本技術(shù)涉及pvd設(shè)備相關(guān)，尤其涉及一種便于更換靶材的裝置。

背景技術(shù)：

1、pvd物理氣相沉積技術(shù)是指在真空條件下采用物理方法將材料源(固體或液體)表面氣化成氣態(tài)原子或分子，或部分電離成離子，并通過(guò)低壓氣體(或等離子體)過(guò)程，在基體表面沉積具有某種特殊功能的薄膜的技術(shù)，物理氣相沉積是主要的表面處理技術(shù)之一。

2、經(jīng)過(guò)海量檢索，發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)公開(kāi)號(hào)為cn212025441u，公開(kāi)了一種組合式pvd鍍膜靶材及pvd鍍膜機(jī)，所述組合式pvd鍍膜靶材包括材質(zhì)不同的靶材本體和底座，所述靶材本體與所述底座分體設(shè)置，所述底座的第一端與所述靶材本體的一端連接，將所述底座與所述靶材本體組合為一體。本實(shí)用新型的組合式pvd鍍膜靶材可以解決現(xiàn)有技術(shù)的脆性靶材與鍍膜機(jī)安裝配合時(shí)存在容易斷裂的問(wèn)題，有助于改善成膜質(zhì)量，提高生產(chǎn)效率并降低成本。

3、綜上所述，現(xiàn)有的磁控濺射裝置上的靶材經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的使用后，靶材表面通過(guò)惰性氣體的作用下，靶材的表面會(huì)凹凸不平，同時(shí)會(huì)造成靶材的不同區(qū)域厚度不同，容易造成支撐筒的外表面出現(xiàn)損傷，并且工作人員在更換靶材的時(shí)候需要拆卸大量的零件，使得工作人員更換靶材比較麻煩，嚴(yán)重的影響了工作人員的工作效率。

4、有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種便于更換靶材的裝置，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種便于更換靶材的裝置。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

3、一種便于更換靶材的裝置，包括腔體、載片臺(tái)和靶材組件，載片臺(tái)和靶材組件均位于腔體內(nèi)，且靶材組件位于載片臺(tái)的下方；

4、靶材組件的底部沿著x軸方向安裝有若干個(gè)活動(dòng)導(dǎo)向組件，活動(dòng)導(dǎo)向組件下方的腔體內(nèi)安裝有沿著x軸方向分布的固定導(dǎo)向組件，活動(dòng)導(dǎo)向組件可在下方的固定導(dǎo)向組件上沿著x軸方向移動(dòng)；

5、腔體沿著x軸正方向一側(cè)的底部設(shè)置有移動(dòng)機(jī)架，移動(dòng)機(jī)架的底部安裝有若干個(gè)移動(dòng)輪，移動(dòng)機(jī)架上靠近頂部的位置安裝有支撐架，支撐架上沿著x軸方向均勻的安裝有若干個(gè)頂升組件，頂升組件可驅(qū)動(dòng)上方的頂升板沿著z軸方向移動(dòng)，頂升板上安裝有沿著x軸方向分布的頂升導(dǎo)向組件，當(dāng)靶材組件沿著x軸的正方向移出腔體時(shí)活動(dòng)導(dǎo)向組件可繼續(xù)在下方的頂升導(dǎo)向組件上沿著x軸方向移動(dòng)。

6、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，移動(dòng)機(jī)架上還設(shè)置有沿著x軸方向分布的導(dǎo)向軸，導(dǎo)向軸沿著x軸正方向的一側(cè)通過(guò)導(dǎo)向軸座安裝在移動(dòng)機(jī)架上，導(dǎo)向軸沿著x軸負(fù)方向的一側(cè)安裝在靶材組件上。

7、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，活動(dòng)導(dǎo)向組件為導(dǎo)向輪，固定導(dǎo)向組件和頂升導(dǎo)向組件均為導(dǎo)向輪槽。

8、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，活動(dòng)導(dǎo)向組件為滑塊，固定導(dǎo)向組件和頂升導(dǎo)向組件均為滑塊槽。

9、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，靶材組件沿著y軸方向兩側(cè)的移動(dòng)機(jī)架上均安裝有護(hù)欄，護(hù)欄通過(guò)護(hù)欄支架沿著x軸方向安裝在移動(dòng)機(jī)架上。

10、作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，頂升組件為液壓缸或者電缸。

11、借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

12、本實(shí)用新型的靶材組件在活動(dòng)導(dǎo)向組件和固定導(dǎo)向組件的作用下可自由出入腔體，之后在活動(dòng)導(dǎo)向組件和頂升導(dǎo)向組件的作用下，使得靶材組件完全從腔體內(nèi)抽出后完成換靶。

13、本實(shí)用新型的在更換靶材組件時(shí)，不需要拆卸大量的零件，更換靶材組件較為方便，工作效率較高。

14、上述說(shuō)明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。

技術(shù)特征：

1.一種便于更換靶材的裝置，包括腔體(1)、載片臺(tái)(2)和靶材組件(3)，所述載片臺(tái)(2)和靶材組件(3)均位于腔體(1)內(nèi)，且所述靶材組件(3)位于載片臺(tái)(2)的下方；

2.如權(quán)利要求1所述的一種便于更換靶材的裝置，其特征在于，所述移動(dòng)機(jī)架(6)上還設(shè)置有沿著x軸方向分布的導(dǎo)向軸(12)，所述導(dǎo)向軸(12)沿著x軸正方向的一側(cè)通過(guò)導(dǎo)向軸座(13)安裝在移動(dòng)機(jī)架(6)上，所述導(dǎo)向軸(12)沿著x軸負(fù)方向的一側(cè)安裝在靶材組件(3)上。

3.如權(quán)利要求1所述的一種便于更換靶材的裝置，其特征在于，所述活動(dòng)導(dǎo)向組件(5)為導(dǎo)向輪，所述固定導(dǎo)向組件(4)和頂升導(dǎo)向組件(11)均為導(dǎo)向輪槽。

4.如權(quán)利要求1所述的一種便于更換靶材的裝置，其特征在于，所述活動(dòng)導(dǎo)向組件(5)為滑塊，所述固定導(dǎo)向組件(4)和頂升導(dǎo)向組件(11)均為滑塊槽。

5.如權(quán)利要求1所述的一種便于更換靶材的裝置，其特征在于，所述靶材組件(3)沿著y軸方向兩側(cè)的移動(dòng)機(jī)架(6)上均安裝有護(hù)欄，所述護(hù)欄通過(guò)護(hù)欄支架沿著x軸方向安裝在移動(dòng)機(jī)架上。

6.如權(quán)利要求1所述的一種便于更換靶材的裝置，其特征在于，所述頂升組件(9)為液壓缸或者電缸。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種便于更換靶材的裝置，包括腔體、載片臺(tái)和靶材組件，載片臺(tái)和靶材組件均位于腔體內(nèi)；靶材組件的底部沿著X軸方向安裝有若干個(gè)活動(dòng)導(dǎo)向組件，活動(dòng)導(dǎo)向組件可在下方的固定導(dǎo)向組件上沿著X軸方向移動(dòng)；當(dāng)靶材組件沿著X軸的正方向移出腔體時(shí)活動(dòng)導(dǎo)向組件可繼續(xù)在下方的頂升導(dǎo)向組件上沿著X軸方向移動(dòng)。本技術(shù)的靶材組件在活動(dòng)導(dǎo)向組件和固定導(dǎo)向組件的作用下可自由出入腔體，之后在活動(dòng)導(dǎo)向組件和頂升導(dǎo)向組件的作用下，使得靶材組件完全從腔體內(nèi)抽出后完成換靶。

技術(shù)研發(fā)人員：黃躍龍
受保護(hù)的技術(shù)使用者：湖州市鶉火光電有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240430
技術(shù)公布日：2024/12/19