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多晶硅鑄錠爐固液界面測(cè)量機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):11299868閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種多晶硅鑄錠爐固液界面測(cè)量機(jī)構(gòu),所述鑄錠爐包括:爐體,所述爐體上設(shè)置有抽氣孔,所述爐體內(nèi)設(shè)置有保溫護(hù)罩,所述保溫護(hù)罩內(nèi)設(shè)置有坩堝、對(duì)應(yīng)所述坩堝的石墨護(hù)罩、對(duì)應(yīng)所述石墨護(hù)罩的頂部加熱器及側(cè)部加熱器以及位于所述石墨護(hù)罩底部的散熱平臺(tái),所述頂部加熱器與側(cè)部加熱器由安裝在所述爐體頂部的外部加熱銅電極控制以實(shí)現(xiàn)對(duì)石墨護(hù)罩頂部及側(cè)部的外部加熱,所述保溫護(hù)罩及散熱平臺(tái)通過設(shè)置在所述爐體底部的石墨支柱來支撐,所述散熱平臺(tái)支撐所述石墨護(hù)罩,所述石墨護(hù)罩的底板支撐所述坩堝,其特征在于:

所述爐體頂部通過支柱垂直安裝有電機(jī),所述電機(jī)垂直驅(qū)動(dòng)有滾珠絲桿,所述滾珠絲桿上水平安裝有位移支桿并隨所述滾珠絲桿的轉(zhuǎn)動(dòng)而上下移動(dòng);所述位移支桿的另一端通過壓力傳感器垂直安裝有空心石英棒,所述空心石英棒的一端垂直伸入所述坩堝內(nèi);所述空心石英棒的頂端設(shè)置有紅外發(fā)生器,所述電機(jī)與紅外發(fā)生器均連接至一控制器;

所述空心石英棒的底部沿軸向設(shè)置有多個(gè)石英棱鏡,用于將所述紅外發(fā)生器發(fā)射的紅外線反射呈水平紅外線。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐固液界面測(cè)量機(jī)構(gòu),其特征在于,所述空心石英棒的底部呈弧形,以與所述坩堝內(nèi)的硅液結(jié)晶固液界面形成點(diǎn)接觸而減少對(duì)結(jié)晶的影響。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐固液界面測(cè)量機(jī)構(gòu),其特征在于,所述支柱上還設(shè)置有位于所述位移支桿上下兩側(cè)的限位傳感器,以用于限制所述位移支桿的形成,并通過所述控制器控制所述位移支桿的復(fù)位。

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