電子級氫氟酸生產用精餾塔的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種電子級氫氟酸生產用精餾塔，該精餾塔塔身上僅有提餾段設置用于檢修的手孔。上述方案中，取消了傳統(tǒng)精餾塔在精餾段和提餾段均設置手孔的方案，避免手孔與精餾塔塔身的連接處無法達到很好的無縫粘合，形成泄漏點，防止外部的雜質進入精餾塔內污染電子級氫氟酸，保證產品的質量。
【專利說明】電子級氫氟酸生產用精餾塔
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及電子級氫氟酸生產領域，具體涉及一種電子級氫氟酸生產用精餾塔?！颈尘凹夹g】
[0002]電子級氫氟酸主要用于電子、光伏行業(yè)中生產集成電路，要求非金屬元素的含量Cl 芻 5000ppb、N03- ^ 3000ppb、P043 lOOOppb、S042 5000ppb，金屬元素的含量要求低于lOppb。目前對于電子級的氫氟酸生產主要是將工業(yè)氫氟酸進一步進行氧化和精餾除雜，但是，目前精餾后的得到的氫氟酸雜質含量還是較高。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種電子級氫氟酸生產用精餾塔，其可有效降低經精餾塔處理后的電子級氫氟酸中的雜質含量。
[0004]為實現上述目的，本發(fā)明采用了以下技術方案:一種電子級氫氟酸生產用精餾塔，其特征在于:該精餾塔塔身上僅有提餾段設置用于檢修的手孔。
[0005]上述方案中，取消了傳統(tǒng)精餾塔在精餾段和提餾段均設置手孔的方案，避免手孔與精餾塔塔身的連接處無法達到很好的無縫粘合，形成泄漏點，防止外部的雜質進入精餾塔內污染電子級氫氟酸，保證產品的質量。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1是本發(fā)明的結構示意圖；
[0007]圖2、3是A處的兩種局部放大示意圖。
【具體實施方式】
[0008]本發(fā)明的目的在于提供一種電子級氫氟酸生產用精餾塔，其采取的方案如圖1所示，該精餾塔10塔身上僅有提餾段IOb設置用于檢修的手孔12。在實際生產中，采用傳統(tǒng)的精餾塔10對氧化處理后的氫氟酸進行精餾往往達不到預期的精餾效果，通過大量的現場實驗分析后，發(fā)現其是由于精餾塔10上的手孔與精餾塔10身的連接處無法達到很好的無縫粘合，因此在精餾塔10的塔身上形成較多的泄漏點，而精餾制取的產品為電子級的DHF，任何一個泄漏點都會導致產品不合格。由于精餾塔10所精餾的原料氫氟酸的純度較高，經過提餾段的精餾后產品的純度已經很高，因此精餾塔10內精餾段IOa的填料無需進行清洗，所以本發(fā)明中取消了在精餾塔10精餾段IOa的手孔設置，僅在提餾段IOb設置手孔12，盡最大的可能降低產品受到污染的風險，提高產品的合格率。同時取消手孔12也使精餾塔10的設備成本下降。當然這樣精餾段IOa設備如果損壞只能返廠，無法現場通過手孔進行檢修。精餾塔10塔高為19米，僅塔身下部9米設置用于檢修的手孔12，且塔身高度每3米設置兩個手孔12，以及精餾塔10塔身包括6個3米的單元節(jié)以及塔頂疊加構成，下部的3個單元節(jié)中每個單元節(jié)上開設兩個手孔12。[0009]本發(fā)明要解決的另一個問題是提高精餾塔10內回流的冷凝液在精餾塔內的均勻分布。傳統(tǒng)精餾塔10采用噴淋裝置和均流板使得冷凝液在精餾塔內均勻分布，但是由于噴淋裝置的局限性，無法使得冷凝液有效的噴灑至均流板的邊緣處和中心位置處，因此精餾塔內冷凝液的分布還是較不均勻，影響精餾的效果。為此，本發(fā)明采用如圖2所示的技術方案進行實施，亦即:該精餾塔10上方設置有對精餾塔10氣相出口排出的蒸汽進行冷凝回流的冷凝器，冷凝器上冷凝液回流管11的排液管口延伸至精餾塔10內部，精餾塔10內與冷凝液回流管11的排液管口相對的位置處設置有板面沿水平方向布置的隔板13，隔板13將精餾塔10內部分隔成上、下相隔的兩個區(qū)域，隔板13上均勻開設有貫穿板體的插孔，各插孔內分別插設立狀布置的均流管14，各均流管14延伸至隔板13上方的管口端部呈平齊狀設置。這樣，冷凝回流的冷凝液會先儲存在隔板13與精餾塔10內壁形成桶腔內，當冷凝液的液面高度與各均流管14上端的高度相吻合時，冷凝液就會沿著各均流管14流入精餾段IOa的填料中，由于均流管14在隔板13上均勻分布，因此能夠實現冷凝液在精餾塔10的均勻分布，提高精餾效果。當然這樣也對精餾塔10的安裝提出了更高的要求。
[0010]具體的操作方案為，冷凝液回流管11的排液管口的高度低于均流管14上端管口的高度。冷凝液回流管11的排液管口處套設有開口向下、蓋合在隔板13上的圓形穩(wěn)流罩15，穩(wěn)流罩15側壁的周向均勻開設有通孔，該通孔的高度低于均流管14上端的管口高度，插孔在穩(wěn)流罩15外圍的隔板13板面上均勻開設，如圖3所示。由于實際操作時，隔板13上儲存的冷凝液不會太多，從冷凝液回流管11落下的冷凝液引起液面波動，導致各均流管14排液不均，因此在冷凝液回流管11的排液管口處設置一穩(wěn)流罩15，防止液面較大的波動，保證冷凝液均勻分布。
[0011]總之，本發(fā)明可有效降低電子級氫氟酸生產受手孔設置污染的影響，提高產品質量，同時可保證冷凝液的均勻分布，提高精餾效果。
【權利要求】
1.一種電子級氫氟酸生產用精餾塔，其特征在于:該精餾塔(10)塔身上僅有提餾段(IOb)設置用于檢修的手孔(12)。
2.如權利要求1所述的電子級氫氟酸生產用精餾塔，其特征在于:該精餾塔(10)上方設置有對精餾塔(10)氣相出口排出的蒸汽進行冷凝回流的冷凝器，冷凝器上冷凝液回流管(11)的排液管口延伸至精餾塔(10)內部，精餾塔(10)內與冷凝液回流管(11)的排液管口相對的位置處設置有板面沿水平方向布置的隔板(13)，隔板(13)將精餾塔(10)內部分隔成上、下相隔的兩個區(qū)域，隔板(13)上均勻開設有貫穿板體的插孔，各插孔內分別插設立狀布置的均流管(14)，各均流管(14)延伸至隔板(13)上方的管口端部呈平齊狀設置。
3.如權利要求2所述的電子級氫氟酸生產用精餾塔，其特征在于:冷凝液回流管(11)的排液管口的高度低于均流管(14)上端管口的高度。
4.如權利要求2所述的電子級氫氟酸生產用精餾塔，其特征在于:冷凝液回流管(11)的排液管口處套設有開口向下、蓋合在隔板(13)上的圓形穩(wěn)流罩(15)，穩(wěn)流罩(15)側壁的周向均勻開設有通孔，該通孔的高度低于均流管(14)上端的管口高度，插孔在位于穩(wěn)流罩(15)外圍的隔板(13)板面上均勻開設。
5.如權利要求1所述的電子級氫氟酸生產用精餾塔，其特征在于:精餾塔(10)塔高為19米，僅塔身下部9米設置用于檢修的手孔(12)，且塔身高度每3米設置兩個手孔(12)。
【文檔編號】C01B7/19GK103830926SQ201410079650
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2014年3月5日 優(yōu)先權日:2014年3月5日
【發(fā)明者】胡洪峰 申請人:宣城亨泰化工科技有限公司