一種迷宮式布氣裝置的制造方法
【專利摘要】一種迷宮式布氣裝置，包括迷宮式布氣骨架，所述布氣骨架上設有兩個分流空間和四個擴散空間，分流空間和擴散空間之間的隔板上設有通孔；兩個分流空間頂部設有二級分流擋板，二級分流擋板上設有一級分流氣孔，二級分流擋板頂面連接一級分流擋板，一級分流氣孔位于一級分流擋板內，一級分流擋板連接有供氣管；四個擴散空間底部設有二級擴散擋板，二級擴散擋板上設有二級分流孔，二級擴散擋板底面連接終端聚合擴散罩，二級分流孔位于終端聚合擴散罩內，所述終端聚合擴散罩上設有均勻分布的擴散孔。
【專利說明】
_種迷宮式布氣裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及后視鏡，尤其涉及一種迷宮式布氣裝置。
【背景技術】
[0002]磁控派射鍍膜技術的現有布氣技術大致有兩種，一種是分離式布氣即工作氣體和反應氣體分開布置，一般為單級分流擴散，另一種是二級分流布置，其缺陷在二級分流均由管道對接來完成，沒有內部分流混合擴散空間，導致氣體分流不相等，混合不充分，擴散不均勻。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型是為了解決上述不足，提供了一種迷宮式布氣裝置。
[0004]本實用新型的上述目的通過以下的技術方案來實現:一種迷宮式布氣裝置，其特征在于:包括迷宮式布氣骨架，所述布氣骨架上設有兩個分流空間和四個擴散空間，分流空間和擴散空間之間的隔板上設有通孔；
[0005]兩個分流空間頂部設有二級分流擋板，二級分流擋板上設有一級分流氣孔，二級分流擋板頂面連接一級分流擋板，一級分流氣孔位于一級分流擋板內，一級分流擋板連接有供氣管；
[0006]四個擴散空間底部設有二級擴散擋板，二級擴散擋板上設有二級分流孔，二級擴散擋板底面連接終端聚合擴散罩，二級分流孔位于終端聚合擴散罩內，所述終端聚合擴散罩上設有均勻分布的擴散孔。
[0007]所述一級分流擋板和終端聚合擴散罩均呈η形。
[0008]所述一級分流擋板和二級分流擋板設置在迷宮式布氣骨架的一側形成一個完整均勻的一分為二空間，二級擴散擋板在另一側又形成一個完整均勻的二分為四的空間，通過終端聚合擴散罩使氣體在迷宮式布氣骨架內再次混合，并均勻擴散，其結構緊湊，聚合擴散效果好，從而在濺射等離子體區(qū)域能夠得到一個均勻的氣體濃度，最終實現鍍膜沉積膜層的良好均勻性。
[0009]本實用新型與現有技術相比的優(yōu)點是:本實用新型的分流空間對稱相等，四個小單元混合擴散后重新聚合再擴散，解決了布氣混合擴散、氣體擴散濃度不均勻等技術問題。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖對本實用新型進一步詳述。
[0012]如圖1所示，一種迷宮式布氣裝置，包括迷宮式布氣骨架I，所述布氣骨架I上設有兩個分流空間2和四個擴散空間3，分流空間2和擴散空間3之間的隔板12上設有通孔13;兩個分流空間2頂部設有二級分流擋板4，二級分流擋板4上設有一級分流氣孔5，二級分流擋板4頂面連接一級分流擋板6，一級分流氣孔5位于一級分流擋板6內，一級分流擋板6連接有供氣管7;四個擴散空間3底部設有二級擴散擋板8，二級擴散擋板8上設有二級分流孔9，二級擴散擋板8底面連接終端聚合擴散罩10，二級分流孔9位于終端聚合擴散罩10內，所述終端聚合擴散罩10上設有均勻分布的擴散孔11。
[0013]所述一級分流擋板6和終端聚合擴散罩10均呈η形。
[0014]所述一級分流擋板6和二級分流擋板4設置在迷宮式布氣骨架I的一側形成一個完整均勻的一分為二空間，二級擴散擋板8在另一側又形成一個完整均勻的二分為四的空間，通過終端聚合擴散罩10使氣體在迷宮式布氣骨架I內再次混合，并均勻擴散，其結構緊湊，聚合擴散效果好，從而在濺射等離子體區(qū)域能夠得到一個均勻的氣體濃度，最終實現鍍膜沉積膜層的良好均勻性。
[0015]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內容所作的等效結構或等效流程變換，或直接或間接運用在其他相關的技術領域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內。
【主權項】
1.一種迷宮式布氣裝置，其特征在于:包括迷宮式布氣骨架，所述布氣骨架上設有兩個分流空間和四個擴散空間，分流空間和擴散空間之間的隔板上設有通孔； 兩個分流空間頂部設有二級分流擋板，二級分流擋板上設有一級分流氣孔，二級分流擋板頂面連接一級分流擋板，一級分流氣孔位于一級分流擋板內，一級分流擋板連接有供氣管； 四個擴散空間底部設有二級擴散擋板，二級擴散擋板上設有二級分流孔，二級擴散擋板底面連接終端聚合擴散罩，二級分流孔位于終端聚合擴散罩內，所述終端聚合擴散罩上設有均勻分布的擴散孔。2.根據權利要求1所述的一種迷宮式布氣裝置，其特征在于:所述一級分流擋板和終端聚合擴散罩均呈η形。
【文檔編號】C23C14/35GK205603666SQ201520644204
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2015年8月25日
【發(fā)明人】樊斌杰
【申請人】河南卓金光電科技有限公司