金屬板、金屬板的制造方法、和使用金屬板制造蒸鍍掩模的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及通過形成2個(gè)以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模的金屬板。本發(fā)明還涉及金屬板的制造方法。此外，本發(fā)明還涉及使用金屬板制造用于以所期望的圖案進(jìn)行蒸鍍的蒸鍍掩模的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，對于智能手機(jī)和平板電腦等可攜帶器件中使用的顯示裝置，要求高精細(xì)、例如像素密度為300ppi以上。另外，可攜帶器件中，在對應(yīng)全高清上的需要正在提高，這種情況下，顯示裝置的像素密度要求為例如450ppi以上。
[0003]由于響應(yīng)性好、耗電低，有機(jī)EL顯示裝置受到矚目。作為有機(jī)EL顯示裝置的像素形成方法，已知的方法是，使用包含以所期望的圖案排列的貫通孔的蒸鍍掩模，以所期望的圖案形成像素。具體地說，首先，使蒸鍍掩模密合于有機(jī)EL顯示裝置用的基板，接著，將密合的蒸鍍掩模和基板一同投入蒸鍍裝置，進(jìn)行有機(jī)材料等的蒸鍍。蒸鍍掩模一般如下制造得到:通過利用了照相平版印刷技術(shù)的蝕刻而在金屬板形成貫通孔，從而制造上述蒸鍍掩膜(例如專利文獻(xiàn)I)。例如，首先，在金屬板上形成抗蝕劑膜，接著在使曝光掩模密合于抗蝕劑膜的狀態(tài)下將抗蝕劑膜曝光以形成抗蝕劑圖案，其后，將抗蝕劑圖案作為掩模對金屬板進(jìn)行蝕刻，從而形成貫通孔。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2004-39319號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]使用蒸鍍掩模在基板上進(jìn)行蒸鍍材料的成膜的情況下，不僅基板，蒸鍍掩模也附著有蒸鍍材料。例如，蒸鍍材料中也存在沿著相對于蒸鍍掩模的法線方向大幅傾斜的方向而飛向基板的蒸鍍材料，這樣的蒸鍍材料在到達(dá)基板前會到達(dá)蒸鍍掩模的貫通孔的壁面從而附著。這種情況下，可以認(rèn)為，蒸鍍材料難以附著在基板中的位于蒸鍍掩模的貫通孔的壁面附近的區(qū)域，其結(jié)果，附著的蒸鍍材料的厚度比其他部分小、或者產(chǎn)生未附著蒸鍍材料的部分。即，可以認(rèn)為，蒸鍍掩模的貫通孔的壁面附近的蒸鍍不穩(wěn)定。因此，在胃里形成有機(jī)EL顯示裝置的像素而使用蒸鍍掩模的情況下，像素的尺寸精度和位置精度降低，其結(jié)果，導(dǎo)致有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光效率降低。
[0008]為了解決這樣的問題，考慮將用于制造蒸鍍掩模的金屬板的厚度減薄。這是因?yàn)椋ㄟ^減小金屬板的厚度，可使蒸鍍掩模的貫通孔的壁面的高度變小，由此，可降低蒸鍍材料中的附著于貫通孔壁面上的蒸鍍材料的比例。但是，為了得到厚度小的金屬板，在軋制母材來制造金屬板時(shí)需要加大軋制率。在此，乳制率是指利用(母材的厚度-金屬板)/(母材的厚度)算出的值。軋制后實(shí)施了退火等熱處理的情況下，通常軋制率越大，基于軋制的變形的不均勻程度也越大。例如，根據(jù)寬度方向(與母材的傳送方向正交的方向)的位置，金屬板的延伸率不同，其結(jié)果，金屬板出現(xiàn)起伏形狀，這是眾所周知的。具體地說，可以舉出:在寬度方向的端部的起伏的形狀，其被稱為波浪邊；在寬度方向的中央部的起伏形狀，其被稱為中間波紋。若出現(xiàn)這樣的起伏形狀，則不能使曝光掩模充分密合于金屬板上的抗蝕劑膜，其結(jié)果，可以認(rèn)為在金屬板上形成的貫通孔的位置精度和尺寸精度會降低。若貫通孔的位置精度和尺寸精度降低，則通過使用蒸鍍掩模而得到的有機(jī)EL顯示裝置的像素的尺寸精度和位置精度會降低。
[0009]另外，為了削減蒸鍍掩模的制造成本，首先，眾所周知的是，在金屬板的整個(gè)區(qū)域形成2個(gè)以上的與一個(gè)有機(jī)EL顯示裝置對應(yīng)的包含2個(gè)以上貫通孔的有效區(qū)域，其后，沿著金屬板的長度方向?qū)⒔饘侔迩袛酁?個(gè)以上，由此，一次制作出2個(gè)以上的細(xì)長狀蒸鍍掩模。但是，金屬板的延伸率根據(jù)寬度方向的位置而不同的情況下，切斷后得到的2個(gè)以上細(xì)長狀蒸鍍掩模的長度不同。這種情況下，蒸鍍掩模的有效區(qū)域的各貫通孔的間距在各蒸鍍掩模中也不同，其結(jié)果，也可以認(rèn)為，通過使用蒸鍍掩模而得到的有機(jī)EL顯示裝置的像素的尺寸和位置因個(gè)體的不同而出現(xiàn)偏差。
[0010]本發(fā)明的目的是提供可有效解決這樣的問題的金屬板、金屬板的制造方法和蒸鍍掩模的制造方法。
[0011]第I的本發(fā)明涉及一種金屬板的制造方法，該金屬板通過形成2個(gè)以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模，其中，上述蒸鍍掩模的上述貫通孔通過對上述金屬板進(jìn)行蝕刻而形成，
[0012]上述金屬板的制造方法具備下述工序:軋制工序，在該工序中，對母材進(jìn)行軋制而得到上述金屬板；和切斷工序，在該工序中，以預(yù)定范圍切掉上述金屬板的寬度方向的兩端，上述切斷工序后的上述金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長度方向的長度對應(yīng)其寬度方向的位置而有所不同；將上述切斷工序后的上述金屬板的上述長度的最小值稱為基準(zhǔn)長度，將上述切斷工序后的上述金屬板的寬度方向的各位置處的上述金屬板的上述長度與上述基準(zhǔn)長度之差相對于上述基準(zhǔn)長度的比例稱為延伸差率時(shí)，滿足以下條件⑴?(3)，
[0013](I)上述切斷工序后的上述金屬板的寬度方向的中央部分的上述延伸差率為10Χ1(Γ5以下；
[0014](2)上述切斷工序后的上述金屬板的寬度方向的端部的上述延伸差率為20X10_5以下；和
[0015](3)上述端部的上述延伸差率大于上述中央部分的上述延伸差率的最大值；
[0016]上述中央部分包括上述切斷工序后的上述金屬板的寬度方向的中央部，其是占上述金屬板的寬度的40%的部分。
[0017]基于本發(fā)明的金屬板的制造方法可以進(jìn)一步具備退火工序，在該工序中，將通過上述軋制工序所得到的上述金屬板退火，以除去上述金屬板的內(nèi)部應(yīng)力。
[0018]在基于本發(fā)明的金屬板的制造方法中，上述退火工序可以一邊在長度方向拉伸上述金屬板一邊實(shí)施。
[0019]在基于本發(fā)明的金屬板的制造方法中，上述退火工序可以在上述金屬板卷取于芯材上的狀態(tài)下實(shí)施。
[0020]在基于本發(fā)明的金屬板的制造方法中，優(yōu)選上述母材的熱膨脹系數(shù)與基板的熱膨脹系數(shù)同等，該基板上隔著由上述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。
[0021]在基于本發(fā)明的金屬板的制造方法中，上述母材可以含有因瓦合金材料。
[0022]第2的本發(fā)明涉及一種金屬板，該金屬板是通過形成2個(gè)以上貫通孔而用于制造蒸鍍掩模的金屬板，其中，上述金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長度方向的長度對應(yīng)其寬度方向的位置而有所不同，將上述金屬板的上述長度的最小值稱為基準(zhǔn)長度，將上述金屬板的寬度方向的各位置處的上述金屬板的上述長度與上述基準(zhǔn)長度之差相對于上述基準(zhǔn)長度的比例稱為延伸差率時(shí)，滿足以下條件(I)?(3)，
[0023](I)上述金屬板的寬度方向的中央部分的上述延伸差率為10X10_5以下；
[0024](2)上述金屬板的寬度方向的端部的上述延伸差率為20X 10_5以下；和
[0025](3)上述端部的上述延伸差率大于上述中央部分的上述延伸差率的最大值；
[0026]上述中央部分包括上述金屬板的寬度方向的中央部，其是占上述金屬板的寬度的40%的部分。
[0027]基于本發(fā)明的金屬板的熱膨脹系數(shù)優(yōu)選與基板的熱膨脹系數(shù)為同等的值，該基板上隔著由上述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。
[0028]基于本發(fā)明的金屬板可以含有因瓦合金材料。
[0029]第3的本發(fā)明涉及一種蒸鍍掩模的制造方法，該蒸鍍掩模具備形成有2個(gè)以上貫通孔的有效區(qū)域、和位于上述有效區(qū)域的周圍的周圍區(qū)域，其中，該制造方法包括下述工序:
[0030]準(zhǔn)備金屬板的工序，該金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀由于該金屬板的長度方向的長度對應(yīng)其寬度方向的位置而有所不同；
[0031]抗蝕劑圖案形成工序，該工序中，在上述金屬板上形成抗蝕劑圖案；和
[0032]蝕刻工序，該工序中，將上述抗蝕劑圖案作為掩模對上述金屬板進(jìn)行蝕刻，在用于形成上述有效區(qū)域的上述金屬板的區(qū)域內(nèi)形成用于劃出上述貫通孔的凹部；
[0033]將上述金屬板的上述長度的最小值稱為基準(zhǔn)長度，將上述金屬板的寬度方向的各位置處的上述金屬板的上述長度與上述基準(zhǔn)長度之差相對于上述基準(zhǔn)長度的比例稱為延伸差率時(shí)，滿足以下條件(I)?(3)，
[0034](I)上述金屬板的寬度方向的中央部分的上述延伸差率為10X10_5以下；
[0035](2)上述金屬板的寬度方向的端部的上述延伸差率為20X 10_5以下；和
[0036](3)上述端部的上述延伸差率大于上述中央部分的上述延伸差率的最大值；
[0037]上述中央部分包括上述金屬板的寬度方向的中央部，其是占上述金屬板的寬度的40%的部分。
[0038]在基于本發(fā)明的蒸鍍掩模的制造方法中，其中，上述抗蝕劑圖案形成工序可以具有:在上述金屬板上形成抗蝕劑膜的工序、使曝光掩模與上述抗蝕劑膜真空密合的工序、和隔著上述曝光掩模將上述抗蝕劑膜以預(yù)定的圖案曝光的工序。
[0039]在基于本發(fā)明的蒸鍍掩模的制造方法中，優(yōu)選上述金屬板的熱膨脹系數(shù)與基板的熱膨脹系數(shù)為同等的值，該基板上隔著由上述金屬板制造的蒸鍍掩模而成膜有蒸鍍材料。
[0040]在基于本發(fā)明的蒸鍍掩模的制造方法中，上述金屬板可以含有因瓦合金材料。
[0041]根據(jù)本發(fā)明，可得到起伏形狀的程度小、且有效區(qū)域的各貫通孔間距的偏差也小的蒸鍍掩模。因此，可提高附著于基板上的蒸鍍材料的尺寸精度和位置精度。
【附圖說明】
[0042]圖1為用于說明本發(fā)明的一實(shí)施方式的圖，為示出包含蒸鍍掩模的蒸鍍掩模裝置的一例的示意性俯視圖。
[0043]圖2為用于說明使用圖1所示的蒸鍍掩模裝置進(jìn)行蒸鍍的方法的圖。
[0044]圖3為不出圖1所不的蒸鍍掩模的部分俯視圖。
[0045]圖4為沿著圖3的IV-1V線的截面圖。
[0046]圖5為沿著圖3的V-V線的截面圖。
[0047]圖6為沿著圖3的V1-VI線的截面圖。
[0048]圖7(a)為示出通過軋制母材而得到具有所期望的厚度的金屬板的工序的圖，圖7(b)為示出對通過軋制而得到的金屬板進(jìn)行退火的工序的圖。
[0049]圖8為示出通過圖7(a)、(b)所示的工序得到的金屬板的立體圖。
[0050]圖9 (a)、(b)、(c)、(d)分別為沿著圖8的a_a線、b_b線、c_c線和d_d線的截面圖。
[0051]圖10為示出金屬板的寬度方向的各位置處的延伸差率的圖。
[0052]圖11為用于對圖1所示的蒸鍍掩模的制造方法的一例進(jìn)行整體說明的示意圖。