一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射鍍膜設(shè)備是把磁控原理與普通濺射技術(shù)相結(jié)合利用磁場(chǎng)的特殊分布控制電場(chǎng)中的電子運(yùn)動(dòng)軌跡，將離子引向欲被濺射的物質(zhì)制成的靶電極(陰極)，并將靶材原子濺射出來(lái)使其沿著一定的方向運(yùn)動(dòng)到襯底并最終在襯底上沉積成膜，使得鍍膜厚度及均勻性可控，且制備的薄膜致密性好、粘結(jié)力強(qiáng)及純凈度高。磁控濺射鍍膜設(shè)備已成為制備太陽(yáng)能薄膜電池的重要設(shè)備，在太陽(yáng)能薄膜電池生產(chǎn)過(guò)程中，芯片經(jīng)由傳動(dòng)輪進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部，完成鍍膜后通過(guò)傳送機(jī)構(gòu)繼續(xù)流入下工序，例如:申請(qǐng)?zhí)?01120348080.1所述的一種硅片傳送機(jī)構(gòu)，包括連接傳送帶、至少三個(gè)支撐件、至少三個(gè)皮帶輪，其中，所述連接傳送帶由所述皮帶輪托起，在所述皮帶輪的帶動(dòng)下傳送硅片，所述支撐件與所述皮帶輪相連，所述支撐件用于支撐所述連接傳送帶的平衡，其缺點(diǎn)在于該傳送機(jī)構(gòu)在輸送芯片時(shí)容易傾斜發(fā)生便宜碰撞，使芯片發(fā)生形變或破損。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型目的之一是為了克服技術(shù)的不足，提供了一種能夠在傳送過(guò)程中保護(hù)芯片并校正芯片傳動(dòng)方向的用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，所述傳送機(jī)臺(tái)設(shè)置在磁控濺射鍍膜設(shè)備的出料口，包括傳送裝置，所述傳送裝置包括機(jī)架和設(shè)置在機(jī)架上的傳動(dòng)部件，所述傳送裝置的兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置位于傳送裝置的上方，所述導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)向部件和用于安裝導(dǎo)向部件的導(dǎo)向架，所述導(dǎo)向架連接有緩沖裝置，所述緩沖裝置包括固定在機(jī)架上的支架、通過(guò)支架支撐在傳送裝置上方的緩沖架以及設(shè)置在緩沖架和導(dǎo)向架之間的緩沖部件。
[0005]本實(shí)用新型通過(guò)在傳動(dòng)裝置的兩側(cè)設(shè)置導(dǎo)向裝置，運(yùn)送芯片時(shí)芯片在導(dǎo)向裝置的導(dǎo)向作用下順利地運(yùn)送到下一工序，防止芯片走偏，同時(shí)導(dǎo)向裝置連接有緩沖裝置，當(dāng)芯片走偏與導(dǎo)向裝置碰撞時(shí)，產(chǎn)生的沖擊力由緩沖裝置進(jìn)行吸收，起到緩沖作用，保護(hù)芯片不被損壞，同時(shí)緩沖裝置將沖擊力轉(zhuǎn)換為彈性勢(shì)能，反彈給芯片，修正芯片的移動(dòng)方向。
[0006]作為優(yōu)選，所述導(dǎo)向部件包括導(dǎo)輪、轉(zhuǎn)軸和頂緊塊，所述導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)連接在轉(zhuǎn)軸上，所述頂緊塊與轉(zhuǎn)軸螺紋配合連接，所述轉(zhuǎn)軸的端部設(shè)有卡接塊，導(dǎo)向架上設(shè)有卡槽，所述卡接塊卡接在卡槽內(nèi)，卡槽上設(shè)有阻擋卡接塊移出卡槽的擋邊，所述轉(zhuǎn)軸通過(guò)旋轉(zhuǎn)頂緊塊使頂緊塊和卡接塊壓住擋邊固定在導(dǎo)向架上。
[0007]此結(jié)構(gòu)可以方便將導(dǎo)向部件的安裝、拆卸以及調(diào)整導(dǎo)向部件之間的間距，只需將卡接塊卡接在卡槽內(nèi)約束轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)旋緊頂緊塊使卡接塊和頂緊塊夾緊卡槽的擋邊，從而固定導(dǎo)向部件在導(dǎo)向架上的位置。
[0008]作為優(yōu)選，所述導(dǎo)向架上設(shè)有導(dǎo)桿，所述緩沖架上設(shè)有與所述導(dǎo)桿配合的導(dǎo)孔。
[0009]作為優(yōu)選，所述緩沖部件為彈簧或彈性片，能夠吸收芯片的沖擊力防止芯片破碎，并將沖擊力轉(zhuǎn)換為彈性勢(shì)能，通過(guò)反作用力來(lái)修正芯片的移動(dòng)方向。
[0010]作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)部件包括傳動(dòng)軸和套設(shè)在傳動(dòng)軸上的傳動(dòng)輪，所述傳動(dòng)輪間隔設(shè)置在傳動(dòng)軸上。
[0011]作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)輪設(shè)有將傳動(dòng)輪套接在傳動(dòng)軸上的套接部，所述套接部上設(shè)有定位件。
[0012]作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)輪輪面設(shè)有緩沖圈，減輕運(yùn)送過(guò)程中芯片振動(dòng)，降低噪音。
[0013]作為優(yōu)選，所述傳動(dòng)輪上設(shè)有輪槽，所述緩沖圈卡接在輪槽內(nèi)。
[0014]作為優(yōu)選，所述傳送機(jī)臺(tái)上還設(shè)有距離控制裝置，所述距離控制裝置用于控制位于傳送裝置兩側(cè)的導(dǎo)向架之間的間距，根據(jù)不同芯片寬度隨時(shí)調(diào)整導(dǎo)向架的間距，使導(dǎo)向架與芯片保持一個(gè)適宜的間距，在保證芯片順利運(yùn)送的情況下減少偏移量，減小沖擊力。
[0015]本實(shí)用新型具有如下有益效果:本實(shí)用新型能夠順利地將芯片運(yùn)送到下一工序，防止芯片走偏，當(dāng)芯片走偏與導(dǎo)向裝置碰撞時(shí)，產(chǎn)生的沖擊力由緩沖裝置進(jìn)行吸收，起到緩沖作用，保護(hù)芯片不被損壞，同時(shí)緩沖裝置將沖擊力轉(zhuǎn)換為彈性勢(shì)能反彈給芯片，修正芯片的移動(dòng)方向。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的側(cè)視圖；
[0018]圖3為圖1中A處的局部放大圖；
[0019]圖4為圖2中B處的局部放大圖；
[0020]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例中導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例中傳動(dòng)輪的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖中，1-機(jī)架；2_傳動(dòng)部件；21_傳動(dòng)軸；22_傳動(dòng)輪；221_套接部來(lái)；222_定位件；223_緩沖圈；224_輪槽；3_導(dǎo)向架；31_卡槽；32_擋邊；33_導(dǎo)桿；4_導(dǎo)向部件；41_導(dǎo)輪；42_轉(zhuǎn)軸；43_頂緊塊；44_卡接塊；5-支架；6_緩沖架；7_緩沖部件；8_距離控制裝置；81-距離傳感器；82_反射片；83_驅(qū)動(dòng)電機(jī)；84_驅(qū)動(dòng)絲桿。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面將結(jié)合附圖，通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0024]實(shí)施例:如圖1至圖6所示，一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，該傳送機(jī)臺(tái)設(shè)置在磁控濺射鍍膜設(shè)備的出料口，包括傳送裝置，傳送裝置包括機(jī)架I和設(shè)置在機(jī)架I上的傳動(dòng)部件2，傳動(dòng)部件2包括傳動(dòng)軸21和套設(shè)在傳動(dòng)軸21上的傳動(dòng)輪22，傳動(dòng)輪22間隔設(shè)置在傳動(dòng)軸21上，傳動(dòng)輪22上設(shè)有輪槽224，輪槽224內(nèi)卡接有緩沖圈223，該緩沖圈223為橡膠圈或其他軟性耐磨材料；傳動(dòng)輪22上設(shè)有將傳動(dòng)輪22套接在傳動(dòng)軸21上的套接部221，套接部221上設(shè)有定位件222，該定位件22為緊頂螺栓，緊頂螺栓頂住傳動(dòng)軸21使得傳動(dòng)輪22與傳動(dòng)軸21保持同步轉(zhuǎn)動(dòng)。傳動(dòng)軸21通過(guò)鏈條聯(lián)動(dòng)由電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，保證所有的傳動(dòng)軸21轉(zhuǎn)速相同。
[0025]傳送裝置的兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向裝置，導(dǎo)向裝置位于傳送裝置的上方，導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)向架3和導(dǎo)向部件4，導(dǎo)向部件4包括導(dǎo)輪41、轉(zhuǎn)軸42和頂緊塊43，導(dǎo)輪41轉(zhuǎn)動(dòng)連接在轉(zhuǎn)軸42上，頂緊塊43與轉(zhuǎn)軸42螺紋配合連接，轉(zhuǎn)軸42的端部設(shè)有卡接塊44，導(dǎo)向架3上設(shè)有卡槽31，卡接塊44卡接在卡槽31內(nèi)，卡槽31上設(shè)有阻擋卡接塊44移出卡槽31的擋邊32，通過(guò)旋轉(zhuǎn)頂緊塊43使頂緊塊43和卡接塊44壓住擋邊32從而將導(dǎo)向部件4固定在導(dǎo)向架3上。導(dǎo)向架3連接有緩沖裝置，緩沖裝置包括固定在機(jī)架I上的支架5、通過(guò)支架5支撐在傳送裝置上方的緩沖架6以及設(shè)置在緩沖架6和導(dǎo)向架3之間的緩沖部件7，該緩沖部件7為彈簧或彈性片，導(dǎo)向架3上設(shè)有導(dǎo)桿33，緩沖架6上設(shè)有與導(dǎo)桿33配合的導(dǎo)孔。
[0026]傳送機(jī)臺(tái)上還設(shè)有距離控制裝置8，包括距離傳感器81、反射片82、驅(qū)動(dòng)電機(jī)83和驅(qū)動(dòng)絲桿84，距離傳感器81設(shè)置在其中一邊的導(dǎo)向架3上，反射片82設(shè)置在另一邊的導(dǎo)向架3上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)83固定在緩沖架6上。驅(qū)動(dòng)絲桿84的一端與驅(qū)動(dòng)電機(jī)83的驅(qū)動(dòng)軸連接由驅(qū)動(dòng)電機(jī)83控制轉(zhuǎn)動(dòng)，另一端與導(dǎo)向架3螺紋配合連接，當(dāng)驅(qū)動(dòng)絲桿84轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，導(dǎo)向架3沿驅(qū)動(dòng)絲桿84進(jìn)行平移。距離傳感器81發(fā)射光脈沖并接收發(fā)射片82反射的信號(hào)，測(cè)出導(dǎo)向架3的間距并反饋到控制器，根據(jù)實(shí)際需要通過(guò)控制器控制驅(qū)動(dòng)電機(jī)83的轉(zhuǎn)動(dòng)從而控制兩邊導(dǎo)向架3的間距，根據(jù)不同芯片寬度來(lái)調(diào)整導(dǎo)向架3的間距，使導(dǎo)向架3與芯片保持一個(gè)適宜的間距，在保證芯片順利運(yùn)送的情況下減少偏移量，減小沖擊力。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，所述傳送機(jī)臺(tái)設(shè)置在磁控濺射鍍膜設(shè)備的出料口，包括傳送裝置，所述傳送裝置包括機(jī)架(I)和設(shè)置在機(jī)架(I)上的傳動(dòng)部件(2)，其特征在于:所述傳送裝置的兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置位于傳送裝置的上方，所述導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)向部件(4)和用于安裝導(dǎo)向部件(4)的導(dǎo)向架(3)，所述導(dǎo)向架(3)連接有緩沖裝置，所述緩沖裝置包括固定在機(jī)架(I)上的支架(5 )、通過(guò)支架(5 )支撐在傳送裝置上方的緩沖架(6)以及設(shè)置在緩沖架(6)和導(dǎo)向架(3)之間的緩沖部件(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述導(dǎo)向部件(4)包括導(dǎo)輪(41)、轉(zhuǎn)軸(42 )和頂緊塊(43 )，所述導(dǎo)輪(4)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在轉(zhuǎn)軸(42 )上，所述頂緊塊(43 )與轉(zhuǎn)軸(42 )螺紋配合連接，所述轉(zhuǎn)軸(42 )的端部設(shè)有卡接塊(44 )，導(dǎo)向架(3 )上設(shè)有卡槽(31)，所述卡接塊(44 )卡接在卡槽(31)內(nèi)，卡槽(31)上設(shè)有阻擋卡接塊(44)移出卡槽的擋邊(32)，所述轉(zhuǎn)軸(42)通過(guò)旋轉(zhuǎn)頂緊塊(43)使頂緊塊(43)和卡接塊(44)壓住擋邊(33)固定在導(dǎo)向架(3)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述導(dǎo)向架(3)上設(shè)有導(dǎo)桿(33)，緩沖架(6)上設(shè)有與所述導(dǎo)桿(33)配合的導(dǎo)孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述緩沖部件(7)為彈簧或彈性片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述傳動(dòng)部件(2 )包括傳動(dòng)軸(21)和套設(shè)在傳動(dòng)軸(21)上的傳動(dòng)輪(22 )，所述傳動(dòng)輪(22 )間隔設(shè)置在傳動(dòng)軸(21)上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述傳動(dòng)輪(22)設(shè)有將傳動(dòng)輪(22)套接在傳動(dòng)軸(21)上的套接部(221 )，所述套接部(221)上設(shè)有定位件(222)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述傳動(dòng)輪(22 )輪面設(shè)有緩沖圈(223 )。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述傳動(dòng)輪(22 )上設(shè)有輪槽(224 )，所述緩沖圈(223 )卡接在輪槽(224 )內(nèi)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，其特征在于:所述傳送機(jī)臺(tái)上還設(shè)有距離控制裝置(8)，所述距離控制裝置(8)用于控制位于傳送裝置兩側(cè)的導(dǎo)向架(3)之間的間距。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種用于磁控濺射鍍膜設(shè)備的傳送機(jī)臺(tái)，包括傳送裝置，傳送裝置包括機(jī)架和設(shè)置在機(jī)架上的傳動(dòng)部件，傳送裝置的兩側(cè)設(shè)有導(dǎo)向裝置，導(dǎo)向裝置位于傳送裝置的上方，導(dǎo)向裝置包括導(dǎo)向部件和用于安裝導(dǎo)向部件的導(dǎo)向架，導(dǎo)向架連接有緩沖裝置，緩沖裝置包括固定在機(jī)架上的支架、通過(guò)支架支撐在傳送裝置上方的緩沖架以及設(shè)置在緩沖架和導(dǎo)向架之間的緩沖部件。本實(shí)用新型能夠順利地將芯片運(yùn)送到下一工序，防止芯片走偏，當(dāng)芯片走偏與導(dǎo)向裝置碰撞時(shí)，產(chǎn)生的沖擊力由緩沖裝置進(jìn)行吸收，起到緩沖作用，保護(hù)芯片不被損壞，同時(shí)緩沖裝置將沖擊力轉(zhuǎn)換為彈性勢(shì)能反彈給芯片，修正芯片的移動(dòng)方向。
【IPC分類】C23C14-35
【公開(kāi)號(hào)】CN204608151
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520171004
【發(fā)明人】胡遠(yuǎn)遠(yuǎn), 李靜益
【申請(qǐng)人】浙江長(zhǎng)興漢能光伏有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月2日
【申請(qǐng)日】2015年3月25日