鍍掩模20的長度根據(jù)切出金屬板21的位置、即在長金屬板64的寬度方向的位置而有所不同。在此，根據(jù)本實(shí)施方式，如上所述，使用基于在寬度方向D2的延伸差率而預(yù)先篩選出的長金屬板64。因此，即使在長金屬板64具有起伏形狀的情況下，也可使同時(shí)制作的2個(gè)以上的蒸鍍掩模20的長度的差異的程度在容許范圍內(nèi)。因此，根據(jù)本實(shí)施方式，通過減小蒸鍍掩模20的有效區(qū)域22的厚度、且增大蒸鍍掩模20的第I凹部30的壁面31的傾斜角度Θ 1，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)提高蒸鍍材料的利用效率和蒸鍍的位置精度、降低蒸鍍掩模20的有效區(qū)域22的各貫通孔25的間距的偏差、以及提高蒸鍍掩模制造工序中的曝光工序的密合性、提高蒸鍍掩模20的制造工序的成品率。因此，可穩(wěn)定提供具有優(yōu)異特性的蒸鍍掩模20。
[0134](蒸鍍方法)
[0135]接著，對使用所得到的蒸鍍掩模20將蒸鍍材料蒸鍍于基板92上的方法進(jìn)行說明。首先，如圖2所示，使蒸鍍掩模20與基板92密合。此時(shí)，將蒸鍍掩模20張緊設(shè)于框架15上，從而使蒸鍍掩模20的面平行于基板92的面。在此，根據(jù)本實(shí)施方式，使用了基于寬度方向D2的延伸差率而預(yù)先篩選出的長金屬板64。因此，與未實(shí)施這樣的篩選的情況相比，各蒸鍍掩模20的長度的偏差得到均勻地降低，進(jìn)而有效區(qū)域22的各貫通孔25的間距的偏差得到均勻地降低。因此，能夠以高的位置精度將蒸鍍材料蒸鍍于基板92上。因此，通過蒸鍍形成有機(jī)EL顯示裝置的像素時(shí)，可提高有機(jī)EL顯示裝置的像素的尺寸精度和位置精度。由此，可制作出高精細(xì)的有機(jī)EL顯示裝置。
[0136]需要說明的是，在上述的本實(shí)施方式中，示出的例子中，在沒有將長金屬板64在長度方向切斷的情況下來算出長金屬板64的寬度方向D2的各位置處的長金屬板64的長度。但是，并不限于此，也可以將長金屬板64在長度方向切掉成適當(dāng)?shù)拈L度后，在寬度方向D2的各位置算出切斷后的金屬板的長度，基于該結(jié)果來實(shí)施金屬板的篩選。
[0137]另外，本實(shí)施方式中，示出的例子中，金屬板21的第I面21a在有效區(qū)域22的整個(gè)區(qū)域被蝕刻。但是，并不限于此，也可以僅在有效區(qū)域22的一部分將金屬板21的第I面21a蝕刻。
[0138]實(shí)施例
[0139]下面，通過實(shí)施例更具體地說明本發(fā)明，本發(fā)明只要不超出其要點(diǎn)就不限定于以下的實(shí)施例的記載。
[0140](第I樣品)
[0141]首先，對含有因瓦合金材料的母材實(shí)施上述的軋制工序和退火工序，從而制造長金屬板卷取而成的卷繞體(第I卷繞體)。其后，使用剪床將第I卷繞體的前端部切去，從而如圖21所示，得到由寬度為500mm、投影長度為700mm的金屬板構(gòu)成的第I樣品100。需要說明的是，“投影長度”是指從正上方觀察金屬板的情況下、即無視金屬板的起伏形狀的情況下的金屬板的長度(軋制方向的尺寸)。此外，第I樣品100的寬度是指寬度方向的第I樣品100的一對端部101、102之間的距離。第I樣品100的一對端部101、102經(jīng)過切斷工序而形成的部分，在該切斷工序中，將通過軋制工序和退火工序得到的金屬板的寬度方向的兩端切掉預(yù)定范圍，該一對端部101、102大致筆直地延伸。
[0142]接著，如圖21所示，將第I樣品100水平放置于平臺110上。此時(shí)，按照在第I樣品100中不產(chǎn)生局部凹陷的方式將第I樣品100輕輕地放置在平臺110上。接著，在第I樣品100的一個(gè)端部101，測定投影長度500mm的區(qū)域的第I樣品100的實(shí)際長度、即考慮了起伏形狀的長度。需要說明的是，投影長度500_的區(qū)域是指從投影長度700_的第I樣品100中去除處于距樣品I的長度方向的兩端103、104為10mm以內(nèi)的區(qū)域而得到的區(qū)域。將處于距兩端103、104為10mm以內(nèi)的區(qū)域從測定對象中去除是為了防止基于剪床的切斷所致的第I樣品100的歪斜的影響會(huì)波及長度的測定結(jié)果。圖21中，投影長度500mm的區(qū)域以點(diǎn)劃線示出。
[0143]測定中，圖21中如箭頭s所示，將利用激光的測距裝置沿著第I樣品100的長度方向?qū)Φ贗樣品100進(jìn)行相對移動(dòng)，以Imm間隔測定長度方向的第I樣品100的一個(gè)端部101的表面的高度位置。另外，描繪出將各測定點(diǎn)間平滑連接而成的曲線，其后，算出該曲線的長度。作為用于測定第I樣品100的表面的高度位置的測距裝置，使用了作為激光顯微鏡的Lasertec株式會(huì)社制造的OPTELICS H1200。需要說明的是，測定時(shí)被移動(dòng)的要素可以是測距裝置或第I樣品100的任一者，但是此處，使用500mmX500mm的自動(dòng)臺作為載置第I樣品100的平臺，從而使樣品100移動(dòng)而進(jìn)行了測定。在XY方向的自動(dòng)臺的控制中利用了激光干涉計(jì)。如此，測定了一個(gè)端部101的第I樣品100的長度。
[0144]接著，在從一個(gè)端部101向另一個(gè)端部102側(cè)位移20mm的位置，同樣地測定第I樣品100的長度。通過一邊以預(yù)定的間距P改變第I樣品100的寬度方向的位置一邊反復(fù)實(shí)施上述測定，從而對寬度方向的各位置的第I樣品的長度進(jìn)行測定。在此，設(shè)間距P為20mm。所得到的測定結(jié)果包含一個(gè)端部101的長度的測定結(jié)果、另一個(gè)端部102的長度的測定結(jié)果、和在中央部分的長度的測定結(jié)果、以及在中央部分與端部101、102之間的長度的測定結(jié)果。需要說明的是，在以一個(gè)端部101為基準(zhǔn)的情況下，中央部分為距離一個(gè)端部101為150mm以上且350mm以下的范圍內(nèi)的部分。需要說明的是，寬度方向的測定位置如下設(shè)定:在第I樣品100的中央部、即距離一個(gè)端部101和另一個(gè)端部為相等的位置實(shí)施長度的測定。
[0145]接著，將在寬度方向的各位置得到的第I樣品100的長度的最小值設(shè)定為基準(zhǔn)長度。其后，將寬度方向的各位置的第I樣品100的長度與基準(zhǔn)長度之差相對于基準(zhǔn)長度的比例算作延伸差率。結(jié)果，一個(gè)端部101的延伸差率為79.9X 10_5、另一個(gè)端部102的延伸差率為71.2 X 10_5、中央部分的各位置的延伸差率的最大值為15.8X 10_5。
[0146]將第I樣品100的延伸差率的計(jì)算結(jié)果與上述條件(I)?(3)進(jìn)行對照，結(jié)果，在第I樣品100中，滿足條件(3)，但不滿足條件⑴和⑵。因此，判定第I樣品100不能作為用于制造蒸鍍掩模的材料進(jìn)行使用。
[0147]另外，使用得到上述的第I樣品100的第I卷繞體的金屬板，制造多個(gè)沿著長度方向設(shè)置有5個(gè)有效區(qū)域的蒸鍍掩模。各蒸鍍掩模的各有效區(qū)域中以規(guī)則的排列形成有大量的貫通孔。接著，為了評價(jià)所得到的蒸鍍掩模的位置精度，測定各蒸鍍掩模的總間距，并且算出總間距的偏差程度。
[0148]在此，總間距是指蒸鍍掩模中的預(yù)定的2點(diǎn)間距離。只要能夠評價(jià)蒸鍍掩模的位置精度，對于2點(diǎn)的設(shè)定部位并無特別限定，在此，對在位于蒸鍍掩模的一端側(cè)的有效區(qū)域的附近所形成的預(yù)定的標(biāo)記、與在位于蒸鍍掩模的另一端側(cè)的有效區(qū)域的附近所形成的預(yù)定的標(biāo)記之間的距離進(jìn)行測定，作為總間距。該情況下的總間距在設(shè)計(jì)上為約600mm。
[0149]作為總間距的偏差程度的指標(biāo)，利用對各蒸鍍掩模的總間距的測定值的標(biāo)準(zhǔn)偏差(σ )乘以3而得到的值、所謂3σ。由第I卷繞體得到的蒸鍍掩模的總間距的測定值的偏差(3σ)為35.2μπι。需要說明的是，算出標(biāo)準(zhǔn)偏差(σ)時(shí)的η數(shù)按照在后述的與各樣品之間進(jìn)行比較的基礎(chǔ)上標(biāo)準(zhǔn)偏差(σ)的值具有充分的可靠性的方式進(jìn)行設(shè)定。具體地說，設(shè)η數(shù)為400。
[0150](第2樣品)
[0151]通過切去與上述第I卷繞體不同的第2卷繞體的前端部，得到由寬500mm、投影長度700_的金屬板構(gòu)成的第2樣品。接著，與上述第I樣品的情況同樣地在寬度方向的各位置測定第2樣品的長度，并且算出延伸差率。結(jié)果，一個(gè)端部的延伸差率為24.7 X 10_5、另一個(gè)端部的延伸差率為29.8 X 10_5、中央部分的各位置的延伸差率的最大值為1.0X10_5。
[0152]將第2樣品的延伸差率的計(jì)算結(jié)果與上述的條件(I)?(3)進(jìn)行對照，結(jié)果，在第2樣品中，滿足條件(I)和(3)，但不滿足條件(2)。因此判定第2樣品為不能作為用于制造蒸鍍掩模的材料而進(jìn)行使用。
[0153]另外，與上述第I樣品的情況同樣地，使用第2卷繞體的金屬板，制造多個(gè)設(shè)置有大量貫通孔的蒸鍍掩模。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，測定所得到的各蒸鍍掩模的總間距，并且算出總間距的測定值的偏差(3(0。結(jié)果，3σ的值為16.Ιμπι。
[0154](第3樣品)
[0155]通過切去與上述第I卷繞體和第2卷繞體不同的第3卷繞體的前端部，得到由寬500_、投影長度700_的金屬板構(gòu)成的第3樣品。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，在寬度方向的各位置測定第3樣品的長度，并且算出延伸差率。結(jié)果，一個(gè)端部的延伸差率為18.1 X 10_5、另一個(gè)端部的延伸差率為19.0X 10_5、中央部分的各位置的延伸差率的最大值為 13.2 X 1(Γ50
[0156]將第3樣品的延伸差率的計(jì)算結(jié)果與上述條件(I)?(3)進(jìn)行對照，結(jié)果，在第3樣品中，滿足條件(2)和(3)，但不滿足條件(I)。因此判定第3樣品不能作為用于制造蒸鍍掩模的材料而進(jìn)行使用。
[0157]另外，與上述第I樣品的情況同樣地，使用第3卷繞體的金屬板，制造多個(gè)設(shè)置有大量貫通孔的蒸鍍掩模。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，測定所得到的各蒸鍍掩模的總間距，并且算出總間距的測定值的偏差(3(0。結(jié)果，3σ的值為14.2μπι。
[0158](第4樣品)
[0159]通過切去與上述第I卷繞體?第3卷繞體不同的第4卷繞體的前端部，得到由寬500_、投影長度700_的金屬板構(gòu)成的第4樣品。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，在寬度方向的各位置測定第4樣品的長度，并且算出延伸差率。結(jié)果，一個(gè)端部的延伸差率為26.8 X 10_5、另一個(gè)端部的延伸差率為18.6Χ 10_5、中央部分的各位置的延伸差率的最大值為 3.9Χ10_5。
[0160]將第4樣品的延伸差率的計(jì)算結(jié)果與上述條件(I)?(3)進(jìn)行對照，結(jié)果，在第4樣品中滿足條件(I)和(3)，但不滿足條件(2)。因此判定第4樣品不能作為用于制造蒸鍍掩模的材料而進(jìn)行使用。
[0161]另外，與上述第I樣品的情況同樣地，使用第4卷繞體的金屬板，制造多個(gè)設(shè)置有大量貫通孔的蒸鍍掩模。接著，與上述第I樣品的情況同樣地，測定所得到的各蒸鍍掩模的總間距，并且算出總間距的測定值的偏差(3(0。結(jié)果，3σ的值為13.5μπι。
[0162](第5樣品)
[0163]通過切去與上述第I卷繞體?第4卷繞體不同的第5卷繞體的前端部，得到由寬500_、投影長度700_的金