本實(shí)用新型涉及碳化硅制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種用于長(zhǎng)晶爐的支撐結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
長(zhǎng)晶爐在使用過(guò)程中需要經(jīng)受長(zhǎng)時(shí)間的高溫,這種情況下多次使用后長(zhǎng)晶爐的立柱會(huì)容易產(chǎn)生變形裂紋等情況,當(dāng)出現(xiàn)這類情況的時(shí)候坩堝就很容易發(fā)生翻倒,長(zhǎng)晶爐內(nèi)部的鎢托盤有時(shí)會(huì)需要旋轉(zhuǎn),通常的坩堝與鎢托盤連接方式不夠牢固,在鎢托盤旋轉(zhuǎn)時(shí)可能發(fā)生松動(dòng),影響產(chǎn)品質(zhì)量。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
本實(shí)用新型的目的在于提供一種用于長(zhǎng)晶爐的支撐結(jié)構(gòu),以解決上述背景技術(shù)中提出的通常的長(zhǎng)晶爐坩堝與鎢托盤連接不夠牢固,且立柱損壞容易使坩堝發(fā)生翻倒等問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種用于長(zhǎng)晶爐的支撐結(jié)構(gòu),包括爐體、坩堝和立柱,述爐體內(nèi)安裝有加熱裝置,所述坩堝內(nèi)盛放有晶體溶液,所述坩堝底部設(shè)置有卡槽,所述卡槽下方連接有固定軌,所述固定軌下方安裝有鎢托盤,所述固定軌外側(cè)固定有限位塊,所述鎢托盤表面設(shè)置有橫散熱片,所述橫散熱片下方安裝有豎散熱片,且豎散熱片與鎢托盤固定連接,所述立柱上固定有套筒,所述套筒外側(cè)固定有支撐架,所述支撐架末端連接有固定螺栓,所述立柱底端兩側(cè)安裝支撐板,且立柱上方與鎢托盤固定連接,所述支撐板下方設(shè)置有基座,且基座與立柱相連,所述基座下方固定有底板,且立柱底端與底板相連。
優(yōu)選的,所述坩堝與固定軌安裝后,坩堝底面與鎢托盤上端面之間的間隙為3mm。
優(yōu)選的,所述固定軌設(shè)置有四個(gè),且關(guān)于鎢托盤中垂線對(duì)稱安裝,且其與卡槽大小相同,形狀均為“7”字型。
優(yōu)選的,所述限位塊高出鎢托盤表面,且不高于固定軌高度。
優(yōu)選的,所述支撐架通過(guò)固定螺栓與鎢托盤固定連接。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:該用于長(zhǎng)晶爐的支撐結(jié)構(gòu)設(shè)有固定軌和卡槽,使坩堝能夠通過(guò)卡槽與固定軌與鎢托盤固定,避免了坩堝因?yàn)槁菁y松動(dòng)或其他情況產(chǎn)生翻到等情況,坩堝底部與鎢托盤的上端面空隙為3mm,能夠減少坩堝與鎢托盤的接觸面積,鎢托盤外側(cè)設(shè)置有橫散熱片,其底部固定有豎散熱片,能在停止使用后迅速的將鎢托盤的熱量散發(fā),避免長(zhǎng)時(shí)間使用后坩堝與鎢托盤之間產(chǎn)生粘連,支撐架通過(guò)固定螺栓與鎢托盤固定連接,且其下方通過(guò)套筒與立柱連接,確保立柱在產(chǎn)生損壞時(shí)鎢托盤不會(huì)傾斜,并且減少晃動(dòng)幅度,立柱底部還固定有支撐板和基座,確保立柱在單獨(dú)承重的時(shí)候不會(huì)歪斜折斷,增加實(shí)用性。
附圖說(shuō)明
圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2為本實(shí)用新型鎢托盤結(jié)構(gòu)俯視圖;
圖3為本實(shí)用新型坩堝橫截面結(jié)構(gòu)示意圖;
圖4為本實(shí)用新型部分立柱部分結(jié)構(gòu)示意圖;
圖5為圖1中部分結(jié)構(gòu)放大示意圖。
圖中:1、爐體,2、加熱裝置,3、坩堝,4、晶體溶液,5、卡槽,6、固定軌,7、鎢托盤,8、限位塊,9、橫散熱片,10、豎散熱片,11、固定螺栓,12、支撐架,13、立柱,14、套筒,15、支撐板,16、基座,17、底板。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
請(qǐng)參閱圖1-5,本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案:一種用于長(zhǎng)晶爐的支撐結(jié)構(gòu),包括爐體1、坩堝3和立柱13,述爐體1內(nèi)安裝有加熱裝置2,坩堝3內(nèi)盛放有晶體溶液4,坩堝3底部設(shè)置有卡槽5,坩堝3與固定軌6安裝后,坩堝3底面與鎢托盤7上端面之間的間隙為3mm,卡槽5下方連接有固定軌6,固定軌6設(shè)置有四個(gè),且關(guān)于鎢托盤7中垂線對(duì)稱安裝,且其與卡槽5大小相同,形狀均為“7”字型,固定軌6下方安裝有鎢托盤7,固定軌6外側(cè)固定有限位塊8,限位塊8高出鎢托盤7表面,且不高于固定軌6高度,鎢托盤7表面設(shè)置有橫散熱片9,橫散熱片9下方安裝有豎散熱片10,且豎散熱片10與鎢托盤7固定連接,立柱13上固定有套筒14,套筒14外側(cè)固定有支撐架12,支撐架12通過(guò)固定螺栓11與鎢托盤7固定連接,支撐架12末端連接有固定螺栓11,立柱13底端兩側(cè)安裝支撐板15,且立柱13上方與鎢托盤7固定連接,支撐板15下方設(shè)置有基座16,且基座16與立柱13相連,基座16下方固定有底板17,且立柱13底端與底板17相連。
工作原理:在使用該用于長(zhǎng)晶爐的支撐結(jié)構(gòu)時(shí),將坩堝3下方的卡槽5對(duì)準(zhǔn)固定軌6,然后將坩堝3推入直至其與限位塊8接觸即可,接著將晶體溶液4倒入坩堝3內(nèi),開啟加熱裝置2即可進(jìn)行與長(zhǎng)晶爐的其他部分開始運(yùn)轉(zhuǎn),支撐架12在工作途中確保立柱13與鎢托盤7連接處出現(xiàn)損壞時(shí)也能保證鎢托盤7的平整,避免坩堝3翻倒,同時(shí)底部的支撐板15和基座16為立柱提供支撐力,確保立柱13不容易產(chǎn)生歪斜,使用完成后,鎢托盤7內(nèi)的熱量分別從橫散熱片9和豎散熱片10散發(fā)以此來(lái)快速降低鎢托盤7的溫度,這就是該用于長(zhǎng)晶爐的支撐結(jié)構(gòu)的工作原理。
盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。