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一種ZrB2陶瓷的反應化學氣相沉積制備方法與流程

文檔序號:12239893閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種ZrB2陶瓷的反應化學氣相沉積制備方法,其特征在于步驟如下:

步驟1:將將球磨混合后的漿料涂覆在C/SiC復合材料的預制體表面,然后放入真空干燥箱,40℃-80℃條件下干燥12h;

所述漿料為質(zhì)量分數(shù)為40%的Zr粉、50%的溶劑酒精、2%的分散劑磷酸三乙酯、3%的粘結(jié)劑聚乙烯醇縮丁醛(PVB)、3%的增塑劑和2%的消泡劑的混合物;

步驟2:進行反應化學氣相沉積,參數(shù)為:通入BCl3為硼源,H2為還原氣體,Ar和部分H2為稀釋氣體;沉積爐中反應溫度為800~1200℃,保溫時間為3~6小時,爐內(nèi)壓力為10~100Kpa,在C/SiC復合材料的預制體表面制備ZrB2涂層,得到ZrB2陶瓷。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述ZrB2陶瓷的反應化學氣相沉積制備方法,其特征在于:所述C/SiC復合材料預制體為二維碳纖維編制布和開氣孔率為20vol%~40vol%的C/SiC復合材料的預制體。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述ZrB2陶瓷的反應化學氣相沉積制備方法,其特征在于:所述增塑劑為體積分數(shù)比為1:1的丙三醇和鄰苯二甲酸二辛酯的混合物質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述ZrB2陶瓷的反應化學氣相沉積制備方法,其特征在于:所述消泡劑為為體積分數(shù)比為1:1的正丁醇和乙二醇的混合物質(zhì)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述ZrB2陶瓷的反應化學氣相沉積制備方法,其特征在于:所述的Zr粉粒徑為小于25um。

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