電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，包括對工業(yè)氫氟酸依次進行除雜的氧化反應(yīng)釜和精餾塔，精餾塔的塔頂設(shè)置有立式布置的塔頂冷凝器，塔頂冷凝器的底端設(shè)置用于與精餾塔塔頂氣體出口管相連通連接的物料進口，塔頂冷凝器的頂端設(shè)置未冷凝氣體的排出口，塔頂冷凝器內(nèi)的冷凝液與氣體同向流動換熱。通過改變塔頂冷凝器的布置方式，精餾塔出來的氣體從冷凝器底部物料進口進入，冷凝后又從該口部回流至精餾塔內(nèi)，而氣體中的雜質(zhì)則不會受過冷而冷凝回流，從而提高氫氟酸產(chǎn)品的質(zhì)量。
【專利說明】電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及電子級氫氟酸生產(chǎn)領(lǐng)域，具體涉及一種電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]電子級氫氟酸主要用于電子、光伏行業(yè)中生產(chǎn)集成電路，要求非金屬元素的含量Cl 芻 5000ppb、N(V ^ 3000ppb、P043 —蘭 100ppb、SO42 —蘭 5000ppb，金屬元素的含量要求低于lOppb。目前，對于電子級的氫氟酸生產(chǎn)主要是將工業(yè)氫氟酸進一步進行氧化和精餾除雜，精餾塔的塔頂設(shè)置有塔頂冷凝器，精餾塔出來的氣體在塔頂冷凝器內(nèi)冷凝分離，液化溫度較高的氫氟酸在塔頂冷凝器內(nèi)冷凝然后回流至精餾塔內(nèi)，而液化溫度較低的雜質(zhì)則仍為氣態(tài)直接從塔頂冷凝器頂部排放除去。
[0003]傳統(tǒng)操作中，是將冷凝器傾斜布置，精餾塔出來的氣體從冷凝器頂端的入口進入冷凝器內(nèi)，冷凝后的液體從塔頂冷凝器下部出來回流，塔頂冷凝器內(nèi)氣體與冷卻水進行逆流換熱，以達到最佳的換熱效果。但是通過研究發(fā)現(xiàn)采用該方式針對氫氟酸精餾塔內(nèi)出來的氣體進行冷凝時，氣體容易過冷，使得液化溫度較低的雜質(zhì)也液化成液體，這樣部分雜質(zhì)也會冷凝回流到精餾塔內(nèi)，影響電子級氫氟酸產(chǎn)品的質(zhì)量，產(chǎn)品純度無法得到提高。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型提供一種電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其可有效解決上述問題，防止氣體過冷，雜質(zhì)冷凝回流 ，提高產(chǎn)品的純度。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下方案進行實施:
[0006]一種電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:包括對工業(yè)氫氟酸依次進行除雜的氧化反應(yīng)釜和精餾塔，精餾塔的塔頂設(shè)置有立式布置的塔頂冷凝器，塔頂冷凝器的底端設(shè)置用于與精餾塔塔頂氣體出口管相連通連接的物料進口，塔頂冷凝器的頂端設(shè)置未冷凝氣體的排出口，塔頂冷凝器內(nèi)的冷凝液與氣體同向流動換熱。
[0007]上述方案中，通過改變塔頂冷凝器的布置方式，精餾塔出來的氣體從冷凝器底部物料進口進入，冷凝后又從該口部回流至精餾塔內(nèi)，而氣體中的雜質(zhì)則不會受過冷而冷凝回流，從而提聞氧氣酸廣品的質(zhì)量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2為氧化反應(yīng)釜的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖3為精餾塔的局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖4為圖3的A處放大示意圖；
[0012]圖5為換熱器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖6為圖5的B-B剖視圖；[0014]圖7為折流板和換熱管的裝配不意圖；
[0015]圖8為熱水罐的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖9為取樣室的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0017]以下通過【具體實施方式】來對本實用新型作進一步的說明。
[0018]本實用新型采取的方案如圖1所示，一種電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，包括對工業(yè)氫氟酸依次進行除雜的氧化反應(yīng)釜10和精餾塔20，精餾塔20的塔頂設(shè)置有立式布置的塔頂冷凝器30，塔頂冷凝器30的底端設(shè)置用于與精餾塔20塔頂氣體出口管相連通連接的物料進口，塔頂冷凝器30的頂端設(shè)置未冷凝氣體的排出口，塔頂冷凝器30內(nèi)的冷凝液與氣體(此處氣體就是指從精餾塔進入塔頂冷凝器內(nèi)的氣體)同向流動進行換熱。通過改變塔頂冷凝器的布置方式，精餾塔出來的氣體從冷凝器底部物料進口進入，冷凝后又從該口部回流至精餾塔內(nèi)，而氣體中的雜質(zhì)則不會受過冷而冷凝回流，從而提高氫氟酸產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0019]由于在氫氟酸生產(chǎn)過程中，會產(chǎn)生大量熱蒸汽和冷凍鹽水，而在精餾塔20、塔頂冷凝器30中分別需要熱源和冷源，因此將蒸汽用于精餾塔加熱、冷凍鹽水用于塔頂冷凝器30內(nèi)對氣體進行冷卻以節(jié)省成本。但是由于蒸汽的熱能以及冷凍鹽水的冷卻效果過大，因此通常將蒸汽與水在熱水罐50中進行熱交換后再用于精餾塔20加熱，冷凍鹽水與冷卻液(冷卻水)在換熱器40中進行冷交換后在用于對氣體進行冷凝。
[0020]但是，傳統(tǒng)熱水罐40中，蒸汽管52懸置狀的直接通入冷水中，這樣在進行熱交換時，蒸汽管52會產(chǎn)生很大的噪音并使熱水罐40震動，影響設(shè)備的穩(wěn)定運行而且降低設(shè)備的使用壽命，同時產(chǎn)生的噪音也使得無法辨認其他設(shè)備是否處于正常運行狀態(tài)。因此，本實用新型的進一步方案為，如圖8所示，該生產(chǎn)系統(tǒng)還包括用于對精餾塔20提供熱源的熱水罐50，熱水罐50上設(shè)置與精餾塔20相連接的熱水出口 58，冷水進口 56以及延伸至熱水罐50內(nèi)部垂吊狀布置的蒸汽管52，蒸汽管52的管壁上沿管長方向均勻設(shè)置有蒸汽孔53。通過在蒸汽管管壁上布滿蒸汽孔53，使得蒸汽均勻的進入到罐體51內(nèi)，消除了噪音，避免了熱水罐50的震動，增加了設(shè)備的使用壽命，同時也消除了安全隱患。
[0021 ] 具體的為蒸汽孔53沿管壁均勻?qū)ΨQ布置，蒸汽孔53為圓形孔，這樣熱蒸汽在罐體51內(nèi)的上、下高度的四周方向上均勻噴出，與熱水罐50里的冷水實施多方向位的熱交換，確保了熱交換效率。罐體51的壁面上設(shè)有放空口 54，熱水出口 58上方的罐體壁面上設(shè)有溫度計57，罐體51側(cè)壁的上端設(shè)有溢流口 55，罐體側(cè)壁的底部設(shè)有排凈口 59。放空口 54是用來保證熱水罐不積壓，使得熱水罐50在常壓下工作。
[0022]另外，由于在換熱器40內(nèi)，冷凍鹽水具有較強的腐蝕性，使得換熱器40的殼體41內(nèi)壁長期受冷凍鹽水的侵蝕易產(chǎn)生鐵銹等一些雜質(zhì)，而部分折流板43的低位邊緣處與殼體41的底部內(nèi)壁相接，這樣由于雜質(zhì)自身的重力作用以及折流板43的阻擋作用導(dǎo)致雜質(zhì)截留而難以被冷凍鹽水帶出殼體41，雜質(zhì)日積月累影響換熱器40的換熱效果和正常工作。為此本實用新型采用如圖5、6、7所示的技術(shù)方案。換熱器40包括殼體41，殼體41上設(shè)置有冷凝液進、出口 401、402和冷凍鹽水進、出口 403、404，殼體41內(nèi)列狀設(shè)置供冷凝液進行流動的換熱管42以及支撐換熱管42的折流板43，換熱器40呈臥狀布置，換熱器40底部內(nèi)壁較低位置處沿換熱器40身長范圍延伸設(shè)置有用于供殼體41內(nèi)沉積雜質(zhì)排出殼體41的通道，通道的端部對應(yīng)設(shè)置排污口 407。這樣在冷凍鹽水的推動作用下，沉淀在殼體41底部內(nèi)壁處的雜質(zhì)就自然沿著該通道流至排污口 407處排出，雜質(zhì)得以順利清除，保證換熱器的換熱效果，換熱器40臥狀布置可使得其為傾斜，傾斜角度為4-8°即可，這樣雜質(zhì)從底部內(nèi)壁的高端流向低端，更佳有利于雜質(zhì)的排放。
[0023]具體的方案為，折流板43在殼體41內(nèi)呈立狀間隔布置，折流板43的上下邊部或左右邊部與殼體41的內(nèi)壁之間設(shè)置第一空缺部44，相鄰折流板43上的第一空缺部44在板體相對的兩邊部分別設(shè)置，第一空缺部44用于形成冷凍鹽水流動的迂回通路，其中板體下側(cè)邊部與殼體41內(nèi)壁固接為一體的各折流板43、在其下側(cè)板面邊緣的最低位置處開設(shè)第二空缺部45，各第二空缺部45順延布置構(gòu)成冷凍鹽水推動殼體41內(nèi)沉積雜質(zhì)向排污口407側(cè)流動的通道，換熱器40設(shè)置排污口 407 —端的高度低于另一端的高度。優(yōu)選的，所述第二空缺部44在折流板43的左右邊部形成，這樣冷凍鹽水在迂回型流道上流動時的流速穩(wěn)定，提高換熱的均勻性，可避免開設(shè)第二空缺部45對冷凍鹽水與冷卻水換熱效率的影響。另外，殼體上還設(shè)有進、出氣口 405、406。
[0024]對于氧化反應(yīng)釜10的設(shè)計，可按照如圖2所示，所述的氧化反應(yīng)釜10包括釜體11，釜體11內(nèi)設(shè)置有加熱組件12以及用于將氧化處理后的氫氟酸打出至精餾塔20內(nèi)的泵體，反應(yīng)釜10的底部設(shè)置有一向下凹陷的凹槽部13，泵體設(shè)置在凹槽部13內(nèi)，反應(yīng)釜10的釜底設(shè)置成傾斜狀布置，凹槽部13設(shè)置在釜底的較高位置處，釜底以及凹槽部13的較低位置處分別設(shè)置有排泄口 14、15。
[0025]加熱組件12可為加熱管構(gòu)成，通過支撐板加以支撐，其中氧化反應(yīng)生成的氣態(tài)雜質(zhì)直接從釜體11上設(shè)置的排氣口處排放，固態(tài)雜質(zhì)則沉淀至釜體的底部，當(dāng)打開排泄口14、15時，沉淀雜質(zhì)即可排出。凹槽部13的設(shè)置是便于泵體盡可能的將釜體11內(nèi)的氫氟酸打至精餾塔20內(nèi)，避免積存。釜體11只要在水平面上略為傾斜，具體傾斜角度在5°左右即可，這樣未落入凹槽部13內(nèi)的雜質(zhì)從釜體11底部的高端流向低端設(shè)置的排泄口 15處進行排放，使得釜體11內(nèi)的雜質(zhì)得以有效、及時地清理。如若支撐板對雜質(zhì)清理造成影響，可仿照換熱器的設(shè)置，在支撐板的底部開設(shè)空缺部，以供雜質(zhì)流向釜底的低端。
[0026]傳統(tǒng)精餾塔中，為了便于維修，在精餾段和提餾段均設(shè)置用于檢修的手孔，但是設(shè)置的手孔與精餾塔20身的連接處無法達到很好的無縫粘合，因此在精餾塔20的塔身上形成較多的泄漏點，而精餾制取的產(chǎn)品為電子級的氫氟酸，任何一個泄漏點都會導(dǎo)致產(chǎn)品不合格。由于精餾塔20所精餾的原料氫氟酸的純度較高，經(jīng)過提餾段的精餾后產(chǎn)品的純度已經(jīng)很高，因此精餾塔20內(nèi)精餾段20a的填料無需進行清洗，所以本實用新型中取消了在精餾塔20精餾段20a的手孔設(shè)置，僅在提餾段1b設(shè)置手孔22，盡最大的可能降低產(chǎn)品受到污染的風(fēng)險，提高產(chǎn)品的合格率。同時取消精餾段20a設(shè)置手孔22也使精餾塔20的設(shè)備成本下降。當(dāng)然這樣精餾段20a設(shè)備如果損壞只能返廠，無法現(xiàn)場通過手孔進行檢修。具體實施時，精餾塔20塔高為19米，僅塔身下部9米設(shè)置用于檢修的手孔22，且塔身高度每3米設(shè)置兩個手孔22，以及精餾塔20塔身包括6個3米的單元節(jié)以及塔頂疊加構(gòu)成，下部的3個單元節(jié)中每個單元節(jié)上開設(shè)兩個手孔22。
[0027]另外，傳統(tǒng)精餾塔采用噴淋裝置和均流板使得回流液在精餾塔內(nèi)均勻分布，但是由于噴淋裝置的局限性，無法使得冷凝液有效的噴灑至均流板的邊緣處和中心位置處，因此精餾塔內(nèi)冷凝液的分布還是較不均勻，影響精餾的效果。為此，本實用新型采用如圖3、4所示的技術(shù)方案，精餾塔20內(nèi)設(shè)置有對塔頂冷凝器30冷凝回流的回流液進行均布的均布機構(gòu)，均布機構(gòu)包括板面沿水平方向布置的隔板23，隔板23將精餾塔20內(nèi)部分隔成上、下相隔的兩個區(qū)域，隔板23上均勻開設(shè)有貫穿板體的插孔，各插孔內(nèi)分別插設(shè)立狀布置的均流管24，各均流管24延伸至隔板23上方的管口端部呈平齊狀設(shè)置。這樣，冷凝回流的回流液會先儲存在隔板23與精餾塔20內(nèi)壁形成桶腔內(nèi)，當(dāng)冷凝液的液面高度與各均流管24上端的高度相吻合時，冷凝液就會沿著各均流管24流入精餾段20a的填料中，由于均流管24在隔板23上均勻分布，因此能夠?qū)崿F(xiàn)冷凝液在精餾塔20的均勻分布，提高精餾效果。當(dāng)然這樣也對精餾塔20的安裝提出了更高的要求。
[0028]具體的操作方案為，冷凝液回流管21的排液管口處套設(shè)有開口向下、蓋合在隔板23上的圓形穩(wěn)流罩25，穩(wěn)流罩25側(cè)壁的周向均勻開設(shè)有通孔，該通孔的高度低于均流管24上端的管口高度，插孔在穩(wěn)流罩25外圍的隔板23板面上均勻開設(shè)，如圖4所示。由于實際操作時，隔板23上儲存的冷凝液不會太多，從冷凝液回流管21落下的冷凝液引起液面波動，導(dǎo)致各均流管24排液不均，因此在冷凝液回流管21的排液管口處設(shè)置一穩(wěn)流罩25，防止液面較大的波動，保證冷凝液均勻分布。
[0029]由于本實用新型為連續(xù)化生產(chǎn)系統(tǒng)，為保證產(chǎn)品質(zhì)量，需不定期對輸送儲存的氫氟酸進行取樣檢測，但是由于制得的產(chǎn)品是電子級氫氟酸，而輸送管道大多半露天設(shè)置，在取樣時，即使一陣風(fēng)吹過也會導(dǎo)致產(chǎn)品受到嚴(yán)重污染，檢測的結(jié)果不合格，無法準(zhǔn)確得知產(chǎn)品的質(zhì)量。為此本實用新型采用如圖9所示的技術(shù)方案進行實施，一種電子級氫氟酸取樣室，包括一可自由打開和關(guān)閉的盒室60’，盒室60’內(nèi)設(shè)置有由隔板圍成的用于電子級氫氟酸取樣的取樣間61，取樣間61的敞口處設(shè)置有遮擋外部空氣進入取樣間61的軟擋風(fēng)簾62，取樣間61上設(shè)置有進氣管口，進氣管口通過氣管63與潔凈氣源相連接，盒室60’內(nèi)設(shè)置有取樣輸送管64以及取樣輸送管64上設(shè)置的放樣閥65，取樣輸送管64的出口端設(shè)置在取樣間61內(nèi)部，取樣輸送管64的入口端與電子級氫氟酸生產(chǎn)系統(tǒng)中的氫氟酸輸送管道相連通連接。通過在盒室60’內(nèi)設(shè)置一較小的取樣間61，取樣間61上開設(shè)與潔凈氣源相連接的進氣管口，這樣在取樣時，通過通入潔凈氣體，將取樣間的內(nèi)的空氣通過擋風(fēng)簾62與取樣間61側(cè)壁間的縫隙排凈，然后打開放樣閥65進行取樣，取樣時保持取樣間61通潔凈空氣，使得取樣間61內(nèi)保持正壓狀態(tài)，防止微風(fēng)吹過以及外部空氣中雜質(zhì)進入取樣間61對取樣的氫氟酸進行污染，保證氫氟酸檢測的準(zhǔn)確性。
[0030]具體的方案為，盒室60’為方形，盒室60’的前側(cè)壁設(shè)置門口和用于打開、關(guān)閉門口的門65，取樣間61上的敞口位置與盒室60’的門口位置相對應(yīng)設(shè)置，擋風(fēng)簾62為一塑料軟板構(gòu)成，擋風(fēng)簾62的上側(cè)邊部與取樣間61的外壁面相固接，擋風(fēng)簾62的各邊部分別延伸設(shè)置至敞口外圍與取樣間61的外側(cè)壁相貼。放樣閥65設(shè)置在取樣間61的外部,便于放樣閥65的操作，門65為透明材料構(gòu)成，便于觀察盒室60’內(nèi)的情況。由于在取樣時，需先要將上一次取樣時取樣輸送管64內(nèi)殘存的氫氟酸排出，因此在取樣間61的底部設(shè)置有排污管68,排污管68上設(shè)置閥門69,殘存的氫氟酸通過排污管68排出。
[0031]總之，本實用新型提供的生產(chǎn)系統(tǒng)可生產(chǎn)出高質(zhì)量的電子級氫氟酸產(chǎn)品。
【權(quán)利要求】
1.一種電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:包括對工業(yè)氫氟酸依次進行除雜的氧化反應(yīng)釜(10 )和精餾塔(20 )，精餾塔(20 )的塔頂設(shè)置有立式布置的塔頂冷凝器(30 )，塔頂冷凝器(30)的底端設(shè)置用于與精餾塔(20)塔頂氣體出口管相連通連接的物料進口，塔頂冷凝器(30)的頂端設(shè)置未冷凝氣體的排出口，塔頂冷凝器(30)內(nèi)的冷凝液與氣體同向流動進行換熱。
2.如權(quán)利要求1所述的電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:該生產(chǎn)系統(tǒng)還包括用于對塔頂冷凝器(30 )內(nèi)的冷凝液進行循環(huán)冷卻的換熱器(40 )，換熱器(40 )包括殼體(41)，殼體(41)上設(shè)置有冷凝液進、出口(401、402)和冷凍鹽水進、出口(403、404)，殼體(41)內(nèi)列狀設(shè)置供冷凝液進行流動的換熱管(42)以及支撐換熱管(42)的折流板(43)，換熱器(40)呈臥狀布置，換熱器(40)底部內(nèi)壁較低位置處沿換熱器(40)身長范圍延伸設(shè)置有用于供殼體(41)內(nèi)沉積雜質(zhì)排出殼體(41)的通道，通道的端部對應(yīng)設(shè)置排污口(407)。
3.如權(quán)利要求2所述的電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:折流板(43)在殼體(41)內(nèi)呈立狀間隔布置，折流板(43)的上下邊部或左右邊部與殼體(41)的內(nèi)壁之間設(shè)置第一空缺部(44)，相鄰折流板(43)上的第一空缺部(44)在板體相對的兩邊部分別設(shè)置，第一空缺部(44)用于形成冷凍鹽水流動的迂回通路，其中板體下側(cè)邊部與殼體(41)內(nèi)壁固接為一體的各折流板(43)、在其下側(cè)板面邊緣的最低位置處開設(shè)第二空缺部(45)，各第二空缺部(45)順延布置構(gòu)成冷凍鹽水推動殼體(41)內(nèi)沉積雜質(zhì)向排污口(407)側(cè)流動的通道，換熱器(40)設(shè)置排污口(407)—端的高度低于另一端的高度。
4.如權(quán)利要求1或2所述的電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:該生產(chǎn)系統(tǒng)還包括用于對精餾塔(20 )提供熱源的熱水罐(50 )，熱水罐(50 )上設(shè)置與精餾塔(20 )相連接的熱水出口(58)，冷水進 口(56)以及延伸至熱水罐(50)內(nèi)部垂吊狀布置的蒸汽管(52)，蒸汽管(52)的管壁上沿管長方向均勻設(shè)置有蒸汽孔(53)。
5.如權(quán)利要求1或2所述的電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述的氧化反應(yīng)爸(10)包括爸體(11),爸體(11)內(nèi)設(shè)置有加熱組件(12)以及用于將氧化處理后的氫氟酸打出至精餾塔(20)內(nèi)的泵體，反應(yīng)釜(10)的底部設(shè)置有一向下凹陷的凹槽部(13)，泵體設(shè)置在凹槽部(13)內(nèi)，反應(yīng)釜(10)的釜底設(shè)置成傾斜狀布置，凹槽部(13)設(shè)置在釜底的較高位置處，釜底以及凹槽部(13)的較低位置處分別設(shè)置有排泄口( 14、15)。
6.如權(quán)利要求1或2所述的電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:精餾塔(20)塔身上僅有提餾段(20b )設(shè)置用于檢修的手孔(22 )。
7.如權(quán)利要求6所述的電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:精餾塔(20)內(nèi)設(shè)置有對塔頂冷凝器(30 )冷凝回流的回流液進行均布的均布機構(gòu)，均布機構(gòu)包括板面沿水平方向布置的隔板(23)，隔板(23)將精餾塔(20)內(nèi)部分隔成上、下相隔的兩個區(qū)域，隔板(23)上均勻開設(shè)有貫穿板體的插孔，各插孔內(nèi)分別插設(shè)立狀布置的均流管(24)，各均流管(24)延伸至隔板(23)上方的管口端部呈平齊狀設(shè)置。
8.如權(quán)利要求1或2所述的電子級氫氟酸用生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:該生產(chǎn)裝置還包括對成品氫氟酸進行取樣檢測的取樣室(60),該取樣室(60)包括一可自由打開和關(guān)閉的盒室(60’),盒室(60’ )內(nèi)設(shè)置有由隔板圍成的用于氫氟酸取樣的取樣間(61),取樣間(61)的敞口處設(shè)置有遮擋外部空氣進入取樣間的軟擋風(fēng)簾(62)，取樣間(61)上設(shè)置有進氣管口(63)，進氣管口(63)通過氣管與潔凈氣源相連接，盒室(60’)內(nèi)設(shè)置有取樣輸送管(64)以及取樣輸送管(64)上設(shè)置的放樣閥(65),取樣輸送管(64)的出口端設(shè)置在取樣間(61)內(nèi)部，取樣輸送管(64)的 入口端與生產(chǎn)系統(tǒng)中的成品氫氟酸輸送管道(64)相連通連接。
【文檔編號】C01B7/19GK203820448SQ201420099330
【公開日】2014年9月10日 申請日期:2014年3月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月5日
【發(fā)明者】胡洪峰 申請人:宣城亨泰化工科技有限公司