米銀層的膜材為銀的氧化物,如Ag20、AgO或Ag2O3,銀的氧化物經(jīng)過(guò)電子槍蒸鍍過(guò)程氧離子從銀的氧化物中分離得到納米銀,納米銀在第四層膜的表面形成薄層;此外設(shè)置高硬度層能夠有效提高了儀表盤或照相機(jī)視窗的耐磨性,可以防止其刮花。
[0031]實(shí)施例2:
當(dāng)所述儀表盤或照相機(jī)視窗的基片I由玻璃成型時(shí),所述制備方法具體包括以下步驟: 1)對(duì)基片I進(jìn)行清洗、干燥;
2)對(duì)基片I的外表面進(jìn)行鍍膜;
A、鍍第一膜層2:
將真空鍍膜艙內(nèi)的真空度調(diào)整至大于或等于5.0 X 10—3帕,并控制真空鍍膜艙內(nèi)的溫度為200-300°C,采用電子槍轟擊第一膜層2的膜材,第一膜層2的膜材蒸發(fā)后以納米級(jí)分子形式沉積于基片I的外表面,同時(shí)控制第一膜層2蒸鍍的速率為2.5A/S,第一膜層2最終形成后的厚度為1-1OOnm;其中,所述第一膜層2的膜材為五氧化三鈦,形成五氧化三鈦層;
B、鍍第二膜層3:
保持真空鍍膜艙內(nèi)的真空度大于或等于5.0 X 10—3帕,同時(shí)保持真空鍍膜艙內(nèi)的溫度為200-300°C,采用電子槍轟擊第二膜層3的膜材,第二膜層3的膜材蒸發(fā)后以納米級(jí)分子形式沉積于上述步驟A中第一膜層2的表面,同時(shí)控制第二膜層3蒸鍍的速率為7A/S,第二膜層3最終形成后的厚度為50-100nm;其中,所述第二膜層3的膜材為二氧化硅,形成二氧化硅層;
C、鍍第三膜層4:
保持真空鍍膜艙內(nèi)的真空度大于或等于5.0 X 10—3帕,同時(shí)保持真空鍍膜艙內(nèi)的溫度為200-300°C,采用電子槍轟擊第三膜層4的膜材,第三膜層4的膜材蒸發(fā)后以納米級(jí)分子形式沉積于上述步驟B中第二膜層3的表面,同時(shí)控制第三膜層4蒸鍍的速率為2.5A/S,第三膜層4最終形成后的厚度為1-1OOnm;其中,所述第三膜層4的膜材為五氧化三鈦,形成五氧化三鈦層;
D、鍍第四膜層5:
保持真空鍍膜艙內(nèi)的真空度大于或等于5.0 X 10—3帕,同時(shí)保持真空鍍膜艙內(nèi)的溫度為200-300°C,采用電子槍轟擊第四膜層5的膜材,第四膜層5的膜材蒸發(fā)后以納米級(jí)分子形式沉積于上述步驟C中第三膜層4的表面,同時(shí)控制第四膜層5蒸鍍的速率為7A/S,第四膜層5最終形成后的厚度為50-100nm;其中,所述第四膜層5的膜材為二氧化硅,形成二氧化硅層;
E、鍍第五膜層6:
保持真空鍍膜艙內(nèi)的真空度大于或等于5.0 X 10—3帕,同時(shí)保持真空鍍膜艙內(nèi)的溫度為200-300°C,采用電子槍轟擊第五膜層的膜材銀的氧化物,銀的氧化物蒸發(fā)后分解,以納米銀形式在步驟D中第四膜層的表面形成薄層,同時(shí)控制第五膜層蒸鍍的速率為1A/S,第五膜層最終形成后的厚度為5-20nm;
F、鍍第六膜層7:
保持真空鍍膜艙內(nèi)的真空度大于或等于5.0 X 10—3帕,同時(shí)保持真空鍍膜艙內(nèi)的溫度為200-300°C,采用電子槍轟擊第六膜層的膜材11,第六膜層7的膜材蒸發(fā)后以納米級(jí)分子形式沉積于上述步驟E中第五膜層6的表面,同時(shí)控制第六膜層7蒸鍍的速率為7A/S,第六膜層7最終形成后的厚度為10-50nm;其中,所述第六膜層7的膜材為三氧化二鋁、氧化鋯、二氧化硅高硬度晶體或者一氧化硅高硬度晶體,形成高硬度層。
[0032]所述的步驟I)中對(duì)基片I進(jìn)行清洗、干燥的具體步驟如下:將基片I放在真空腔內(nèi),用離子槍轟擊基片I的外表面5-10分鐘進(jìn)行清洗。
[0033]通過(guò)上述方法制得的儀表盤或照相機(jī)視窗上的各膜層在零下20°C時(shí)的附著力為6-9Hrs,在80 °C時(shí)的附著力為6_9Hrs,具有很強(qiáng)的附著能力,同時(shí)各膜層的致密性好、附著力強(qiáng)。而且,該儀表盤或照相機(jī)視窗能使得波長(zhǎng)較長(zhǎng)的可見光產(chǎn)生相干干涉,從而進(jìn)一步產(chǎn)生防眩效果;設(shè)置納米銀層,對(duì)大腸桿菌、淋球菌、沙眼衣原體等數(shù)十種致病微生物都有強(qiáng)烈的抑制和殺滅作用,而且不會(huì)產(chǎn)生耐藥性,納米銀層的膜材為銀的氧化物,如Ag20、AgO或Ag2O3,銀的氧化物經(jīng)過(guò)電子槍蒸鍍過(guò)程氧離子從銀的氧化物中分離得到納米銀,納米銀在第四層膜的表面形成薄層;此外設(shè)置高硬度層能夠有效提高了儀表盤或照相機(jī)視窗的耐磨性,可以防止其刮花。
[0034]綜上所述,本發(fā)明采用電子束真空蒸鍍的原理,利用帶電荷的粒子在電場(chǎng)中加速后具有一定動(dòng)能的特點(diǎn),將離子引向欲被鍍膜的基片制成的電極,并通過(guò)電子槍高溫轟擊將高純度金屬或金屬氧化物,蒸發(fā)出來(lái)的納米分子使其沿著一定的方向運(yùn)動(dòng)到基片并最終在基片上沉積成膜的方法。本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)結(jié)合利用磁場(chǎng)的特殊分布控制電場(chǎng)中的電子運(yùn)動(dòng)軌跡,以此改進(jìn)鍍膜的工藝,使得鍍膜厚度及均勻性可控,且制備的膜層致密性好、粘結(jié)力強(qiáng)及附著力強(qiáng)。
[0035]本發(fā)明在基片上真空蒸鍍有五氧化三鈦層,充分利用了五氧化三鈦晶體材料鍍膜操作性好,膜層密集,均勻,穩(wěn)定,應(yīng)力小等性能,以及五氧化三鈦晶體材料在可見光波段內(nèi)具有最高的折射率,結(jié)晶性好,蒸鍍穩(wěn)定,無(wú)放氣和噴濺等優(yōu)點(diǎn),使其適合在儀表盤或照相機(jī)視窗基片上鍍制增透性好的多層膜。
[0036]本發(fā)明在基片上真空蒸鍍有二氧化硅層,主要起增加膜層附著力、耐磨性以及抗沖擊性的作用,同時(shí)可以吸收有害光。
[0037]本發(fā)明的五氧化三鈦層和二氧化硅層相互配合,主要起到控制過(guò)濾波長(zhǎng)的效果。本發(fā)明通過(guò)上述膜層相互配合,起到吸收、反射、轉(zhuǎn)化、過(guò)濾等功效,是儀表盤或照相機(jī)視窗鍍膜殺菌防炫耐磨的核心技術(shù);同時(shí),通過(guò)調(diào)節(jié)上述各膜層的厚度,使得波長(zhǎng)較長(zhǎng)的可見光產(chǎn)生相干干涉,從而進(jìn)一步產(chǎn)生防眩效果;設(shè)置納米銀層,對(duì)大腸桿菌、淋球菌、沙眼衣原體等數(shù)十種致病微生物都有強(qiáng)烈的抑制和殺滅作用,而且不會(huì)產(chǎn)生耐藥性,納米銀層的膜材為銀的氧化物,如Ag20、Ag0或Ag2O3,銀的氧化物經(jīng)過(guò)電子槍蒸鍍過(guò)程氧離子從銀的氧化物中分離得到納米銀,納米銀在第四層膜的表面形成薄層;此外設(shè)置高硬度層能夠有效提高了儀表盤或照相機(jī)視窗的耐磨性,可以防止其刮花。
[0038]本發(fā)明的儀表盤或照相機(jī)視窗鍍有的多個(gè)膜層能有效地對(duì)炫光的過(guò)濾能有效緩解視覺疲勞,設(shè)置納米銀層,對(duì)大腸桿菌、淋球菌、沙眼衣原體等數(shù)十種致病微生物都有強(qiáng)烈的抑制和殺滅作用,而且不會(huì)產(chǎn)生耐藥性,納米銀層的膜材為銀的氧化物,如Ag20、AgO或Ag2O3,銀的氧化物經(jīng)過(guò)電子槍蒸鍍過(guò)程氧離子從銀的氧化物中分離得到納米銀,納米銀在第四層膜的表面形成薄層;此外設(shè)置高硬度層能夠有效提高了儀表盤或照相機(jī)視窗的耐磨性,可以防止其刮花。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種殺菌防炫增透的耐磨儀表盤或照相機(jī)視窗,包括基片,其特征在于:所述基片的外表面從里到外依序設(shè)有第一膜層、第二膜層、第三膜層、第四膜層、第五膜層和第六膜層;所述第一膜層和第三膜層均為五氧化三鈦層,厚度均為1-1OOnm;所述第二膜層和第四膜層均為二氧化硅層,厚度均為50-100nm;所述第五膜層為納米銀層,第五膜層的厚度為5-20nm;所述第六膜層為高硬度層,厚度為10-50nmo2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種殺菌防炫增透的耐磨儀表盤或照相機(jī)視窗,其特征在于:所述的五氧化三鈦層的膜材為五氧化三鈦,并由電子槍蒸鍍成型,二氧化硅層的膜材為二氧化硅,并由電子槍蒸鍍成型。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種殺菌防炫增透的耐磨儀表盤或照相機(jī)視窗,其特征在于:所述納米銀層的膜材為銀的氧化物,并使用電子槍蒸鍍成型。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種殺菌防炫增透的耐磨儀表盤或照相機(jī)視窗,其特征在于:所述銀的氧化物為Ag2O、AgO或Ag2O3。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種殺菌防炫增透的耐