激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法
【技術(shù)領域】
[0001] 本發(fā)明屬于光伏產(chǎn)業(yè)的白缺陷修補技術(shù)領域，具體涉及一種激光氣相沉積方式修 補白缺陷的方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 激光氣相沉積技術(shù)廣泛用于鉻版等光伏產(chǎn)業(yè)的白缺陷修補，目前技術(shù)為step單 光斑激光氣相沉積技術(shù)，對狹縫slit范圍內(nèi)激光能量的均勻性有較高的要求，因此不適用 于較大尺寸的白缺陷修補，且其修補黑度和粘附力略有不足，難以滿足高標準要求產(chǎn)品的 制作要求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明實施例的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的上述不足，提供一種激光氣相沉積方式 修補白缺陷的方法，可以修補大尺寸的白缺陷。
[0004] 為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明實施例的技術(shù)方案如下：
[0005] -種激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法，包括：
[0006] 在靠近所述白缺陷的一角設置修補起點，在靠近所述白缺陷的所述修補起點的對 角設置修補終點，使得在所述白缺陷所在平面上，以所述修補起點沿橫向延伸的直線、所述 修補起點沿縱向延伸的直線、所述修補終點沿橫向延伸的直線、所述修補終點沿縱向延伸 的直線圍成的區(qū)域為掃描修補區(qū)域，所述白缺陷完全位于所述掃描修補區(qū)域內(nèi)；
[0007] 采用激光氣相沉積方式在所述掃描修補區(qū)域內(nèi)從所述修補起點掃描修補至所述 修補終點，使所述白缺陷表面完全覆蓋修補薄膜完成所述修補。
[0008] 本發(fā)明實施例的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法，通過掃描修補的方式，相 對于現(xiàn)有技術(shù)中單光斑修復方式（點修復），可以修補大尺寸的白缺陷。
【附圖說明】
[0009] 圖1為本發(fā)明實施例的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法的流程圖；
[0010] 圖2為本發(fā)明實施例1的修補前的白缺陷的示意圖；
[0011] 圖3為本發(fā)明實施例1的采用激光氣相沉積方式修補后的白缺陷的示意圖。
【具體實施方式】
[0012] 為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖和實施例，對 本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并 不用于限定本發(fā)明。
[0013] 本發(fā)明實施例提供了 一種激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法。該修復方法通過 激光氣相沉積技術(shù)使掃描修補氣體沉積到白缺陷處完成修補。該方法適用于在以玻璃作為 基板的表面上鍍有金屬層的白缺陷的修補。激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法依靠在 載板平臺上分別安裝用于氣相沉積的蒸汽供給排放系統(tǒng)和激光光路系統(tǒng)，在激光光路系統(tǒng) LCVD頭處由激光照射LCVD頭吹向待修復板的蒸汽，將該蒸汽粘附在待修復板上的白缺陷 處。
[0014] 如圖1所示，為本發(fā)明實施例的激光氣相沉積方式修補白缺陷的方法的流程圖。 該方法具體包括如下的步驟：
[0015] 步驟S01 :在靠近白缺陷的一角設置修補起點，在靠近白缺陷的修補起點的對角 設置修補終點，使得在白缺陷所在平面上，以修補起點沿橫向延伸的直線、修補起點沿縱向 延伸的直線、修補終點沿橫向延伸的直線、修補終點沿縱向延伸的直線圍成的區(qū)域為掃描 修補區(qū)域，白缺陷完全位于該掃描修補區(qū)域內(nèi)。
[0016] 其中，修補起點沿縱向延伸的直線距與其相鄰的白缺陷的一側(cè)的距離為10~ 20 ym，修補起點沿橫向延伸的直線距與其相鄰的白缺陷的一側(cè)的距離為5~10 ym ;修補 終點沿縱向延伸的直線距與其相鄰的白缺陷的一側(cè)的距離為10~20 ym，修補終點沿橫向 延伸的直線距與其相鄰的白缺陷的一側(cè)的距離為5~10 ym。上述的"距與其相鄰的白缺 陷的一側(cè)的距離"在此處具體指的是"該側(cè)與直線最接近的一點與直線之間的距離"。
[0017] 上述修補起點、修補終點和掃描修補區(qū)域的設置，使得修補薄膜可以完全覆蓋白 缺陷，不會使修補產(chǎn)生遺漏的白缺陷；同時，由于覆蓋修補薄膜的非白缺陷區(qū)域較小，不會 影響其正常的功能，也不會造成材料的浪費。
[0018] 步驟S02 :采用激光氣相沉積方式在掃描修補區(qū)域內(nèi)從修補起點掃描修補至修補 終點，使白缺陷表面完全覆蓋修補薄膜完成修補。
[0019] 從掃描開始就同時進行抽廢氣，該抽廢氣的過程包括抽走并加熱廢氣使廢氣便于 排放。抽走廢氣的流量為16~20L/min。具體的加熱溫度可以根據(jù)廢氣的成分具體確定。 例如，當廢氣為鉻蒸汽時，加熱廢氣的溫度為300°C。由于在激光氣相沉積的過程中，不可避 免有多余的修補氣體沉積到白缺陷表面造成修補后的白缺陷平整度低，因此，需要在掃描 修補的同時抽走多余的修補氣體。
[0020] 步驟S02的具體過程包括：
[0021] 步驟S021A :從修補起點沿橫向掃描修補至掃描修補區(qū)域的另一側(cè)，在經(jīng)過的區(qū) 域的表面覆蓋一層薄膜。
[0022] 步驟S022A :從修補起點沿縱向移動一行，沿橫向從掃描修補區(qū)域的一側(cè)掃描修 補至掃描修補區(qū)域的另一側(cè)，在經(jīng)過的區(qū)域的表面覆蓋一層薄膜。
[0023] 步驟S023A :重復步驟S022A直到掃描修補到修補終點。
[0024] 應當理解的是，上述的掃描修補方式也可以是沿縱向修補，則步驟S02的具體過 程包括：
[0025] 步驟S021B :從修補起點沿縱向掃描修補至掃描修補區(qū)域的另一側(cè)，在經(jīng)過的區(qū) 域的表面覆蓋一層薄膜。
[0026] 步驟S022B :從修補起點沿橫向移動一列，沿縱向從掃描修補區(qū)域的一側(cè)掃描修 補至掃描修補區(qū)域的另一側(cè)，在經(jīng)過的區(qū)域的表面覆蓋一層薄膜。
[0027] 步驟S023B :重復步驟S022B直到掃描修補到修補終點。
[0028] 上述掃描修補方式在每掃描一行或者一列后，回到該行或者列的掃描修補的起 點，再移動到下一行或者列繼續(xù)掃描，不采用來回往復掃描的方式。本發(fā)明的技術(shù)方案的掃 描修補的移動方式使得掃描修補的過程易于控制。由于在掃描修補的過程中還伴隨有抽廢 氣的過程，抽廢氣的方向是固定的，因此，采用上述的移動方向可以使掃描修補的過程和抽 廢氣的過程不會相互影響，從而不會影響掃描修補的過程。
[0029] 具體地，采用橫向掃描方式時，相鄰兩行修補薄膜的沿縱向的重疊區(qū)域的尺寸為 2~4 ym，優(yōu)選為3 ym ;采用縱向掃描方式時，相鄰兩列修補薄膜的沿橫向的重疊區(qū)域的尺 寸為2~4 y m，優(yōu)選為3 y m。該參數(shù)的設置使得掃描修補過程中不會遺漏任何的白缺陷區(qū) 域，同時重疊區(qū)域的尺寸較小，不會造成材料的浪費。
[0030] 具體地，掃描修補的速度為7~11 y m/s。該掃描修補的速度保證了適合的修補區(qū) 域的能量，過快的修補速度會因為修補區(qū)域能量過低導致粘附力不佳和欠修補，過慢的修 補速度則會因為修補區(qū)域能量過高而導致修補點裂紋和凸起翹起等問題。掃描修補的過程 中激光功率為1. 8~2. 2mw，激光功率過大會因為修補區(qū)域能量過高而導致修補點裂紋和 凸起翹起等問題，激光功率過小會因為修補區(qū)域能量過低導致粘附力不佳和欠修補。載流 氣體