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一種玻璃光罩切割裝置的制作方法

文檔序號:12393360閱讀:338來源:國知局

本實(shí)用新型涉及玻璃光罩技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種玻璃光罩切割裝置。



背景技術(shù):

玻璃光罩,也稱光罩、光掩模版、MASK、光學(xué)玻璃,常見的玻璃光罩有鉻版、干版等,是指用高品質(zhì)石英玻璃或蘇打玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設(shè)計(jì)好的電路圖形通過激光設(shè)備精密定位曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會被顯影出來,經(jīng)過蝕刻、脫膜后在金屬鉻上形成電路圖形的產(chǎn)品。

玻璃光罩原材料的標(biāo)準(zhǔn)尺寸通常有3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、7英寸、9英寸、16*18英寸、450*550mm、508*609mm、620*720mm、700*800mm等規(guī)格;有些客戶對玻璃光罩尺寸有不同需求,超出標(biāo)準(zhǔn)尺寸規(guī)格的玻璃光罩,需要訂制客戶需求尺寸的原材料,客戶對玻璃光罩尺寸規(guī)格需求越多,就需要采購各種規(guī)格的庫存,容易出現(xiàn)呆料和過期,庫存成本高,而且采購定制的規(guī)格數(shù)量較少時(shí),供應(yīng)商不生產(chǎn),造成采購困難;為了滿足客戶的個(gè)性化需求,又能降低成本,采用標(biāo)準(zhǔn)尺寸的材料切割成各種尺寸,通常采用T型玻璃推刀切割玻璃光罩,但是切割尺寸精度低,操作難度大,切割時(shí)偏離切割線超過200um時(shí)就會報(bào)廢;隨著客戶的產(chǎn)品品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)不斷提高,現(xiàn)有切割方法難以滿足客戶對玻璃光罩切割外形尺寸的要求。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

為此,本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種玻璃光罩切割裝置,以解決現(xiàn)有技術(shù)中玻璃光罩切割尺寸精度低、操作難度大、報(bào)廢率較高的問題。

于是,本實(shí)用新型提供了一種玻璃光罩切割裝置,包括:用于放置玻璃光罩的固定平臺、用于切割標(biāo)記對位的CCD圖像傳感器和顯示器、用于切割的鉆石刀輪和升降調(diào)節(jié)模塊、用于移動(dòng)鉆石刀輪的絲桿和伺服電機(jī),以及用于安裝所述的絲桿、伺服電機(jī)、CCD圖像傳感器和顯示器的龍門架,所述的絲桿和伺服電機(jī)安裝在所述的龍門架下部,所述的CCD圖像傳感器安裝在所述的龍門架中部,所述的顯示器安裝在所述的龍門架上部,所述的龍門架安裝在所述的固定平臺上方,所述的顯示器通過信號線連接所述的CCD圖像傳感器,所述的鉆石刀輪安裝在所述的升降調(diào)節(jié)模塊上通過所述的絲桿與伺服電機(jī)連接。

其中,所述鉆石刀輪的升降調(diào)節(jié)模塊包括氣缸和高度調(diào)節(jié)裝置,所述度調(diào)節(jié)裝置與絲桿連接。

所述固定平臺包括高精度大理石平臺和吸真空裝置,所述高精度大理石平臺中分布有若干個(gè)小孔通過氣管與所述吸真空裝置連接。

所述裝置還包括一個(gè)伺服驅(qū)動(dòng)控制裝置,所述伺服驅(qū)動(dòng)控制裝置通過信號連接線與所述伺服電機(jī)實(shí)現(xiàn)連接。

本實(shí)用新型所述一種玻璃光罩切割裝置,通過兩個(gè)CCD圖像傳感器和顯示器對位,使玻璃光罩切割線標(biāo)記與鉆石刀輪切割標(biāo)記重合,伺服電機(jī)通過旋轉(zhuǎn)絲桿帶動(dòng)鉆石刀輪沿切割線切割玻璃光罩,實(shí)現(xiàn)玻璃光罩切割功能。克服了使用T型玻璃推刀切割玻璃光罩切割尺寸精度低、操作難度大、報(bào)廢率較高的問題,滿足了客戶不同尺寸玻璃光罩的需求。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例所述一種玻璃光罩切割裝置結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面,結(jié)合附圖對本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。

如圖1所示,本實(shí)施例提供了一種玻璃光罩切割裝置,該裝置包括:用于放置玻璃光罩32的固定平臺31、用于切割標(biāo)記對位的CCD圖像傳感器12和顯示器11、用于切割的鉆石刀輪21和升降調(diào)節(jié)模塊22、用于移動(dòng)鉆石刀輪21的絲桿23和伺服電機(jī)24,以及用于安裝所述的絲桿23、伺服電機(jī)24、CCD圖像傳感器12和顯示器11的龍門架13,所述的絲桿23和伺服電機(jī)24安裝在所述的龍門架13下部,所述的CCD圖像傳感器12安裝在所述的龍門架13中部,所述的顯示器11安裝在所述的龍門架13上部,所述的龍門架13安裝在所述的固定平臺31上方,所述的顯示器11通過信號線連接所述的CCD圖像傳感器12,所述的鉆石刀輪21安裝在所述的升降調(diào)節(jié)模塊22上通過所述的絲桿23與伺服電機(jī)24連接。

其中,所述鉆石刀輪21的升降調(diào)節(jié)模塊22包括氣缸和高度調(diào)節(jié)裝置,所述高度調(diào)節(jié)裝置與絲桿23連接。

其中,所述固定平臺31包括高精度大理石平臺和吸真空裝置,所述高精度大理石平臺中分布有若干個(gè)小孔通過氣管與所述吸真空裝置連接。

其中,所述裝置還包括一個(gè)伺服驅(qū)動(dòng)控制裝置,所述伺服驅(qū)動(dòng)控制裝置通過信號連接線與所述伺服電機(jī)24實(shí)現(xiàn)連接。

在實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中,如圖1所示,所述一種玻璃光罩32切割裝置接通電源,將玻璃光罩32放置在固定平臺31上,通過固定平臺31上方的兩個(gè)CCD圖像傳感器12采集玻璃光罩32切割線標(biāo)記分別在兩個(gè)顯示器11上顯示,調(diào)整玻璃光罩32位置,使玻璃光罩32切割線標(biāo)記與兩個(gè)顯示器11上的鉆石刀輪21切割標(biāo)記重合,此時(shí)玻璃光罩32切割線與鉆石刀輪21對齊在一條直線上,然后啟動(dòng)吸真空裝置(圖中未標(biāo)示),通過固定平臺31上的小孔吸真空把玻璃光罩吸附在固定平臺31上,根據(jù)玻璃光罩32的厚度調(diào)節(jié)鉆石刀輪21升降調(diào)節(jié)模塊22的高度,使鉆石刀輪21切割玻璃光罩32時(shí)有一個(gè)適合的壓力,啟動(dòng)伺服驅(qū)動(dòng)控制裝置(圖中未標(biāo)示),使伺服電機(jī)24帶動(dòng)絲桿23旋轉(zhuǎn),使鉆石刀輪21從右向左水平沿玻璃光罩32切割線切割,鉆石刀輪21達(dá)到左限位時(shí)抬起刀頭,回到右限位原點(diǎn),切割完畢關(guān)閉電源,從固定平臺31上取出玻璃光罩32,把切割的部分掰下,玻璃光罩32切割完成。

本實(shí)施例所述玻璃光罩32切割裝置切割的厚度為1.6~6mm,最大長度為800mm,最大寬度為800mm,切割精度為±30um,切割壓力為0.3Mpa。

綜上所述, 本實(shí)用新型所述一種玻璃光罩切割裝置,通過兩個(gè)CCD圖像傳感器和顯示器使玻璃光罩切割線標(biāo)記與鉆石刀輪切割標(biāo)記重合,固定平臺的真空裝置吸真空將玻璃光罩固定,伺服電機(jī)帶動(dòng)絲桿旋轉(zhuǎn),絲桿帶動(dòng)升降調(diào)節(jié)模塊和鉆石刀輪水平勻速移動(dòng),鉆石刀輪沿玻璃光罩切割線切割玻璃光罩,實(shí)現(xiàn)玻璃光罩切割的功能??朔耸褂肨型玻璃推刀切割玻璃光罩切割尺寸精度低、操作難度大、報(bào)廢率較高的問題,滿足了客戶不同尺寸玻璃光罩的需求。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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