本技術(shù)屬于超精密加工，具體涉及一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件。

背景技術(shù)：

1、隨著半導(dǎo)體工業(yè)飛速發(fā)展，電子器件的尺寸越來越小，對晶片表面的粗糙度、ttv(總厚度偏差)、平整度等表面精度指標(biāo)的要求越來越高。

2、在晶圓拋光時，需要用到雙面拋光機，游星輪作為雙面研磨拋光設(shè)備工作過程中的加工載具，廣泛應(yīng)用于壓電晶體，光學(xué)玻璃加工、藍寶石加工、陶瓷加工等行業(yè)，是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)活動中不可或缺的生產(chǎn)耗材。

3、現(xiàn)有技術(shù)的雙面拋光機在使用過程中，如圖1所示，游星輪1放置在研磨拋光盤上并與外齒圈2和中軸太陽輪3嚙合，現(xiàn)有大部分生產(chǎn)企業(yè)為追求產(chǎn)量，通常根據(jù)雙面研磨拋光設(shè)備的盤面大小，盡可能地將產(chǎn)品布滿于游星輪的產(chǎn)品安裝區(qū)域4中，產(chǎn)品的研拋軌跡在一定時間內(nèi)為固定單一的，導(dǎo)致其并不能與理想的研磨拋光軌跡相吻合，進而使產(chǎn)品雙面加工后厚度分布不均、產(chǎn)品表面平面度較差，從而無法很好地得到高平面度的產(chǎn)品。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型要解決的技術(shù)問題是：針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，能夠適用于高平面度石英基板的制作，可有效降低基板厚度偏差，提高產(chǎn)品加工良率。

2、本實用新型為解決上述技術(shù)問題所采取的技術(shù)方案為：

3、一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，所述游星輪組件設(shè)于雙面研磨拋光設(shè)備的盤面上，且嚙合于設(shè)備中軸太陽輪和外齒圈之間，其主要包括：游星輪本體5和游星輪套環(huán)8，所述游星輪本體5開設(shè)有與所述游星輪套環(huán)8尺寸相適配的型腔孔6，且游星輪本體5上圍繞型腔孔6的外圈開設(shè)有多個布液孔7；所述游星輪套環(huán)8中部開設(shè)有用于安裝待加工方形石英基板12的方形內(nèi)腔9；所述游星輪套環(huán)8可自由旋轉(zhuǎn)的安裝于所述型腔孔6內(nèi)，所述游星輪本體5既可繞所述中軸太陽輪公轉(zhuǎn)，又可在所述中軸太陽輪和外齒圈的帶動下進行自轉(zhuǎn)。

4、進一步的，所述游星輪本體5采用環(huán)氧樹脂板或聚四氟乙烯板材料，所述游星輪套環(huán)8采用聚四氟乙烯板材料，降低基板產(chǎn)品與套環(huán)磕碰及劃傷風(fēng)險。

5、進一步的，所述方形內(nèi)腔9的尺寸與所述待加工方形石英基板12相適配，且所述方形內(nèi)腔9的四條邊中部均設(shè)有弧形缺口10，所述方形內(nèi)腔9的四個角均設(shè)有逃逸孔11。

6、進一步的，所述多個布液孔7圍繞所述型腔孔6的外圈均勻布設(shè)，且遠離型腔孔6的布液孔直徑大于靠近型腔孔6的布液孔直徑。

7、進一步的，所述型腔孔6的內(nèi)壁與所述游星輪套環(huán)8的外壁均為滑面，所述型腔孔6與所述游星輪套環(huán)8形成旋轉(zhuǎn)配合。

8、進一步的，所述型腔孔6的直徑大于所述多個布液孔7的直徑。

9、進一步的，所述弧形缺口10的長度為所述方形內(nèi)腔9邊長的二分之一。

10、進一步的，所述逃逸孔11的尺寸與所述待加工方形石英基板12的邊角倒角尺寸相適配。

11、本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下主要的優(yōu)點：

12、1、本實用新型通過對游星輪組件的結(jié)構(gòu)進行設(shè)計，采用游星輪本體和游星輪套環(huán)相配合，使游星輪在設(shè)備拋光盤面內(nèi)既圍繞設(shè)備中軸公轉(zhuǎn)，又在中軸齒與外齒圈的帶動下進行游星輪自轉(zhuǎn)，且方形石英基板在游星輪內(nèi)亦可自由旋轉(zhuǎn)，從而實現(xiàn)方形基板產(chǎn)品在設(shè)備工作盤面內(nèi)無規(guī)律自由旋轉(zhuǎn)研磨拋光，避免固定單一的研拋軌跡，滿足石英基板表面高平面度需求，可用于高精度方形基板雙面研磨拋光；

13、2、本實用新型通過對游星輪組件進行材料選型，選用環(huán)氧樹脂板及聚四氟乙烯板二者搭配，能夠有效降低游星輪與石英基板外形輪廓接觸區(qū)域的異?？呐黾皠潅L(fēng)險，且游星輪套環(huán)的方形內(nèi)腔四邊開設(shè)弧形缺口，四角開設(shè)逃逸孔，能夠使石英基板外形輪廓與游星輪接觸區(qū)域盡可能減少且便于產(chǎn)品取放；

14、3、本實用新型有利于產(chǎn)品的上下取料，游星輪本體無需取出與盤面，僅需從套環(huán)中弧形缺口處將產(chǎn)品放取即可，能夠減少游星輪上下盤面頻次，降低引入其他污染物的風(fēng)險，減少拋光劃傷等疵病的產(chǎn)生。

技術(shù)特征：

1.一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，所述游星輪組件設(shè)于雙面研磨拋光設(shè)備的盤面上，且嚙合于設(shè)備中軸太陽輪和外齒圈之間，其特征在于，包括游星輪本體(5)和游星輪套環(huán)(8)，所述游星輪本體(5)開設(shè)有與所述游星輪套環(huán)(8)尺寸相適配的型腔孔(6)，且游星輪本體(5)上圍繞型腔孔(6)的外圈開設(shè)有多個布液孔(7)；所述游星輪套環(huán)(8)中部開設(shè)有用于安裝待加工方形石英基板(12)的方形內(nèi)腔(9)；所述游星輪套環(huán)(8)可自由旋轉(zhuǎn)的安裝于所述型腔孔(6)內(nèi)，所述游星輪本體(5)既可繞所述中軸太陽輪公轉(zhuǎn)，又可在所述中軸太陽輪和外齒圈的帶動下進行自轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，其特征在于：所述游星輪本體(5)采用環(huán)氧樹脂板或聚四氟乙烯板材料，所述游星輪套環(huán)(8)采用聚四氟乙烯板材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，其特征在于：所述方形內(nèi)腔(9)的尺寸與所述待加工方形石英基板(12)相適配，且所述方形內(nèi)腔(9)的四條邊中部均設(shè)有弧形缺口(10)，所述方形內(nèi)腔(9)的四個角均設(shè)有逃逸孔(11)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，其特征在于：所述多個布液孔(7)圍繞所述型腔孔(6)的外圈均勻布設(shè)，且遠離型腔孔(6)的布液孔直徑大于靠近型腔孔(6)的布液孔直徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，其特征在于：所述型腔孔(6)的內(nèi)壁與所述游星輪套環(huán)(8)的外壁均為滑面，所述型腔孔(6)與所述游星輪套環(huán)(8)形成旋轉(zhuǎn)配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，其特征在于：所述型腔孔(6)的直徑大于所述多個布液孔(7)的直徑。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，其特征在于：所述弧形缺口(10)的長度為所述方形內(nèi)腔(9)邊長的二分之一。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件，其特征在于：所述逃逸孔(11)的尺寸與所述待加工方形石英基板(12)的邊角倒角尺寸相適配。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于超精密加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件。通過采用游星輪本體和游星輪套環(huán)相配合，能夠?qū)崿F(xiàn)基板產(chǎn)品在設(shè)備盤面內(nèi)無規(guī)律自由旋轉(zhuǎn)研磨拋光，滿足石英基板表面高平面度需求；通過對游星輪組件進行材料選型，選用環(huán)氧樹脂板及聚四氟乙烯板二者搭配，能夠有效降低游星輪與石英基板外形輪廓接觸區(qū)域的異?？呐黾皠潅L(fēng)險，且游星輪套環(huán)的方形內(nèi)腔四邊開設(shè)弧形缺口，四角開設(shè)逃逸孔，能夠使石英基板外形輪廓與游星輪套環(huán)接觸區(qū)域盡可能減少且便于產(chǎn)品取放，減少游星輪上下盤面頻次，降低引入其他污染物的風(fēng)險，減少拋光劃傷等疵病的產(chǎn)生。

技術(shù)研發(fā)人員：韓曉君,張欣,朱繼紅,李健,葉奔,王俊
受保護的技術(shù)使用者：長飛石英技術(shù)（武漢）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240509
技術(shù)公布日：2024/12/19