從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟酸的工藝方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟酸的工藝方法，包括如下步驟：?jiǎn)?dòng)泵抽取蝕刻機(jī)生產(chǎn)線廢酸，進(jìn)入廢酸暫存桶；廢酸進(jìn)入過濾器內(nèi)，所述過濾器從外向內(nèi)依次由外殼、濾布和濾管組成，然后流出過濾器進(jìn)入干凈桶，固體顆粒被攔截在濾布表面形成濾餅；所述廢酸暫存桶中的廢酸降至預(yù)設(shè)液位或所述過濾器的進(jìn)出口壓差達(dá)到預(yù)設(shè)定值或過濾運(yùn)行時(shí)間達(dá)到預(yù)設(shè)定值時(shí)，先補(bǔ)氣到過濾器內(nèi)排走殘留液和烘干濾餅，再逆向補(bǔ)氣爆破濾餅，回收濾餅；給水沖洗過濾器內(nèi)部，再補(bǔ)氣排水，等待進(jìn)入下一個(gè)循環(huán)。本發(fā)明不但能夠提高廢酸回收效率，替代傳統(tǒng)落后的回收方式，降低廢水站工作量和運(yùn)營(yíng)成本，而且也能防止對(duì)環(huán)境的二次污染，有利于環(huán)境保護(hù)和操作人員健康。
【專利說明】從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟酸的工藝方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種獲得氫氟酸的工藝方法，具體涉及一種從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收 氫氟酸的工藝方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 針對(duì)IT產(chǎn)品的需求，從最初的多功能、高性能、低價(jià)格，到現(xiàn)在的追求實(shí)用、便捷、 薄型化，IT產(chǎn)品滿足了用戶的基本需求，市場(chǎng)完全普及之后，更加成熟的需求會(huì)隨之產(chǎn)生。 如今的IT產(chǎn)品不但要更加實(shí)用，從設(shè)計(jì)層面就要考慮到人性化的因素，還要在外觀上能體 現(xiàn)出用戶的個(gè)性，贏得消費(fèi)者的歡心。無論是DC、手機(jī)、MP3、MP4等小件的數(shù)碼產(chǎn)品，還是液 晶顯示器、液晶電視，外觀都朝著薄型化的方向發(fā)展。小件的數(shù)碼產(chǎn)品薄型化設(shè)計(jì)，不但易 于攜帶出行，同時(shí)還能彰顯個(gè)性，而液晶顯示器、液晶電視的薄型化，能夠節(jié)省電腦桌的空 間，易壁掛也能讓客廳的布置更加整潔。
[0003] 但是，IT產(chǎn)品的薄型化并不是想做就能做到，從無到有，從有到成熟，經(jīng)歷了技術(shù) 的變革、成本的優(yōu)化，因此玻璃的減薄工藝應(yīng)運(yùn)而出。
[0004] 薄化是利用蝕刻機(jī)將TFT玻璃和HF起化學(xué)反應(yīng)進(jìn)而將多余厚度的玻璃去除，從而 達(dá)到薄化的效果。薄化分兩種槽式薄化和流片式薄化。薄化一般流程：來料檢查一前清洗 -烘干一薄化前處理一薄化一后清洗一烘干一拋光一薄化完成。薄化主要應(yīng)用在屏幕顯示 方面，薄化后的IXD屏厚度達(dá)到0· 3?0· 5mm之間，與之前貼合后的1mm節(jié)約了不少空間， 在顯示效果方面更加自然、真實(shí)。在生產(chǎn)中會(huì)用到大量蝕刻酸，也同時(shí)產(chǎn)生大量廢酸，蝕刻 的主要化學(xué)反應(yīng)是：4HF + Si02 = SiF4 (氣體）+ 2H20,由于HF酸比較多且過量，則生成的 SiF4可以與HF進(jìn)一步反應(yīng)：2HF + SiF4 = H2[SiF6]，剩下的廢酸由于有很強(qiáng)的腐蝕性，里 面伴有大量的蝕刻絮凝物，不可隨便排放，要么排到廢水站中和處理掉，要么經(jīng)過回收再使 用，使用到一定程度再排掉處理。
[0005] 目前，從上述廢酸中回收HF酸的方法主要有：沉淀法抽上清液、袋式過濾回收、板 式壓濾機(jī)過濾回收。沉淀法的優(yōu)點(diǎn)是幾乎沒有投資，利用桶槽或沉淀池來凈化分層，在用人 工抽取上面的清液回收利用，排放掉下部約15%的濃酸，但是沉淀法的缺點(diǎn)是不適合廢酸 量大的情況，人工參與對(duì)人體有風(fēng)險(xiǎn)，回收的酸不干凈，無法將細(xì)微顆粒沉降下來，回收率 低下，排放掉的酸較多，廢水站處理量比較大，投入較多的中和藥劑，增加了運(yùn)營(yíng)成本及環(huán) 境風(fēng)險(xiǎn)，不利于對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的現(xiàn)代化管理。袋式過濾回收的優(yōu)點(diǎn)是安裝方便，投資小，過濾 的效果比沉淀法干凈很多，占地空間小，但是袋式過濾回收的缺點(diǎn)是濾袋更換頻繁，不具有 反復(fù)使用，長(zhǎng)期使用耗材較多，且每天使用中都要求人工更換濾袋，效率較低，人員會(huì)直接 面對(duì)酸氣，需要人工每天清洗，需要每天維護(hù)。板框壓濾機(jī)回收的優(yōu)點(diǎn)是基本實(shí)現(xiàn)半自動(dòng)過 濾，濾布使用壽命比濾袋較長(zhǎng)，過濾效率比袋式高，但是板框壓濾機(jī)回收的缺點(diǎn)是開放式操 作易造成酸的向外揮發(fā)，需要人工清理濾餅，現(xiàn)場(chǎng)難管理，易臟、亂，活動(dòng)部件多易出故障， 濾布也需要經(jīng)常換，需要人工清洗，對(duì)現(xiàn)場(chǎng)操作工人存安全風(fēng)險(xiǎn)，不利于工廠現(xiàn)代化"6S"管 理。
[0006] 因此，對(duì)于從上述廢酸中回收HF酸的方法仍存在進(jìn)一步的需求，這也是該技術(shù)領(lǐng) 域內(nèi)的研究熱點(diǎn)和重點(diǎn)之一，更是本發(fā)明得以完成的動(dòng)力和出發(fā)點(diǎn)所在。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的HF酸回收率低、對(duì)環(huán)境的污染大和生產(chǎn)成本高的技術(shù) 問題，本發(fā)明人在進(jìn)行了大量的深入研究之后，提供了一種從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟 酸的工藝方法。
[0008] 本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)，一種從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟酸的工藝方 法，包括如下步驟： 步驟一，啟動(dòng)泵抽取蝕刻機(jī)生產(chǎn)線廢酸，進(jìn)入廢酸暫存桶； 步驟二，廢酸進(jìn)入過濾器內(nèi)，所述過濾器從外向內(nèi)依次由外殼、濾布和濾管組成，所述 過濾器置于封閉的空間中，在初始階段從所述過濾器排出的酸液及空氣返回進(jìn)入廢酸暫存 桶； 步驟三，經(jīng)所述濾布過濾后形成的干凈酸進(jìn)入所述濾管中，然后流出過濾器進(jìn)入干凈 桶，固體顆粒被攔截在濾布表面形成濾餅； 步驟四，所述廢酸暫存桶中的廢酸降至預(yù)設(shè)液位或所述過濾器的進(jìn)出口壓差達(dá)到預(yù)設(shè) 定值或過濾運(yùn)行時(shí)間達(dá)到預(yù)設(shè)定值時(shí)，先補(bǔ)氣到過濾器內(nèi)排走殘留液和烘干濾餅，再逆向 補(bǔ)氣爆破濾餅，回收濾餅； 步驟五，給水沖洗過濾器內(nèi)部，再補(bǔ)氣排水，等待進(jìn)入下一個(gè)循環(huán)。
[0009] 優(yōu)選的，所述濾管為七根，其中有六根濾管的表面開孔并均布在另一根濾管的四 周，并且中間的濾管的表面無孔，所述七根濾管組合在一起后在外面包裹所述濾布，濾液經(jīng) 過所述濾布后進(jìn)入所述六根開孔的濾管中，然后匯集于一端后再?gòu)闹虚g的濾管排出，經(jīng)過 輸送到達(dá)干凈桶，濾餅留在濾布外面。
[0010] 優(yōu)選的，所述濾布利用單層聚四氟乙烯布阻擋顆粒形成濾餅，在濾餅縫隙處形成 亞微米級(jí)別的液體通道，形成單層阻擋過濾。
[0011] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果如下：1、傳統(tǒng)的過濾方式需要更多人工的參 與，對(duì)人的傷害無法避免，特別是壓濾機(jī)為開放式結(jié)構(gòu)，會(huì)嚴(yán)重導(dǎo)致環(huán)境中酸氣重，傷害人 的呼吸系統(tǒng)；本發(fā)明的過濾環(huán)節(jié)置于封閉空間中，確保下料溢出的少量氣體不外泄漏，可以 通過在封閉空間進(jìn)一步設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)收集送到酸氣洗滌塔進(jìn)行處理，而且全系統(tǒng)運(yùn)行中酸 液都在管路中，確保酸氣不外漏，避免有毒物質(zhì)對(duì)人員的損害，2、本發(fā)明能夠處理高固含量 液體，濾餅即使集厚，經(jīng)過下料給水反洗之后，也能達(dá)到濾布再生目的；3、廢酸的大量回收 減少了排放污染，有利于更好地保護(hù)環(huán)境，而且也減少了廢水處理中化學(xué)中和試劑的使用 量，從而降低了廢水處理的成本；4、整個(gè)系統(tǒng)中也可以通過設(shè)置各種液位、壓力、時(shí)間等傳 感器將臨界點(diǎn)信號(hào)傳遞給PLC控制系統(tǒng)，PLC發(fā)出指令來完成各種動(dòng)作的實(shí)施，從而可以實(shí) 現(xiàn)自動(dòng)化控制。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012] 通過閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本發(fā)明的其它特征、 目的和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更明顯： 圖1是本發(fā)明的過程示意圖； 圖2是本發(fā)明的原理示意圖； 圖3是離線干式排雜法示意圖； 圖4是離線濕式排雜法示意圖； 圖5是在線干式排雜法示意圖； 圖6是在線濕式排雜法示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0013] 下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。以下實(shí)施例將有助于本領(lǐng)域的技術(shù) 人員進(jìn)一步理解本發(fā)明，但不以任何形式限制本發(fā)明。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)本領(lǐng)域的普通技術(shù) 人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)。這些都屬于本發(fā)明 的保護(hù)范圍。
[0014] 如圖1和圖2所示的從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟酸的工藝方法，包括如下步 驟： 步驟一，啟動(dòng)泵抽取蝕刻機(jī)生產(chǎn)線廢酸，進(jìn)入廢酸暫存桶； 步驟二，廢酸進(jìn)入過濾器內(nèi)，過濾器作為將流體中顆粒雜質(zhì)攔截出來的裝置，從外向 內(nèi)依次由外殼、濾布和濾管組成，濾布利用單層高分子無縫編織濾布，比如單層聚四氟乙烯 布，阻擋顆粒形成濾餅，在濾餅縫隙處形成亞微米級(jí)別的液體通道，形成單層阻擋過濾；濾 管為七根，其中有六根濾管的表面開孔并均布在另一根濾管的四周，形狀似梅花狀，并且中 間的濾管的表面無孔，七根濾管組合在一起后在外面包裹濾布，濾液經(jīng)過濾布進(jìn)入六根開 孔的濾管中，然后匯集于一端后再?gòu)闹虚g的濾管排出，經(jīng)過輸送到達(dá)干凈桶，濾餅留在濾布 外面；過濾器置于封閉的空間中，比如置于封閉房間中，確保下料溢出的少量氣體不外泄 漏，在初始階段從過濾器排出的酸液及空氣返回進(jìn)入廢酸暫存桶； 步驟三，經(jīng)濾布過濾后形成的干凈酸進(jìn)入濾管中，然后流出過濾器進(jìn)入干凈桶，固體顆 粒被攔截在濾布表面形成濾餅； 步驟四，廢酸暫存桶中的廢酸降至預(yù)設(shè)液位或過濾器的進(jìn)出口壓差達(dá)到預(yù)設(shè)定值或過 濾運(yùn)行時(shí)間達(dá)到預(yù)設(shè)定值達(dá)到預(yù)設(shè)厚度時(shí)，先補(bǔ)氣到過濾器內(nèi)排走殘留液和烘干濾餅，再 逆向補(bǔ)氣爆破濾餅，回收濾餅； 步驟五，給水沖洗過濾器內(nèi)部，再補(bǔ)氣排水，等待進(jìn)入下一個(gè)循環(huán)。
[0015] 上述整個(gè)過程中也可以通過設(shè)置各種液位、壓力、時(shí)間等傳感器將臨界點(diǎn)信號(hào)傳 遞給PLC控制系統(tǒng)，PLC發(fā)出指令來完成各種動(dòng)作的實(shí)施，從而可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
[0016] 在過濾器選型方面，依據(jù)工廠處理酸液的體積流量來選擇一定的過濾面積；根據(jù) 安裝高度限制要求，確定濾芯管的長(zhǎng)度，由于每根濾芯管的過濾面積是一定的，再根據(jù)過濾 面積來確定多少根濾芯管；最后確定過濾器的大小尺寸。
[0017] 過濾器主體部分可以為PVDF塑料，管路及閥門可選U-PVC\C-PVC\PVDF材質(zhì)，輔助 配件包括壓力傳送器、？1^(：、004、011、液位計(jì)、流量計(jì)、調(diào)壓閥、隔膜閥、氣動(dòng)蝶閥、逆止閥、平 臺(tái)、暫存桶、收集桶、外罩小屋、下料推車、抽風(fēng)系統(tǒng)、視鏡、五金等。
[0018] 過濾形式包括兩種，分別是：（1)在線過濾：過濾器經(jīng)泵直接抽取蝕刻機(jī)內(nèi)的酸液 過濾方式；（1)離線過濾：蝕刻機(jī)內(nèi)廢酸排到暫存桶內(nèi)再經(jīng)泵抽取過濾的方式。
[0019] 排雜形式包括兩種，分別是：（1)干式排雜：形成的濾餅經(jīng)過氣體烘干后排出來的 方式；（1)濕式排雜：形成的濾餅不經(jīng)過氣體烘干和濾筒內(nèi)殘留液一起直接排出的方式。
[0020] 過濾形式和排雜形式相互交叉組合后形成的技術(shù)方案有四種，分別為： (1)離線干式排雜法：如圖3所示，將蝕刻機(jī)內(nèi)廢酸排到暫存桶內(nèi)再經(jīng)泵抽取過濾后形 成的濾餅經(jīng)過氣體烘干后排出來。
[0021] (2)離線濕式排雜法：如圖4所示，將蝕刻機(jī)內(nèi)廢酸排到暫存桶內(nèi)再經(jīng)泵抽取過濾 后形成的濾餅連同殘留酸一起排出來到廢水站。
[0022] (3)在線干式排雜法：如圖5所示，將蝕刻機(jī)內(nèi)廢酸直接經(jīng)泵抽取過濾后形成的濾 餅經(jīng)過氣體烘干后排出來。
[0023] (4)在線濕式排雜法：如圖6所示，將蝕刻機(jī)內(nèi)廢酸直接經(jīng)泵抽取過濾后形成的濾 餅和殘留酸一起排出來到廢水站。
[0024] 以上對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本發(fā)明并不局限于上述 特定實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影 響本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。
【權(quán)利要求】
1. 一種從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟酸的工藝方法，其特征在于，包括如下步驟： 步驟一，啟動(dòng)泵抽取蝕刻機(jī)生產(chǎn)線廢酸，進(jìn)入廢酸暫存桶； 步驟二，廢酸進(jìn)入過濾器內(nèi)，所述過濾器從外向內(nèi)依次由外殼、濾布和濾管組成，所述 過濾器置于封閉的空間中，在初始階段從所述過濾器排出的酸液及空氣返回進(jìn)入廢酸暫存 桶； 步驟三，經(jīng)所述濾布過濾后形成的干凈酸進(jìn)入所述濾管中，然后流出過濾器進(jìn)入干凈 桶，固體顆粒被攔截在濾布表面形成濾餅； 步驟四，所述廢酸暫存桶中的廢酸降至預(yù)設(shè)液位或所述過濾器的進(jìn)出口壓差達(dá)到預(yù)設(shè) 定值或過濾運(yùn)行時(shí)間達(dá)到預(yù)設(shè)定值時(shí)，先補(bǔ)氣到過濾器內(nèi)排走殘留液和烘干濾餅，再逆向 補(bǔ)氣爆破濾餅，回收濾餅； 步驟五，給水沖洗過濾器內(nèi)部，再補(bǔ)氣排水，等待進(jìn)入下一個(gè)循環(huán)。
2. 如權(quán)利要求1所述的一種從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟酸的工藝方法，其特征在 于，所述濾管為七根，其中有六根濾管的表面開孔并均布在另一根濾管的四周，并且中間的 濾管的表面無孔，所述七根濾管組合在一起后在外面包裹所述濾布，濾液經(jīng)過所述濾布后 進(jìn)入所述六根開孔的濾管中，然后匯集于一端后再?gòu)闹虚g的濾管排出，經(jīng)過輸送到達(dá)干凈 桶，濾餅留在濾布外面。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的一種從蝕刻機(jī)生產(chǎn)線過濾回收氫氟酸的工藝方法，其特征 在于，所述濾布利用單層聚四氟乙烯布阻擋顆粒形成濾餅，在濾餅縫隙處形成亞微米級(jí)別 的液體通道，形成單層阻擋過濾。
【文檔編號(hào)】C01B7/19GK104192805SQ201410467182
【公開日】2014年12月10日 申請(qǐng)日期:2014年10月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月10日
【發(fā)明者】王秀虎 申請(qǐng)人:上海清瑞環(huán)?？萍加邢薰?br>