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高純度多晶硅片的制備方法與流程

文檔序號:12744184閱讀:1243來源:國知局

本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域,具體是高純度多晶硅片的制備方法。



背景技術(shù):

高效和低成本是太陽電池發(fā)展的主要趨勢。多晶硅太陽電池價格低廉且轉(zhuǎn)換效率較高,成為國際光伏界的研究熱點。

多晶硅,是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來,就結(jié)晶成多晶硅。多晶硅可作拉制單晶硅的原料,多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質(zhì)方面。例如,在力學(xué)性質(zhì)、光學(xué)性質(zhì)和熱學(xué)性質(zhì)的各向異性方面,遠(yuǎn)不如單晶硅明顯;在電學(xué)性質(zhì)方面,多晶硅晶體的導(dǎo)電性也遠(yuǎn)不如單晶硅顯著,甚至于幾乎沒有導(dǎo)電性。在化學(xué)活性方面,兩者的差異極小。多晶硅和單晶硅可從外觀上加以區(qū)別,但真正的鑒別須通過分析測定晶體的晶面方向、導(dǎo)電類型和電阻率等。多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接原料,是當(dāng)代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等半導(dǎo)體器件的電子信息基礎(chǔ)材料。

多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)主要為改良西門子法和硅烷法。西門子法通過氣相沉積的方式生產(chǎn)柱狀多晶硅,為了提高原料利用率和環(huán)境友好,在前者的基礎(chǔ)上采用了閉環(huán)式生產(chǎn)工藝即改良西門子法。硅烷法是將硅烷通入以多晶硅晶種作為流化顆粒的流化床中,使硅烷裂解并在晶種上沉積,從而得到顆粒狀多晶硅。改良西門子法和硅烷法主要生產(chǎn)電子級晶體硅,也可以生產(chǎn)太陽能級多晶硅。

目前,太陽能電池的主要技術(shù)原料問題是硅材料的純度和制備技術(shù)帶來的成本問題,特別是太陽能電池的成本直接受所使用硅原料及其加工技術(shù)的成本影響。在太陽能電池中使用的硅片,目前主要是采用機械切割技術(shù)加工制成傳統(tǒng)的大直徑單晶硅片,這種加工方法存在著切割損耗高達(dá)50%,切割加工綜合成本高等突出缺點。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的在于提供純度達(dá)到99.9999%且降低生產(chǎn)成本的高純度多晶硅片的制備方法,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:

高純度多晶硅片的制備方法,包括以下步驟:

1)將硅料置入高溫熔爐中,在無塵環(huán)境下加熱至1300-1380℃,保持高溫熔爐爐底的硅料不熔化,制得多晶硅;

2)將多晶硅進(jìn)行切割,對切割后的多晶硅利用清洗劑進(jìn)行表面清洗處理,其中,清洗劑按照重量份的原料包括:表面活性劑40-50份、螯合劑22-30份;

3)向清洗后的多晶硅中加入添加劑和硼的固化劑,并在700-800℃的溫度下處理10min,清理后制得高純度多晶硅片。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:螯合劑由EDTA-2Na與酒石酸鈉組成。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:表面活性劑為聚氧乙烯醚類物質(zhì)。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:添加劑按照重量份的原料包括:鐵粉20-28份、NaHCO325-35份、CaO 20-25份、炭粉20-25份。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案:硼的固化劑,按照重量份的原料包括:乙酸乙酯30-60份、熱塑性黏合劑6-10份。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:

本發(fā)明能有效地去除現(xiàn)有工藝難以去除的、影響太陽能電池材料中少子壽命和轉(zhuǎn)化效率衰減的硼等關(guān)鍵性雜質(zhì)元素,使提純后的多晶硅片的B濃度低于1ppm,提高多晶硅片的轉(zhuǎn)化效率,使產(chǎn)品達(dá)到高純多晶硅片99.9999%,保證產(chǎn)品合格率,同時降低生產(chǎn)成本。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

實施例1

本發(fā)明實施例中,高純度多晶硅片的制備方法,包括以下步驟:

1)將硅料置入高溫熔爐中,在無塵環(huán)境下加熱至1300℃,保持爐底的硅料不熔化,使留在爐底的硅料晶種能更好的引導(dǎo)長晶和控制晶粒要求,從而減少位錯和缺陷,提高了產(chǎn)品純度;經(jīng)過上述步驟制得多晶硅。

2)將多晶硅進(jìn)行切割,對切割后的多晶硅利用清洗劑進(jìn)行表面清洗處理,有效地清除硅片表面的污染物,使硅片表面潔凈如一,有利于硅片制絨效果,提高表面純凈度,有效地提高產(chǎn)品轉(zhuǎn)化效率;其中,清洗劑按照重量份的原料包括:表面活性劑40份、螯合劑22份。螯合劑由EDTA-2Na與酒石酸鈉組成;表面活性劑為聚氧乙烯醚類物質(zhì)。

3)向清洗后的多晶硅中添加高還原性的添加劑和硼的固化劑,并在700℃的溫度下處理10min,制得高純度多晶硅片。添加劑按照重量份的原料包括:鐵粉20份、NaHCO325份、CaO 20份、炭粉20份。硼的固化劑,按照重量份的原料包括:乙酸乙酯30份、熱塑性黏合劑6份。

實施例2

本發(fā)明實施例中,高純度多晶硅片的制備方法,包括以下步驟:

1)將硅料置入高溫熔爐中,在無塵環(huán)境下加熱至1380℃,保持爐底的硅料不熔化,使留在爐底的硅料晶種能更好的引導(dǎo)長晶和控制晶粒要求,從而減少位錯和缺陷,提高了產(chǎn)品純度;經(jīng)過上述步驟制得多晶硅。

2)將多晶硅進(jìn)行切割,對切割后的多晶硅利用清洗劑進(jìn)行表面清洗處理,有效地清除硅片表面的污染物,使硅片表面潔凈如一,有利于硅片制絨效果,提高表面純凈度,有效地提高產(chǎn)品轉(zhuǎn)化效率;其中,清洗劑按照重量份的原料包括:表面活性劑50份、螯合劑30份。螯合劑由EDTA-2Na與酒石酸鈉組成;表面活性劑為聚氧乙烯醚類物質(zhì)。

3)向清洗后的多晶硅中添加高還原性的添加劑和硼的固化劑,并在800℃的溫度下處理10min,制得高純度多晶硅片。添加劑按照重量份的原料包括:鐵粉28份、NaHCO335份、CaO 25份、炭粉25份。硼的固化劑,按照重量份的原料包括:乙酸乙酯60份、熱塑性黏合劑10份。

實施例3

本發(fā)明實施例中,高純度多晶硅片的制備方法,包括以下步驟:

1)將硅料置入高溫熔爐中,在無塵環(huán)境下加熱至1320℃,保持爐底的硅料不熔化,使留在爐底的硅料晶種能更好的引導(dǎo)長晶和控制晶粒要求,從而減少位錯和缺陷,提高了產(chǎn)品純度;經(jīng)過上述步驟制得多晶硅。

2)將多晶硅進(jìn)行切割,對切割后的多晶硅利用清洗劑進(jìn)行表面清洗處理,有效地清除硅片表面的污染物,使硅片表面潔凈如一,有利于硅片制絨效果,提高表面純凈度,有效地提高產(chǎn)品轉(zhuǎn)化效率;其中,清洗劑按照重量份的原料包括:表面活性劑42份、螯合劑24份。螯合劑由EDTA-2Na與酒石酸鈉組成;表面活性劑為聚氧乙烯醚類物質(zhì)。

3)向清洗后的多晶硅中添加高還原性的添加劑和硼的固化劑,并在720℃的溫度下處理10min,制得高純度多晶硅片。添加劑按照重量份的原料包括:鐵粉22份、NaHCO327份、CaO 21份、炭粉21份。硼的固化劑,按照重量份的原料包括:乙酸乙酯35份、熱塑性黏合劑7份。

實施例4

本發(fā)明實施例中,高純度多晶硅片的制備方法,包括以下步驟:

1)將硅料置入高溫熔爐中,在無塵環(huán)境下加熱至1360℃,保持爐底的硅料不熔化,使留在爐底的硅料晶種能更好的引導(dǎo)長晶和控制晶粒要求,從而減少位錯和缺陷,提高了產(chǎn)品純度;經(jīng)過上述步驟制得多晶硅。

2)將多晶硅進(jìn)行切割,對切割后的多晶硅利用清洗劑進(jìn)行表面清洗處理,有效地清除硅片表面的污染物,使硅片表面潔凈如一,有利于硅片制絨效果,提高表面純凈度,有效地提高產(chǎn)品轉(zhuǎn)化效率;其中,清洗劑按照重量份的原料包括:表面活性劑48份、螯合劑28份。螯合劑由EDTA-2Na與酒石酸鈉組成;表面活性劑為聚氧乙烯醚類物質(zhì)。

3)向清洗后的多晶硅中添加高還原性的添加劑和硼的固化劑,并在780℃的溫度下處理10min,制得高純度多晶硅片。添加劑按照重量份的原料包括:鐵粉26份、NaHCO333份、CaO 24份、炭粉24份。硼的固化劑,按照重量份的原料包括:乙酸乙酯55份、熱塑性黏合劑9份。

實施例5

本發(fā)明實施例中,高純度多晶硅片的制備方法,包括以下步驟:

1)將硅料置入高溫熔爐中,在無塵環(huán)境下加熱至1340℃,保持爐底的硅料不熔化,使留在爐底的硅料晶種能更好的引導(dǎo)長晶和控制晶粒要求,從而減少位錯和缺陷,提高了產(chǎn)品純度;經(jīng)過上述步驟制得多晶硅。

2)將多晶硅進(jìn)行切割,對切割后的多晶硅利用清洗劑進(jìn)行表面清洗處理,有效地清除硅片表面的污染物,使硅片表面潔凈如一,有利于硅片制絨效果,提高表面純凈度,有效地提高產(chǎn)品轉(zhuǎn)化效率;其中,清洗劑按照重量份的原料包括:表面活性劑45份、螯合劑26份。螯合劑由EDTA-2Na與酒石酸鈉組成;表面活性劑為聚氧乙烯醚類物質(zhì)。

3)向清洗后的多晶硅中添加高還原性的添加劑和硼的固化劑,并在750℃的溫度下處理10min,制得高純度多晶硅片。添加劑按照重量份的原料包括:鐵粉24份、NaHCO330份、CaO 22份、炭粉22份。硼的固化劑,按照重量份的原料包括:乙酸乙酯40份、熱塑性黏合劑8份。

實施例6

本發(fā)明實施例中,高純度多晶硅片的制備方法,包括以下步驟:

1)將硅料置入高溫熔爐中,在無塵環(huán)境下加熱至1310℃,保持爐底的硅料不熔化,使留在爐底的硅料晶種能更好的引導(dǎo)長晶和控制晶粒要求,從而減少位錯和缺陷,提高了產(chǎn)品純度;經(jīng)過上述步驟制得多晶硅。

2)將多晶硅進(jìn)行切割,對切割后的多晶硅利用清洗劑進(jìn)行表面清洗處理,有效地清除硅片表面的污染物,使硅片表面潔凈如一,有利于硅片制絨效果,提高表面純凈度,有效地提高產(chǎn)品轉(zhuǎn)化效率;其中,清洗劑按照重量份的原料包括:表面活性劑41份、螯合劑25份。螯合劑由EDTA-2Na與酒石酸鈉組成;表面活性劑為聚氧乙烯醚類物質(zhì)。

3)向清洗后的多晶硅中添加高還原性的添加劑和硼的固化劑,并在740℃的溫度下處理10min,制得高純度多晶硅片。添加劑按照重量份的原料包括:鐵粉25份、NaHCO329份、CaO 23份、炭粉23份。硼的固化劑,按照重量份的原料包括:乙酸乙酯50份、熱塑性黏合劑9份。

對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,顯然本發(fā)明不限于上述示范性實施例的細(xì)節(jié),而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此,無論從哪一點來看,均應(yīng)將實施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定,因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。

此外,應(yīng)當(dāng)理解,雖然本說明書按照實施方式加以描述,但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案,說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個整體,各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。

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