技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
首先，將Yb2O3原料粉末通過200kgf/cm2的壓力單軸加壓成形，制作厚10mm左右的圓盤狀成形體，裝入燒成用石墨鑄模。接著，使用熱壓法在規(guī)定的燒成溫度(1500℃)進(jìn)行燒成，得到半導(dǎo)體制造裝置用耐腐蝕性構(gòu)件。燒成時(shí)的沖壓壓力為200kgf/cm2、燒成終結(jié)為止為Ar氣氛。燒成溫度(最高溫度)下的保持時(shí)間為4小時(shí)。這樣，得到開孔率0.2％的Yb2O3燒結(jié)體構(gòu)成的半導(dǎo)體制造裝置用耐腐蝕性構(gòu)件。

技術(shù)研發(fā)人員：渡邊守道;勝田祐司;早瀨徹;神藤明日美
受保護(hù)的技術(shù)使用者：日本礙子株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2011.03.18
技術(shù)公布日：2017.08.29