屬板構(gòu)成的第5樣品。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，在寬度方向的各位置測(cè)定第5樣品的長(zhǎng)度，并且算出延伸差率。結(jié)果，一個(gè)端部的延伸差率為18.2Χ10_5、另一個(gè)端部的延伸差率為12.3X10'中央部分的各位置的延伸差率的最大值為 9.1XlO-5O
[0164]將第5樣品的延伸差率的計(jì)算結(jié)果與上述條件(I)?(3)進(jìn)行對(duì)照，結(jié)果，在第5樣品中滿足條件(I)?(3)的全部。因此判定第5樣品能夠作為用于制造蒸鍍掩模的材料而進(jìn)行使用。
[0165]另外，與上述第I樣品的情況同樣地，使用第5卷繞體的金屬板，制造多個(gè)設(shè)置有大量貫通孔的蒸鍍掩模。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，測(cè)定所得到的各蒸鍍掩模的總間距，并且算出總間距的測(cè)定值的偏差(3(0。結(jié)果，3σ的值為5.6μπι。
[0166](第6樣品)
[0167]通過(guò)切去與上述第I卷繞體?第5卷繞體不同的第6卷繞體的前端部，得到由寬500_、投影長(zhǎng)度700_的金屬板構(gòu)成的第6樣品。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，在寬度方向的各位置測(cè)定第6樣品的長(zhǎng)度，并且算出延伸差率。結(jié)果，一個(gè)端部的延伸差率為18.2Χ 10_5、另一個(gè)端部的延伸差率為8.8Χ 10_5、中央部分的各位置的延伸差率的最大值為 9.1XlO-5O
[0168]將第6樣品的延伸差率的計(jì)算結(jié)果與上述條件(I)?(3)進(jìn)行對(duì)照，結(jié)果，在第3樣品中滿足條件(I)和(2)，但不滿足條件(3)。因此判定第6樣品不能作為用于制造蒸鍍掩模的材料而進(jìn)行使用。
[0169]另外，與上述第I樣品的情況同樣地，使用第6卷繞體的金屬板，制造多個(gè)設(shè)置有大量貫通孔的蒸鍍掩模。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，測(cè)定所得到的各蒸鍍掩模的總間距，并且算出總間距的測(cè)定值的偏差(3(0。結(jié)果，3σ的值為12.6μπι。
[0170](第7樣品)
[0171]通過(guò)切去與上述第I卷繞體?第6卷繞體不同的第7卷繞體的前端部，得到由寬500_、投影長(zhǎng)度700_的金屬板構(gòu)成的第7樣品。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，在寬度方向的各位置測(cè)定第7樣品的長(zhǎng)度，并且算出延伸差率。結(jié)果，一個(gè)端部的延伸差率為16.5Χ 10_5、另一個(gè)端部的延伸差率為3.2Χ 10_5、中央部分的各位置的延伸差率的最大值為 0.8 X KT50
[0172]將第7樣品的延伸差率的計(jì)算結(jié)果與上述條件(I)?(3)進(jìn)行對(duì)照，結(jié)果，在第7樣品中滿足條件(I)?(3)的全部。因此判定第7樣品能夠作為用于制造蒸鍍掩模的材料而進(jìn)行使用。
[0173]另外，與上述第I樣品的情況同樣地，使用第7卷繞體的金屬板，制造多個(gè)設(shè)置有大量貫通孔的蒸鍍掩模。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，測(cè)定所得到的各蒸鍍掩模的總間距，并且算出總間距的測(cè)定值的偏差(3(0。結(jié)果，3 σ的值為4.3μπι。
[0174]如此，第5、第7卷繞體的金屬板中取得了基于上述條件⑴?(3)做出良好判定的樣品5、7，使用了所述第5、第7卷繞體的金屬板的的情況下，使蒸鍍掩模的總間距的測(cè)定值的偏差(3 σ)的值減小，具體地說(shuō)可以為10 μ m以下。另一方面，第I?第4和第6卷繞體的金屬板中取得了基于上述條件⑴?⑶判定為不良的樣品I?4和6，使用了第I?第4和第6卷繞體的金屬板的情況下，蒸鍍掩模的總間距的測(cè)定值的偏差(3σ)的值大，具體地說(shuō)，大于ΙΟμπι。由此可以認(rèn)為，在基于上述條件(I)?(3)的判定結(jié)果與所得到的蒸鍍掩模的性能之間具有很大的相關(guān)性。即，通過(guò)利用上述的條件(I)?(3)，在卷繞體的階段，能夠精度良好地預(yù)測(cè)由該卷繞體的金屬板得到的蒸鍍掩模的特性。因此，可以認(rèn)為，上述的條件(I)?⑶為有力的判斷方法。
[0175]符號(hào)說(shuō)明
[0176]20蒸鍍掩模
[0177]21金屬板
[0178]21a金屬板的第I面
[0179]21b金屬板的第2面
[0180]22有效區(qū)域
[0181]23周圍區(qū)域
[0182]25貫通孔
[0183]30第I凹部
[0184]31 壁面
[0185]35第2凹部
[0186]36 壁面
[0187]55 母材
[0188]56軋制裝置
[0189]57退火裝置
[0190]61 芯材
[0191]62卷繞體
[0192]64長(zhǎng)金屬板
[0193]64a長(zhǎng)金屬板的第I面
[0194]64b長(zhǎng)金屬板的第2面
[0195]64c長(zhǎng)金屬板的寬度方向的中央部
[0196]64e長(zhǎng)金屬板的寬度方向的端部
[0197]65a、65b抗蝕劑圖案
[0198]65c、65d 抗蝕劑膜
[0199]80延伸差率的曲線
[0200]81基準(zhǔn)線
[0201]85a、85b 曝光掩模
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種金屬板的制造方法，該金屬板通過(guò)形成2個(gè)以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模，其中， 所述蒸鍍掩模的所述貫通孔通過(guò)對(duì)所述金屬板進(jìn)行蝕刻而形成， 所述金屬板的制造方法具備下述工序: 軋制工序，在該工序中，對(duì)母材進(jìn)行軋制而得到所述金屬板；和 切斷工序，在該工序中，以預(yù)定范圍切掉所述金屬板的寬度方向的兩端， 所述切斷工序后的所述金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)其寬度方向的位置而有所不同， 將所述切斷工序后的所述金屬板的所述長(zhǎng)度的最小值稱為基準(zhǔn)長(zhǎng)度，將所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的各位置處的所述金屬板的所述長(zhǎng)度與所述基準(zhǔn)長(zhǎng)度之差相對(duì)于所述基準(zhǔn)長(zhǎng)度的比例稱為延伸差率時(shí)，滿足以下條件(I)?(3)， (1)所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的中央部分的所述延伸差率為1X10_5以下； (2)所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的端部的所述延伸差率為20X10_5以下；和 (3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值； 所述中央部分包括所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的中央部，其是占所述金屬板的寬度的40%的部分。
2.如權(quán)利要求1所述的金屬板的制造方法，其中，該制造方法進(jìn)一步具備退火工序，在該工序中，將通過(guò)所述軋制工序得到的所述金屬板退火，以除去所述金屬板的內(nèi)部應(yīng)力。
3.如權(quán)利要求2所述的金屬板的制造方法，其中，一邊在長(zhǎng)度方向拉伸所述軋制后的母材，一邊實(shí)施所述退火工序。
4.如權(quán)利要求2所述的金屬板的制造方法，其中，在所述軋制后的母材卷取于芯材上的狀態(tài)下實(shí)施所述退火工序。
5.如權(quán)利要求1?4任一項(xiàng)所述的金屬板的制造方法，其中，所述母材的熱膨脹系數(shù)與基板的熱膨脹系數(shù)為同等的值，該基板上隔著由所述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。
6.如權(quán)利要求1所述的金屬板的制造方法，其中，所述母材含有因瓦合金材料。
7.一種金屬板，該金屬板是通過(guò)形成2個(gè)以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模的金屬板，其中， 所述金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)其寬度方向的位置而有所不同， 將所述金屬板的所述長(zhǎng)度的最小值稱為基準(zhǔn)長(zhǎng)度，將所述金屬板的寬度方向的各位置處的所述金屬板的所述長(zhǎng)度與所述基準(zhǔn)長(zhǎng)度之差相對(duì)于所述基準(zhǔn)長(zhǎng)度的比例稱為延伸差率時(shí)，滿足以下條件⑴?(3)， (1)所述金屬板的寬度方向的中央部分的所述延伸差率為10X10_5以下； (2)所述金屬板的寬度方向的端部的所述延伸差率為20X10_5以下；和 (3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值； 所述中央部分包括所述金屬板的寬度方向的中央部，其是占所述金屬板的寬度的40%的部分。
8.如權(quán)利要求7所述的金屬板，其中，所述金屬板的熱膨脹系數(shù)與基板的熱膨脹系數(shù)為同等的值，所述基板上隔著由所述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。
9.如權(quán)利要求7所述的金屬板，其中，所述金屬板含有因瓦合金材料。
10.一種蒸鍍掩模的制造方法，該蒸鍍掩模具備形成有2個(gè)以上貫通孔的有效區(qū)域、和位于所述有效區(qū)域的周圍的周圍區(qū)域，其中，該制造方法包括下述工序: 準(zhǔn)備金屬板的工序，該金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長(zhǎng)度方向的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)其寬度方向的位置而有所不同； 抗蝕劑圖案形成工序，該工序中，在所述金屬板上形成抗蝕劑圖案；和 蝕刻工序，該工序中，將所述抗蝕劑圖案作為掩模對(duì)所述金屬板進(jìn)行蝕刻，在用于形成所述有效區(qū)域的所述金屬板的區(qū)域內(nèi)形成用于劃出所述貫通孔的凹部； 將所述金屬板的所述長(zhǎng)度的最小值稱為基準(zhǔn)長(zhǎng)度，將所述金屬板的寬度方向的各位置處的所述金屬板的所述長(zhǎng)度與所述基準(zhǔn)長(zhǎng)度之差相對(duì)于所述基準(zhǔn)長(zhǎng)度的比例稱為延伸差率時(shí)，滿足以下條件⑴?(3)， (1)所述金屬板的寬度方向的中央部分的所述延伸差率為10X10_5以下； (2)所述金屬板的寬度方向的端部的所述延伸差率為20X10_5以下；和 (3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值； 所述中央部分包括所述金屬板的寬度方向的中央部，其是占所述金屬板的寬度的40%的部分。
11.如權(quán)利要求10所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中， 所述抗蝕劑圖案形成工序具有: 在所述金屬板上形成抗蝕劑膜的工序、 使曝光掩模與所述抗蝕劑膜真空密合的工序、和 隔著所述曝光掩模將所述抗蝕劑膜以預(yù)定的圖案曝光的工序。
12.如權(quán)利要求10或11所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中，所述金屬板的熱膨脹系數(shù)與基板的熱膨脹系數(shù)為同等的值，該基板上隔著由所述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。
13.如權(quán)利要求10所述的蒸鍍掩模的制造方法，其中，所述金屬板含有因瓦合金材料。
【專利摘要】本發(fā)明的目的是提供一種延伸差率小的金屬板。金屬板的寬度方向的中央部分的延伸差率為10×10-5以下。另外，金屬板的寬度方向的端部的延伸差率為20×10-5以下。此外，金屬板的寬度方向的端部的延伸差率大于金屬板的寬度方向的中央部分的延伸差率的最大值。
【IPC分類】C23C14-24, B21B1-22, H01L51-50, C23C14-04, H05B33-10
【公開(kāi)號(hào)】CN104854254
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480003445
【發(fā)明人】池永知加雄
【申請(qǐng)人】大日本印刷株式會(huì)社
【公開(kāi)日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2014年1月10日
【公告號(hào)】WO2014109393A1