技術編號：11614780
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及碳化硅制造設備技術領域，具體為一種用于長晶爐的支撐結構。背景技術長晶爐在使用過程中需要經受長時間的高溫，這種情況下多次使用后長晶爐的立柱會容易產生變形裂紋等情況，當出現(xiàn)這類情況的時候坩堝就很容易發(fā)生翻倒，長晶爐內部的鎢托盤有時會需要旋轉，通常的坩堝與鎢托盤連接方式不夠牢固，在鎢托盤旋轉時可能發(fā)生松動，影響產品質量。實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種用于長晶爐的支撐結構，以解決上述背景技術中提出的通常的長晶爐坩堝與鎢托盤連接不夠牢固，且立柱損壞容易使坩堝發(fā)生翻倒等問題。為實現(xiàn)上...
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