專利名稱：一種可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽電池制造領(lǐng)域，具體涉及一種可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗
>J-U ρ α 裝直。
背景技術(shù)：
在晶體硅太陽電池行業(yè)中，氫氟酸(HF)因能去除硅片表面的氧化物而獲得了廣泛的應(yīng)用，例如作為清洗劑或配合氧化劑對硅片進(jìn)行腐蝕。氫氟酸是一種較危險的酸，其易與人體骨骼中的鈣離子反應(yīng)，從而對人體造成嚴(yán)重的傷害，因而在配置或更換氫氟酸溶液時操作人員需謹(jǐn)慎操作。氫氟酸廢液需要進(jìn)行嚴(yán)格處理后才能排放，現(xiàn)通常通過氫氧化鈣溶液(石灰水)與氟離子形成氟化鈣沉淀，但該種處理可能使氟離子的濃度仍達(dá)不到廢水排放的要求，還需要通過硫酸鋁或聚合氯化鋁或膜過濾工藝等進(jìn)行進(jìn)一步處理?，F(xiàn)晶體硅太陽電池行業(yè)的清洗裝置可能具有多個氫氟酸槽，其濃度會存在一些差另O，現(xiàn)有技術(shù)中對該些不同槽中的氫氟酸在使用一定周期后均作為廢液并加以處理后排放，從而造成原材料的浪費(fèi)，另外增加了操作人員配置或更換氫氟酸的次數(shù)，從而增加了操作人員受氫氟酸危害的風(fēng)險。因此，如何提供一種可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置來對一些可回收利用的氫氟酸進(jìn)行回收利用，從而降低成本和操作人員的安全風(fēng)險，已成為業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，通過所述清洗裝置可節(jié)約成本，并降低操作人員受氫氟酸危害的風(fēng)險。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型將提供一種可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，所述清洗裝置包括第一氫氟酸槽和第二氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第一氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第二氫氟酸槽具有第一溢流管道，所述第一溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道連接至第一氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第一溢流管道和第一連接管道流入第一氫氟酸槽。在一較佳實施例中，所述第二氫氟酸槽具有連接至溢流管道且接收溢流氫氟酸的緩存區(qū)，所述緩存區(qū)通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道連接至第一氫氟酸槽。在一較佳實施例中，所述第一氫氟酸槽中氫氟酸濃度為6_7%，用于去除磷硅玻
3 ο在一較佳實施例中，所述第二氫氟酸槽中氫氟酸濃度為8_9%，用于去除金屬和二氧化硅。在一較佳實施例中，所述清洗裝置在所述第一氫氟酸槽與第二氫氟酸槽間還具有濕法刻蝕槽。 在一較佳實施例中，所述濕法刻蝕槽中的刻蝕液為氫氟酸與硝酸的混合溶液。[0012]在一較佳實施例中，所述清洗裝置在所述第一氫氟酸槽與第二氫氟酸槽間還具有多個水洗槽。在一較佳實施例中，所述清洗裝置還包括第三氫氟酸槽，所述第三氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第二氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第三氫氟酸槽具有第二溢流管道，所述第二溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第二連接管道連接至第二氫氟酸槽，所述第三氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第二溢流管道和第二連接管道流入第二氫氟酸槽。在一較佳實施例中，所述清洗裝置還可包括第四氫氟酸槽，所述第一氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第四氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第一氫氟酸槽具有第三溢流管道，所述第三溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第三連接管道連接至第四氫氟酸槽，所述第一氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第三溢流管道和第三連接管道流入第四氫氟酸槽中。與現(xiàn)有技術(shù)中未對清洗所用的氫氟酸進(jìn)行回收利用而直接作為廢液處理，從而造 成了成本浪費(fèi)，另外增加了操作人員受氫氟酸危害的風(fēng)險相比，本實用新型的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置包括第一氫氟酸槽和第二氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第一氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第二氫氟酸槽具有第一溢流管道，所述第一溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道連接至第一氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第一溢流管道和連接管道流入第一氫氟酸槽。本實用新型通過將濃度較高的氫氟酸槽中的氫氟酸通過溢流的方式回收利用至濃度較低的氫氟酸槽，從而降低了成本，降低了操作人員受氫氟酸危害的風(fēng)險。

圖I為本實用新型的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置的組成結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方案下面結(jié)合具體實施例及附圖來詳細(xì)說明本實用新型的目的及功效。參見圖1，本實用新型的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置用于清洗管式擴(kuò)散后硅片上的磷硅玻璃(PSG)，并對硅片邊緣及背面的PN結(jié)進(jìn)行刻蝕，所述清洗設(shè)備通過棍輪傳輸硅片，所述清洗設(shè)備包括第一氫氟酸槽I、刻蝕槽2、第一水洗槽3、堿洗槽4、第二水洗槽5、第二氫氟酸槽6和第三水洗槽7，所述第二氫氟酸槽6中的氫氟酸濃度大于第一氫氟酸槽I中氫氟酸的濃度。需說明的是，水洗槽的數(shù)量可依據(jù)需求進(jìn)行設(shè)置，例如可在刻蝕槽2和堿洗槽4之間設(shè)置多個水洗槽，也可在堿洗槽4和第二氫氟酸槽6設(shè)置多個水洗槽。在本實施例中，所述第一氫氟酸槽I中氫氟酸濃度為6-7%，用于去除磷硅玻璃；所述第二氫氟酸槽6中氫氟酸濃度為8-9%，用于去除金屬和二氧化硅；所述濕法刻蝕槽中的刻蝕液為氫氟酸與硝酸的混合溶液。所述第二氫氟酸槽6具有第一溢流管道8,所述第一溢流管道8通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道9連接至第一氫氟酸槽I,所述第二氫氟酸槽6中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第一溢流管道8和第一連接管道9流入第一氫氟酸槽I。所述預(yù)設(shè)液位為從第二氫氟酸槽6的槽底至第一溢流管道8入口的距離。所述清洗裝置對第二氫氟酸槽6進(jìn)行補(bǔ)液時，所述第二氫氟酸槽6中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第一溢流管道8和第一連接管道9流入第一氫氟酸槽I。在本實用新型其他實施例中，所述第二氫氟酸槽6可具有連接至第一溢流管道8且接收溢流氫氟酸的緩存區(qū)，所述緩存區(qū)通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道9連接至第一氫氟酸槽I。在本實用新型其他實施例中，所述清洗裝置還可包括第三氫氟酸槽，所述第三氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第二氫氟酸槽6中氫氟酸的濃度，所述第三氫氟酸槽具有第二溢流管道，所述第二溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第二連接管道連接至第二氫氟酸槽6，所述第三氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第二溢流管道和第二連接管道流入第二氫氟酸槽6。第二溢流管道和第二連接管道分別與第一溢流管道8和第一連接管道9類似，在此不再贅述。在本實用新型其他實施例中，所述清洗裝置還可包括第四氫氟酸槽，所述第一氫氟酸槽6中的氫氟酸濃度大于第四氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第一氫氟酸槽6具有第 三溢流管道，所述第三溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第三連接管道連接至第四氫氟酸槽，所述第一氫氟酸槽6中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第三溢流管道和第三連接管道流入第四氫氟酸槽中。第三溢流管道和第三連接管道分別與第一溢流管道8和第一連接管道9類似，在此不再贅述。當(dāng)使用本實用新型的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置時，通過棍輪傳輸將硅片傳送至第一氫氟酸槽I去除磷硅玻璃，之后將硅片傳送至刻蝕槽2中刻蝕去除正面區(qū)域外的PN結(jié)，之后將硅片傳送至第一水洗槽3進(jìn)行水洗，之后進(jìn)入堿洗槽4進(jìn)行幾十秒的短時腐蝕，接著進(jìn)入第二水洗槽5進(jìn)行清洗，然后進(jìn)入第二氫氟酸槽6去除堿金屬和二氧化硅，最后進(jìn)入第三水洗槽7對硅片進(jìn)行清洗；當(dāng)?shù)诙浞岵?使用一段時間后，對其進(jìn)行補(bǔ)液，第二氫氟酸槽6中的一部分液體溢流進(jìn)第一溢流管道8之后通過第一連接管道9流入第一氫氟酸槽I。綜上所述，本實用新型的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置包括第一氫氟酸槽I和第二氫氟酸槽6，所述第二氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第一氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第二氫氟酸槽具有第一溢流管道，所述第一溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道連接至第一氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第一溢流管道和連接管道流入第一氫氟酸槽。本實用新型通過將濃度較高的氫氟酸槽中的氫氟酸通過溢流的方式回收利用至濃度較低的氫氟酸槽，從而降低了成本，降低了操作人員受氫氟酸危害的風(fēng)險。
權(quán)利要求1.一種可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，所述清洗裝置包括第一氫氟酸槽和第二氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第一氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，其特征在于，所述第二氫氟酸槽具有第一溢流管道，所述第一溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道連接至第一氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第一溢流管道和第一連接管道流入第一氫氟酸槽。
2.如權(quán)利要求I所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述第二氫氟酸槽具有連接至第一溢流管道且接收溢流氫氟酸的緩存區(qū)，所述緩存區(qū)通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道連接至第一氫氟酸槽。
3.如權(quán)利要求I所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述第一氫氟酸槽中氫氟酸濃度為6-7%，用于去除磷硅玻璃。
4.如權(quán)利要求I所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述第二氫氟酸槽中氫氟酸濃度為8-9%，用于去除金屬和二氧化硅。
5.如權(quán)利要求I所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置在所述第一氫氟酸槽與第二氫氟酸槽間還具有濕法刻蝕槽。
6.如權(quán)利要求5所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述濕法刻蝕槽中的刻蝕液為氫氟酸與硝酸的混合溶液。
7.如權(quán)利要求I或5所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置在所述第一氫氟酸槽與第二氫氟酸槽間還具有多個水洗槽。
8.如權(quán)利要求I所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置對第二氫氟酸槽進(jìn)行補(bǔ)液，所述第二氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第一溢流管道和第一連接管道流入第一氫氟酸槽。
9.如權(quán)利要求I所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還包括第三氫氟酸槽，所述第三氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第二氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第三氫氟酸槽具有第二溢流管道，所述第二溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第二連接管道連接至第二氫氟酸槽，所述第三氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第二溢流管道和第二連接管道流入第二氫氟酸槽。
10.如權(quán)利要求I所述的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置，其特征在于，所述清洗裝置還可包括第四氫氟酸槽，所述第一氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第四氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第一氫氟酸槽具有第三溢流管道，所述第三溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第三連接管道連接至第四氫氟酸槽，所述第一氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第三溢流管道和第三連接管道流入第四氫氟酸槽中。
專利摘要本實用新型提供一種可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置?，F(xiàn)有技術(shù)未對清洗所用的氫氟酸進(jìn)行回收利用而直接作為廢液處理，從而造成了成本浪費(fèi)，另外增加了操作人員受氫氟酸危害的風(fēng)險。本實用新型的可進(jìn)行氫氟酸回收利用的清洗裝置包括第一氫氟酸槽和第二氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中的氫氟酸濃度大于第一氫氟酸槽中氫氟酸的濃度，所述第二氫氟酸槽具有第一溢流管道，所述第一溢流管道通過向下傾斜設(shè)置的第一連接管道連接至第一氫氟酸槽，所述第二氫氟酸槽中超過預(yù)設(shè)液位的氫氟酸通過第一溢流管道和第一連接管道流入第一氫氟酸槽。本實用新型有效降低了成本，并降低了操作人員受氫氟酸危害的風(fēng)險。
文檔編號H01L31/18GK202601704SQ201220215190
公開日2012年12月12日 申請日期2012年5月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月11日
發(fā)明者俞曉銘, 錢大成, 劉海, 吳而義 申請人:無錫德鑫太陽能電力有限公司, 無錫尚德太陽能電力有限公司