技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種能夠降低熱場溫度變化對單晶硅生產(chǎn)質(zhì)量造成影響的單晶爐。該單晶爐，包括爐體、石英坩堝；所述爐體上方設(shè)置有晶種提升旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；所述爐體下部設(shè)置有坩堝拖桿；所述坩堝拖桿一端設(shè)置有鉗鍋托盤，所述石英坩堝安裝在鉗鍋托盤上；所述坩堝拖桿的另一端設(shè)置有坩堝上升旋轉(zhuǎn)機構(gòu)；爐腔內(nèi)設(shè)置有加熱裝置，加熱裝置與爐腔的內(nèi)壁之間設(shè)置有保溫層；爐腔底部設(shè)置有下部加熱器；爐腔底部設(shè)置有凸臺，坩堝拖桿上設(shè)置有與凸臺匹配的環(huán)形套，所述環(huán)形套與凸臺配合；所述坩堝拖桿上設(shè)置有支撐板，所述支撐板上設(shè)置有坩堝加熱器。采用該單晶爐能夠避免爐腔內(nèi)的熱量流失，保證爐腔內(nèi)的熱場溫度，從而保證單晶硅的生產(chǎn)，保證單晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：陳五奎;劉強;徐文州;耿榮軍;黨建平
受保護的技術(shù)使用者：樂山新天源太陽能科技有限公司
文檔號碼：201621382087
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.15
技術(shù)公布日：2017.07.28