jí)料漿(分級(jí)料漿由底部物料、水、分散劑組成，其中，底部物料：水＝5:100，底部物料：BYK 190：聚丙烯酸＝500:2:1.5)，設(shè)定離心機(jī)轉(zhuǎn)速4800rpm，運(yùn)行30min，取上部懸浮液，離心脫水，置于電熱干燥箱中烘干，控制溫度在80±5℃，即得中值粒徑為100nm的窄粒度分布超細(xì)粒度金剛石微粉。

實(shí)施例3

本實(shí)施例的窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法，步驟如下：

1)取中值粒徑(D50)為200nm的超細(xì)金剛石微粉500g，分散在6000ml去離子水中，加入六偏磷酸鈉2g，異丙醇1g，超聲分散30min，得到原料料漿；

2)將原料料漿加入研磨筒容積為10000ml的立式砂磨機(jī)中，加入粗粒度原生鋸切級(jí)金剛石10kg(河南黃河旋風(fēng)股份有限公司，HSD系列，規(guī)格18/20)，啟動(dòng)砂磨機(jī)開(kāi)始研磨整形，調(diào)整砂磨機(jī)研磨盤的線速度至8m/s，運(yùn)行6h，放出料漿并用120目篩網(wǎng)過(guò)濾混入的粗粒度研磨介質(zhì)，得到整形料漿；

3)將步驟2)所得整形料漿離心脫水后，再加入去離子水7000ml、BYK-190 2g、聚丙烯酸胺1g，超聲分散30min，得到待分級(jí)料漿；

4)將待分級(jí)料漿裝入多管式離心機(jī)的分級(jí)杯中，設(shè)定離心機(jī)轉(zhuǎn)速4800rpm，運(yùn)行30min，取底部物料，再次用去離子水調(diào)整為分級(jí)料漿(分級(jí)料漿由底部物料、水、分散劑組成，其中，底部物料：水＝7:100，底部物料：BYK 190：聚丙烯酸胺＝500:2:1.5)，設(shè)定離心機(jī)轉(zhuǎn)速4000rpm，運(yùn)行25min，取上部懸浮液，離心脫水，置于電熱干燥箱中烘干，控制溫度在80±5℃，即得中值粒徑為150nm的窄粒度分布超細(xì)粒度金剛石微粉。

實(shí)施例4

本實(shí)施例的窄粒度分布的納米級(jí)金剛石微粉的制備方法，步驟如下：

1)取中值粒徑(D50)為300nm的超細(xì)金剛石微粉500g，分散在5000ml去離子水中，加入十二烷基苯磺酸鈉1.2g，硬脂酸0.8g，超聲分散30min，得到原料料漿；

2)將原料料漿加入研磨筒容積為10000ml的立式砂磨機(jī)中，加入粗粒度原生鋸切級(jí)金剛石10kg(河南黃河旋風(fēng)股份有限公司，HSD系列，規(guī)格18/20)，啟動(dòng)砂磨機(jī)開(kāi)始研磨整形，調(diào)整砂磨機(jī)研磨盤的線速度至8m/s，運(yùn)行6h，放出料漿并用120目篩網(wǎng)過(guò)濾混入的粗粒度研磨介質(zhì)，得到整形料漿；

3)將步驟2)所得整形料漿離心脫水后，再加入去離子水6000ml、六偏磷酸鈉1.2g、聚丙烯酸0.8g，超聲分散30min，得到待分級(jí)料漿；

4)將待分級(jí)料漿裝入多管式離心機(jī)的分級(jí)杯中，設(shè)定離心機(jī)轉(zhuǎn)速4000rpm，運(yùn)行25min，取底部物料，再次用去離子水調(diào)整為分級(jí)料漿(分級(jí)料漿由底部物料、水、分散劑組成，其中，底部物料：水＝9:100，底部物料：六偏磷酸鈉：聚丙烯酸＝500:1.2:0.8)，設(shè)定離心機(jī)轉(zhuǎn)速3500rpm，運(yùn)行20min，取上部懸浮液，離心脫水，置于電熱干燥箱中烘干，控制溫度在80±5℃，即得中值粒徑為200nm的窄粒度分布超細(xì)粒度金剛石微粉。

試驗(yàn)例1

分別對(duì)實(shí)施例1和實(shí)施例2收集的上部懸浮液進(jìn)行SEM觀察和粒度分析，實(shí)施例1所得金剛石微粉的中值粒徑為50nm，其SEM形貌如圖2所示，粒度分析結(jié)果如圖5所示，相對(duì)于未經(jīng)整形、分級(jí)處理的金剛石微粉(SEM圖為圖1，粒度分布圖為圖4)，顆粒粒度分布集中，形狀規(guī)則。實(shí)施例2所得金剛石微粉的中值粒徑為100nm，其SEM形貌如圖3所示，粒度分析結(jié)果如圖6所示，其顆粒粒度分布集中，形狀規(guī)則。

試驗(yàn)例2

使用實(shí)施例2所得中值粒徑為100nm的超細(xì)金剛石微粉，按照超細(xì)金剛石微粉：去離子水＝0.5:100的比例混合，同時(shí)加入氫氧化鉀溶液調(diào)整體系的PH值在10～12，超聲分散30min，得到水基金剛石拋光液，在LED藍(lán)寶石襯底加工中，采用拋光盤直徑Φ800的單面拋光機(jī)，350g/cm²的壓力，55rpm的轉(zhuǎn)速，300ml/min的噴液量對(duì)LED藍(lán)寶石襯底加工1.5h，得到去除量12μm，表面光潔度Ra值0.217nm的合格成品(如圖7所示)，相對(duì)于相同條件下采用40％固含量的納米氧化硅拋光液加工需要的4～6h，大大節(jié)約了研磨材料消耗，縮短了加工時(shí)間，提高了工作效率。