一種具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于磁控濺射鍍膜生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及一種具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有技術(shù)中，磁控濺射鍍膜玻璃利用磁控濺射技術(shù)在普通的玻璃基片上鍍上多種顏色的膜，膜層耐磨耐腐蝕性較好，傳統(tǒng)的磁控濺射生產(chǎn)過程中存在針眼和膜層均勻度差等缺點(diǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供一種具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，該生產(chǎn)線使產(chǎn)品膜層更均勻牢固，成膜書讀快，生產(chǎn)效率高合格率高，生產(chǎn)出更豐富多樣的產(chǎn)品種類，濺射源使用壽命長，膜層厚度易于控制，節(jié)約功耗，單位時(shí)間及電量能生產(chǎn)更多的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，包括真空預(yù)抽室1、真空鍍膜室2、第一濺射源3、第二濺射源4、第三濺射源5、過渡室6，所述真空預(yù)抽室I和真空鍍膜室2及過渡室6依次連接，所述真空鍍膜室2內(nèi)安裝第一濺射源3、第二濺射源4、第三濺射源5，所述第一濺射源3、第二濺射源4、第三濺射源5依次平行設(shè)置。
[0005]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)效果是:該生產(chǎn)線使產(chǎn)品膜層更均勻牢固，成膜書讀快，生產(chǎn)效率高合格率高，生產(chǎn)出更豐富多樣的產(chǎn)品種類，濺射源使用壽命長，膜層厚度易于控制，節(jié)約功耗，單位時(shí)間及電量能生產(chǎn)更多的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。
【附圖說明】
[0006]圖1為本實(shí)用新型一種具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線結(jié)構(gòu)示意圖
[0007]附圖標(biāo)示:1為真空預(yù)抽室、2為真空鍍膜室、3為第一濺射源、4為第二濺射源、5為第三濺射源、6為過渡室。
【具體實(shí)施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明:
[0009]如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，一種具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，包括真空預(yù)抽室1、真空鍍膜室2、第一濺射源3、第二濺射源4、第三濺射源5、過渡室6，所述真空預(yù)抽室I和真空鍍膜室2及過渡室6依次連接，所述真空鍍膜室2內(nèi)安裝第一濺射源3、第二濺射源4、第三濺射源5，所述第一濺射源
3、第二濺射源4、第三濺射源5依次平行設(shè)置。
[0010]本實(shí)用新型工作原理:該生產(chǎn)線采用單端半連續(xù)鍍膜方式，水平臥式結(jié)構(gòu)，被加工的玻璃工件經(jīng)輸入、清洗、烘干進(jìn)入真空預(yù)抽室I抽成真空后進(jìn)入真空鍍膜室2后，第一濺射源3、第二濺射源4、第三濺射源5三個(gè)濺射源在真空狀態(tài)下將陰極材料濺射出來在玻璃工件上沉積成膜，經(jīng)傳動(dòng)裝置在真空鍍膜室2及過渡室6往復(fù)運(yùn)行兩次，使被加工的玻璃工件每部分都被三個(gè)濺射源加工作用兩次，保證成品率，后返至真空預(yù)抽室，排入大氣，被加工好的玻璃工件退出真空預(yù)抽室I檢查質(zhì)量后從生產(chǎn)線上取下。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，包括真空預(yù)抽室、真空鍍膜室、第一濺射源、第二濺射源、第三濺射源、過渡室，所述真空預(yù)抽室和真空鍍膜室及過渡室依次連接，所述真空鍍膜室內(nèi)安裝第一濺射源、第二濺射源、第三濺射源，所述第一濺射源、第二濺射源、第三濺射源依次平行設(shè)置。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種具有三套濺射源的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線，包括真空預(yù)抽室、真空鍍膜室、第一濺射源、第二濺射源、第三濺射源、過渡室，所述真空預(yù)抽室和真空鍍膜室及過渡室依次連接，所述真空鍍膜室內(nèi)安裝第一濺射源、第二濺射源、第三濺射源，所述第一濺射源、第二濺射源、第三濺射源依次平行設(shè)置。該生產(chǎn)線使產(chǎn)品膜層更均勻牢固，成膜書讀快，生產(chǎn)效率高合格率高，生產(chǎn)出更豐富多樣的產(chǎn)品種類，濺射源使用壽命長，膜層厚度易于控制，節(jié)約功耗，單位時(shí)間及電量能生產(chǎn)更多的優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。
【IPC分類】C23C14-56, C23C14-35
【公開號(hào)】CN204608152
【申請?zhí)枴緾N201520301818
【發(fā)明人】魏永祥, 魏長龍, 馬東
【申請人】棗莊市錦華鍍膜玻璃有限公司
【公開日】2015年9月2日
【申請日】2015年5月12日