亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

技術(shù)編號：11427925

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。

半導(dǎo)體制造裝置用耐腐蝕性構(gòu)件及其制法本發(fā)明為下述申請的分案申請。發(fā)明名稱：半導(dǎo)體制造裝置用耐腐蝕性構(gòu)件及其制法申請日：2011年03月18日申請?zhí)枺?01180015793.9(PCT/JP2011/056624)技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明關(guān)于半導(dǎo)體制造裝置用耐腐蝕性構(gòu)件及其制法。背景技術(shù)半導(dǎo)體制造中實施干燥工序和等離子體噴涂等時所利用的半導(dǎo)體制造裝置中，作為蝕刻、清洗用，使用的是反應(yīng)性高的F、Cl系等離子體。因此，用于此種裝置的構(gòu)件必須有高耐腐蝕性，對于靜電卡盤和加熱器等與Si晶片接觸的構(gòu)件，需要更高耐腐...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。

詳細技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。

該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家，請聯(lián)系客服

• 張老師：1.探索新型氧化還原酶結(jié)構(gòu)-功能關(guān)系，電催化反應(yīng)機制 2.酶電催化導(dǎo)向的酶分子改造 3.納米材料、生物功能多肽對酶-電極體系的影響4. 生物電化學(xué)傳感和生物電合成體系的設(shè)計與應(yīng)用。
• 鄔老師：1.高分子材料的共混與復(fù)合 2.涉及材料功能化及結(jié)構(gòu)與性能的研究； 高分子熱穩(wěn)定劑的研發(fā)
• 趙老師：1.電化學(xué)離子儲存和分離技術(shù) 2.工業(yè)結(jié)晶
• 廖老師：1. 晶面可控氧化鋁、碳基載體及催化劑等高性能、新結(jié)構(gòu)催化材料研究 2. 乙烯環(huán)氧化催化劑的研究與開發(fā) 3. 低碳不飽和烯烴的選擇性氧化催化劑及工業(yè)技術(shù)開發(fā)
• 李老師：1. 加氫精制 2. 選擇加氫 3. 加氫脫氧 4. 介孔及介微孔分子篩合成及催化應(yīng)用
• 賈老師：生物材料
• 陳老師：1.化工分離與純化理論及應(yīng)用 2. MVR蒸發(fā)結(jié)晶理論及工程化應(yīng)用 3.復(fù)雜體系廢水處理技術(shù)及工程化 4. 鹵水資源綜合利用技術(shù)
• 王老師：1. 工業(yè)微生物菌種選育 2. 工業(yè)酶制劑的分子改造、高效表達與高效制備 3. 工業(yè)微生物資源與開發(fā)利用