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多晶硅鑄錠爐固液界面測量機構的制作方法

文檔序號:11299868閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了一種多晶硅鑄錠爐固液界面測量機構,其通過空心石英棒感應固液界面?zhèn)鬟f給壓力傳感器,進而通過控制器及電機驅動滾珠絲桿實現空心石英棒的上下調節(jié),并通過紅外發(fā)生器發(fā)射紅外線進入空心石英棒底部,然后通過石英棱鏡的反射而使多道紅外線分別測量出固液界面底部至頂部的水平及垂直距離,進而反饋至控制器進行分析,從而判斷出固液界面中心與四周圍的高低位置關系,及時對熔化過程或者長晶過程的參數進行調整,提高產品成品率,減少損失。

技術研發(fā)人員:蔣興賢
受保護的技術使用者:常州兆晶光能有限公司
文檔號碼:201621321578
技術研發(fā)日:2016.12.02
技術公布日:2017.09.05

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