應(yīng)用日益廣泛。
[0057]如圖4所示，IGBT基板可以裝在模具卡槽里，形成一個(gè)模組，然后把幾個(gè)模組排在模組套11里，如圖5所示，模組套11有承載金屬液的盆口 17，并且，盆口 17上具有盆口開口 18，如圖5所示，并且，盆口開口 18與模組連通。這樣，當(dāng)金屬液從坩禍22底壁上的開口221流下時(shí)，可流入盆口 17，接著可從盆口開口 18流入模組，完成滲金屬工作，從而可以讓金屬液完全滲入IGBT基板，無氣孔，解決了成品密度均勻的問題，同時(shí)讓金屬液滲過IGBT基板到模具內(nèi)成型，讓成品的散熱面積加大，提高成品散熱性能。
[0058]下面結(jié)合圖1-圖4描述根據(jù)本發(fā)明具體實(shí)施例的基板滲金屬設(shè)備100的工作過程，為了描述清楚，以在IGBT基板中滲入金屬鋁為例進(jìn)行示意性說明。
[0059]首先，將裝有模組的模組套11放在高溫加熱爐內(nèi)加熱至800°C以上，同時(shí)將鋁塊也放在電阻爐內(nèi)加熱，將鋁塊加熱至熔融狀態(tài)。操作滑蓋驅(qū)動(dòng)件4，利用滑蓋5封堵坩禍22的底壁上的開口 221。
[0060]然后，將進(jìn)料閥62打開，并將鋁液倒入漏斗63，鋁液會(huì)由于重力的作用沿進(jìn)料通道61流入坩禍22，打開第一加熱裝置23，對(duì)坩禍22進(jìn)行加熱，使鋁液保持熔融狀態(tài)，將進(jìn)料閥62關(guān)閉。此時(shí)，動(dòng)板13處于打開狀態(tài)，真空閥7和充氣閥8都處于關(guān)閉狀態(tài)，如圖2所示。
[0061]接著，利用專用高溫上下料機(jī)將加熱到800°C以上的模組套11放置到動(dòng)板13上，利用油壓機(jī)將動(dòng)板13上升到第一位置，動(dòng)板13上裝有模組的模組套11會(huì)被送到倉室31內(nèi)，且下封板14與真空壓力倉3接觸，將倉室31密封。同時(shí)，模組套11用第二加熱裝置32繼續(xù)加熱，使其保溫。此時(shí)，下封板14的上表面的密封圈會(huì)緊貼真空壓力倉3的下沿，倉室31被密封，如圖3所示。
[0062]其次，打開真空閥7，用真空閥7對(duì)密閉的倉室31抽真空，待抽到倉室31內(nèi)的壓力低于20pa，關(guān)閉真空閥7，停止抽真空。此時(shí)，模組套11內(nèi)的氣體和融于鋁液的氣體幾乎全都被抽走?？刂苹w驅(qū)動(dòng)件4將滑蓋5水平移動(dòng)，打開坩禍22的底壁上的開口 221，鋁液通過開口 221流到模組套11內(nèi)蓋住模組，然后關(guān)閉第一加熱裝置23和第二加熱裝置32。
[0063]最后打開充氣閥8，往密閉倉室31內(nèi)充入氮?dú)?，使倉室31內(nèi)的壓力在5~8MPa之間，并保壓10~20min，讓鋁液充分地滲入IGBT基板里，并通過IGBT基板到模具里成型，等模組套11的溫度降到500°C后，泄掉密閉倉室31內(nèi)的氣體，將氣壓降到和外界一致的氣壓，控制油壓機(jī)，使動(dòng)板13回到第二位置，取出模組套11，待冷卻后取出產(chǎn)品，完成IGBT基板的滲鋁作業(yè)。
[0064]綜上所述，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基板滲金屬設(shè)備100，通過將模組套11設(shè)在移動(dòng)組件10上，利用油壓機(jī)驅(qū)動(dòng)動(dòng)板13在第一位置和第二位置之間移動(dòng)，以將模組套11移入或移出真空壓力倉3，并通過滑蓋驅(qū)動(dòng)件4驅(qū)動(dòng)滑蓋5打開或關(guān)閉坩禍22底壁上的開口221，利用第一加熱裝置23對(duì)坩禍22進(jìn)行加熱，同時(shí)，利用第二加熱裝置32對(duì)模組套11進(jìn)行加熱，并將第一加熱裝置23和第二加熱裝置32設(shè)為電磁感應(yīng)加熱線圈，通過進(jìn)料閥62控制漏斗63限定出的進(jìn)料通道61，利用真空閥7和充氣閥8對(duì)倉室31內(nèi)的壓力進(jìn)行控制，使產(chǎn)品性能在一定程度上得到保證，并利用限位柱15對(duì)移動(dòng)組件10進(jìn)行限位，避免動(dòng)板13在向第一位置移動(dòng)時(shí)過度移位，同時(shí)模組套11和鋁塊是在外面高溫加熱爐里加熱，可以批量加熱，從而不僅安全性好，效率高，而且成本低廉，生產(chǎn)的產(chǎn)品性能穩(wěn)定。
[0065]在本說明書的描述中，參考術(shù)語“ 一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)語的示意性表述不必須針對(duì)的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。此外，在不相互矛盾的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以將本說明書中描述的不同實(shí)施例或示例以及不同實(shí)施例或示例的特征進(jìn)行結(jié)合和組合。
[0066]盡管上面已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，可以理解的是，上述實(shí)施例是示例性的，不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在本發(fā)明的范圍內(nèi)可以對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行變化、修改、替換和變型。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，包括: 基座； 上板，所述上板設(shè)在所述基座上，所述上板上設(shè)有頂部敞開的容納腔，所述容納腔內(nèi)設(shè)有坩禍和用于對(duì)所述坩禍進(jìn)行加熱的第一加熱裝置，所述坩禍的底壁設(shè)有開口 ； 真空壓力倉，所述真空壓力倉設(shè)在所述上板的下表面上，所述真空壓力倉內(nèi)限定出倉室，所述倉室內(nèi)設(shè)有第二加熱裝置，所述倉室與所述容納腔連通； 滑蓋驅(qū)動(dòng)件和用于打開或關(guān)閉所述開口的滑蓋，所述滑蓋驅(qū)動(dòng)件與所述滑蓋相連以驅(qū)動(dòng)所述滑蓋水平移動(dòng)地設(shè)在所述上板內(nèi)； 蓋板，所述蓋板設(shè)在所述上板上以封蓋所述容納腔，所述蓋板上設(shè)有進(jìn)料通道和用于打開或關(guān)閉所述進(jìn)料通道的進(jìn)料閥； 真空閥和充氣閥，所述真空閥設(shè)在所述蓋板或者所述上板上且與所述容納腔連通，所述充氣閥設(shè)在所述蓋板或者所述上板上且與所述容納腔連通； 驅(qū)動(dòng)器，所述驅(qū)動(dòng)器設(shè)在所述基座上； 移動(dòng)組件，所述移動(dòng)組件在第一位置和第二位置之間可上下移動(dòng)地設(shè)在所述基座上且位于所述真空壓力倉的下方，所述移動(dòng)組件與所述驅(qū)動(dòng)器相連以由所述驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)移動(dòng)；盛放有基板的模組套，所述模組套可拆卸地設(shè)在所述移動(dòng)組件上，在第一位置，所述模組套位于所述倉室內(nèi)且所述移動(dòng)組件與所述真空壓力倉接觸以密封所述倉室，在所述第二位置，所述模組套位于所述倉室的下方；模組套設(shè)有承載金屬液的盆口，所述盆口上具有盆□開口。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，所述移動(dòng)組件包括動(dòng)板和下封板，所述下封板設(shè)在所述動(dòng)板的上表面上，所述驅(qū)動(dòng)器與所述動(dòng)板相連，在所述第一位置，所述下封板與所述真空壓力倉接觸。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，還包括限位柱，所述限位柱設(shè)在所述上板上且位于所述真空壓力倉的外側(cè)，所述限位柱的下端位于所述真空壓力倉的下表面的下方。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，所述蓋板上設(shè)有抽氣口和充氣口，所述抽氣口和所述充氣口分別與所述容納腔連通，所述真空閥和所述充氣閥分別與所述抽氣口和所述充氣口相連。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，所述第一加熱裝置為電磁感應(yīng)線圈。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，所述第二加熱裝置為電磁感應(yīng)線圈。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)器為油壓機(jī)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，所述基板為IGBT基板。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，所述蓋板上設(shè)有漏斗以限定出所述進(jìn)料通道。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板滲金屬設(shè)備，其特征在于，所述坩禍和所述第一加熱裝置分別可拆卸地設(shè)在所述容納腔內(nèi)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種基板滲金屬設(shè)備，包括：基座、上板、真空壓力倉、滑蓋驅(qū)動(dòng)件、滑蓋、蓋板、真空閥、充氣閥、驅(qū)動(dòng)器、移動(dòng)組件和模組套；上板設(shè)在基座上且設(shè)有容納腔，容納腔內(nèi)設(shè)有坩堝和第一加熱裝置，坩堝的底壁設(shè)有開口；真空壓力倉設(shè)在上板的下表面上且內(nèi)部限定出與容納腔連通的倉室，倉室內(nèi)設(shè)有第二加熱裝置；滑蓋驅(qū)動(dòng)件與滑蓋相連以驅(qū)動(dòng)滑蓋水平移動(dòng)；蓋板設(shè)在上板上以封蓋容納腔，蓋板上設(shè)有進(jìn)料通道和進(jìn)料閥；真空閥和充氣閥設(shè)在蓋板或者上板上且與容納腔連通；驅(qū)動(dòng)器設(shè)在基座上；移動(dòng)組件由驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)在第一位置和第二位置之間可上下移動(dòng)；模組套內(nèi)盛放有基板且設(shè)在移動(dòng)組件上。本實(shí)用新型的基板滲金屬設(shè)備效率高，成本低，且性能可靠。
【IPC分類】B22D23/04
【公開號(hào)】CN204799926
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520359681
【發(fā)明人】趙樹明, 王亞楠, 陳國聰, 王曉華, 陳秋繪, 張昌才, 宮清
【申請(qǐng)人】惠州比亞迪實(shí)業(yè)有限公司
【公開日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年5月29日