專利名稱:一種多晶硅還原爐用夾頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種還原爐的零部件,特別是一種多晶硅還原爐用的夾持裝置。
背景技術(shù):
石墨夾頭是多晶硅還原爐中用于夾持硅芯、導(dǎo)電的設(shè)備?,F(xiàn)有的石墨夾頭的結(jié)構(gòu),存在硅芯易斷裂的問題,容易發(fā)生硅棒倒伏。硅芯表面沉積硅,而卡瓣夾持住的部分,因?yàn)榻佑|不到物料,也就沒有沉積硅,其硅芯直徑?jīng)]有變大,因此兩部分的硅芯直徑大小不一,卡瓣夾持住的部分以很細(xì)的直徑承載較粗、較長的硅棒??ò觏敹似矫媾c硅芯成90度角,即卡瓣夾持住硅棒的頂端內(nèi)側(cè)壁與硅棒外壁平行緊貼,當(dāng)硅芯表面沉積硅后,卡瓣頂端平面處存在應(yīng)力集中,因此硅芯的根部非常易斷,爐內(nèi)壓力稍有波動(dòng),即可將硅芯吹倒。普通結(jié)構(gòu)中,硅芯一般要生長到35-40mm時(shí),石墨卡瓣頂端表面才會(huì)達(dá)到1000度以上高溫,表面才能開始沉積硅,將卡瓣包住后,硅棒才會(huì)度過危險(xiǎn)期,能比較安全平穩(wěn)的生長。在開爐時(shí),硅芯表面直徑階段,就是最容易發(fā)生倒伏的階段?,F(xiàn)有的石墨夾頭有兩種結(jié)果,兩瓣式或四瓣式,存在硅芯夾持不穩(wěn)的情況。兩瓣式受力不均勻,一瓣夾的很緊,另一瓣比較松,夾緊之處由于接觸面積小,造成局部發(fā)熱量大, 硅芯容易局部過熱熔化發(fā)生倒伏。而四瓣式夾頭,由于結(jié)構(gòu)的原因,除非硅芯是理論上的圓柱體,否則總會(huì)有一瓣夾頭沒有接觸到硅芯,因而硅芯固定不好,容易偏斜發(fā)生倒伏。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于針對(duì)上述存在的問題,提供一種結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,硅芯不易斷裂以及不易倒伏的多晶硅還原爐用夾頭,采用該夾頭,可以使硅芯的被夾持部分也可沉積硅,使得沉積后的硅芯更牢固。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,夾持住硅芯的下端,所述夾頭主要由3個(gè)夾瓣組合而成,該3個(gè)夾瓣的內(nèi)側(cè)共同夾持住硅芯,其中任一夾瓣的內(nèi)側(cè)頂端設(shè)置有夾瓣斜角。由于采用了上述結(jié)構(gòu),夾頭主要由3個(gè)夾瓣組合而成,通過3個(gè)夾瓣通過作用,用于夾緊硅芯,且各個(gè)夾瓣上的受力均勻,3個(gè)卡瓣的結(jié)構(gòu)具有自對(duì)中性,可以保證每個(gè)卡瓣的內(nèi)側(cè)均接觸到硅芯,使得固定與導(dǎo)電性能良好,在實(shí)際生產(chǎn)中效果良好,硅芯不會(huì)發(fā)生倒伏等現(xiàn)象。其中任一夾瓣的內(nèi)側(cè)頂端設(shè)置有夾瓣斜角,可以避免硅芯與夾頭的連接處得受力集中。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,結(jié)構(gòu)簡單,使用便捷,硅芯不易斷裂以及不易倒伏。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,所述夾瓣斜角的大小為15°以下。由于采用了上述結(jié)構(gòu),該夾瓣斜角的大小選擇小角度的傾斜面,避免硅芯與夾頭的連接處得受力集中,并且從還原爐中反應(yīng)的一開始就增強(qiáng)硅芯的牢固度,能將初期容易倒伏的時(shí)間大大縮短。[0011]本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,任一夾瓣內(nèi)側(cè)的夾持硅芯的面上設(shè)置有至少 1個(gè)凹槽。由于采用了上述結(jié)構(gòu),在夾瓣內(nèi)側(cè)的夾持硅芯的面上設(shè)置有至少1個(gè)凹槽,使得夾頭內(nèi)側(cè)的凹槽與物料可接觸,也可沉積硅,使得沉積后的硅芯會(huì)更牢固,硅芯的根基更穩(wěn)靠,更不易斷裂以及不易倒伏。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,兩相鄰的夾瓣的側(cè)邊之間存在間隙,形成兩夾瓣之間的夾瓣夾角。由于采用了上述結(jié)構(gòu),兩相鄰的夾瓣的側(cè)邊之間存在間隙,使得物料能夠從該該間隙進(jìn)入到夾頭內(nèi)側(cè),在凹槽內(nèi)沉積,使得沉積后的硅芯會(huì)更牢固,硅芯的根基更穩(wěn)靠,更不易倒伏。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,所述夾瓣夾角的大小為9°以下。由于采用了上述結(jié)構(gòu),該夾瓣夾角不易過大,如果該夾瓣夾角過的話,夾頭的內(nèi)側(cè)與硅芯之間的接觸面積就會(huì)很小,影響硅芯的穩(wěn)固,因此可以選擇夾瓣夾角在9°以下,以滿足硅芯穩(wěn)固的需要。綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型的有益效果是1. 本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,硅芯不易斷裂以及不易倒伏;2. 本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,沉積后的硅芯會(huì)更牢固,硅芯的根基更穩(wěn)靠,適合推廣。
圖1是本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭在原始安裝時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭的俯視圖;圖3是本實(shí)用新型中單個(gè)夾瓣的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4是本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭在使用后的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)記1-硅芯、2-夾頭、2a_第一夾瓣、2b_第二夾瓣、2c_第三夾瓣、3-凹槽、 4-物料、β-夾瓣夾角、δ-夾瓣斜角。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖,對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說明。為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白,
以下結(jié)合附圖及實(shí)施例,對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解,此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型,并不用于限定本實(shí)用新型。如圖1至圖4所示,本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,夾持住硅芯1的下端,所述夾頭2主要由3個(gè)夾瓣組合而成,該3個(gè)夾瓣的內(nèi)側(cè)共同作用夾持住硅芯1,其中任一夾瓣的內(nèi)側(cè)頂端設(shè)置有夾瓣斜角I所述夾瓣斜角δ的大小可以在0 15°中任意選擇,但是不能為0,任一夾瓣內(nèi)側(cè)的夾持硅芯1的面上設(shè)置有3個(gè)凹槽3,使得夾頭2內(nèi)側(cè)的凹槽3 與物料4可接觸,也可沉積硅,使得沉積后的硅芯1會(huì)更牢固,硅芯1的根基更穩(wěn)靠,更不易斷裂以及不易倒伏。兩相鄰的夾瓣的側(cè)邊之間存在間隙,形成兩夾瓣之間的夾瓣夾角β,即第一夾瓣2a與第二夾瓣2b之間、第二夾瓣2b與第三夾瓣2c之間、第一夾瓣2a與第三夾瓣2c之間均存在夾瓣夾角β,所述夾瓣夾角β的大小在O 9°中選擇,但是不能為O。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,夾頭2主要由3個(gè)夾瓣組合而成,通過3個(gè)夾瓣通過作用,用于夾緊硅芯1,且各個(gè)夾瓣上的受力均勻,3個(gè)卡瓣的結(jié)構(gòu)具有自對(duì)中性, 可以保證每個(gè)卡瓣的內(nèi)側(cè)均接觸到硅芯1,使得固定與導(dǎo)電性能良好,在實(shí)際生產(chǎn)中效果良好,硅芯1不會(huì)發(fā)生倒伏等現(xiàn)象。其中任一夾瓣的內(nèi)側(cè)頂端設(shè)置有夾瓣斜角,可以避免硅芯與夾頭2的連接處得受力集中。夾瓣斜角δ的大小選擇小角度的傾斜面,避免硅芯1與夾頭2的連接處得受力集中,并且從還原爐中反應(yīng)的一開始就增強(qiáng)硅芯的牢固度,能將初期容易倒伏的時(shí)間大大縮短。夾瓣夾角β不易過大,如果該夾瓣夾角β過大的話,夾頭2的內(nèi)側(cè)與硅芯1之間的接觸面積就會(huì)很小,影響硅芯的穩(wěn)固,因此可以選擇夾瓣夾角在9°以下,以滿足硅芯穩(wěn)固的需要。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,硅芯不易斷裂以及不易倒伏;沉積后的硅芯會(huì)更牢固,硅芯的根基更穩(wěn)靠,適合推廣。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種多晶硅還原爐用夾頭,夾持住硅芯(1)的下端,其特征在于所述夾頭(2)主要由3個(gè)夾瓣組合而成,該3個(gè)夾瓣的內(nèi)側(cè)共同夾持住硅芯(1),其中任一夾瓣的內(nèi)側(cè)頂端設(shè)置有夾瓣斜角(S )。
2.如權(quán)力要求1所述的多晶硅還原爐用夾頭,其特征在于所述夾瓣斜角(δ)的大小為15°以下。
3.如權(quán)力要求1或2所述的多晶硅還原爐用夾頭,其特征在于任一夾瓣內(nèi)側(cè)的夾持硅芯(1)的面上設(shè)置有至少1個(gè)凹槽(3)。
4.如權(quán)力要求3所述的多晶硅還原爐用夾頭,其特征在于兩相鄰的夾瓣的側(cè)邊之間存在間隙,形成兩夾瓣之間的夾瓣夾角(β )。
5.如權(quán)力要求4所述的多晶硅還原爐用夾頭,其特征在于所述夾瓣夾角(β)的大小為9°以下。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種多晶硅還原爐用夾頭,屬于還原爐的零部件領(lǐng)域。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,夾持住硅芯(1)的下端,所述夾頭(2)主要由3個(gè)夾瓣組合而成,該3個(gè)夾瓣的內(nèi)側(cè)共同夾持住硅芯(1),其中任一夾瓣的內(nèi)側(cè)頂端設(shè)置有夾瓣斜角(δ)。本實(shí)用新型的多晶硅還原爐用夾頭,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,硅芯不易斷裂以及不易倒伏;沉積后的硅芯會(huì)更牢固,硅芯的根基更穩(wěn)靠,適合推廣。
文檔編號(hào)C01B33/035GK202063727SQ20112007710
公開日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2011年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月23日
發(fā)明者徐予晗 申請(qǐng)人:四川瑞能硅材料有限公司