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單晶爐的制作方法

文檔序號:11658357閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.單晶爐,其特征在于:包括爐體(1)、石英坩堝(4);所述爐體(1)上方設置有晶種提升旋轉機構(12);所述爐體(1)下部設置有坩堝拖桿(2);所述坩堝拖桿(2)一端從爐體(1)的底部延伸到爐體(1)的爐腔內(nèi),且設置有鉗鍋托盤(3),所述石英坩堝(4)安裝在鉗鍋托盤(3)上;所述坩堝拖桿(2)的另一端位于爐體(1)的下方,且設置有坩堝上升旋轉機構(13);所述爐體(1)的爐腔內(nèi)設置有加熱裝置(5),所述加熱裝置(5)與爐體(1)的內(nèi)壁之間設置有保溫層(7);所述爐體(1)的爐腔底部設置有下部加熱器(6);所述爐體(1)的爐腔底部設置有凸臺(11),所述坩堝拖桿(2)從爐體(1)底部貫穿凸臺(11)延伸到爐腔內(nèi),所述坩堝拖桿(2)上設置有與凸臺(11)匹配的環(huán)形套(10);所述環(huán)形套(10)與凸臺(11)配合;所述坩堝拖桿(2)上設置有支撐板(8),所述支撐板(8)位于鉗鍋托盤(3)的下方,所述支撐板(8)上設置有坩堝加熱器(9)。

2.如權利要求1所述的單晶爐,其特征在于:所述支撐板(8)為環(huán)形支撐板。

3.如權利要求1所述的單晶爐,其特征在于:所述加熱裝置(5)采用電阻加熱板。

4.如權利要求1所述的單晶爐,其特征在于:所述環(huán)形套(10)外表面設置有隔熱層。

5.如權利要求1所述的單晶爐,其特征在于:所述環(huán)形套(10)采用石墨制造。

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