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多晶硅還原尾氣回收方法和回收系統(tǒng)與流程

文檔序號:12937290閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種多晶硅還原尾氣回收方法,包括:利用氯化氫吸收塔塔頂輸出的不凝氣的冷量對所述還原尾氣進行冷卻處理,得到冷卻后的還原尾氣;在氯化氫吸收塔中利用塔頂自上而下的含有微量氯化氫的液相氯硅烷對所述冷卻后的還原尾氣進行吸收處理,從塔釜輸出富含氯化氫的液相氯硅烷,從塔頂輸出不凝氣;在氯化氫解析塔中對氯化氫吸收塔塔釜輸出的富含氯化氫的液相氯硅烷進行解析處理;利用氯化氫吸收塔塔釜輸出的富含氯化氫的液相氯硅烷的冷量對氯化氫解析塔輸出的含有微量氯化氫的液相氯硅烷進行冷卻處理,并將冷卻后含有微量氯化氫的液相氯硅烷送入氯化氫吸收塔塔頂。相應地,還提供一種回收系統(tǒng)。本發(fā)明所述回收方法和回收系統(tǒng)的冷量利用合理。

技術(shù)研發(fā)人員:王東;楊海軍;張杰;茍海龍;李國苑;俞振陽;馬永露
受保護的技術(shù)使用者:新特能源股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2016.05.09
技術(shù)公布日:2017.11.17
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