本技術(shù)涉及原子層氣相沉積，具體為一種原子層氣相沉積設(shè)備用片架。

背景技術(shù)：

1、ald(atomic?layer?deposition)即原子層氣相沉積技術(shù)，指通過(guò)將氣相前軀體脈沖交替的通入反應(yīng)器并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成薄膜的一種技術(shù)。ald沉積的薄膜，致密性好，折射率好，膜厚均勻性好，可以實(shí)現(xiàn)360度任何不規(guī)則基體表面均勻沉積，膜厚可控。但是也存在一些缺點(diǎn)，比如沉積速度太慢，單次生產(chǎn)產(chǎn)品數(shù)量少。為了使沉積效率提高，薄膜質(zhì)量更好，外觀(guān)無(wú)缺陷，購(gòu)買(mǎi)的原子層氣相沉積設(shè)備有一部分會(huì)進(jìn)行內(nèi)部改造，而改造后的設(shè)備需要同時(shí)改進(jìn)產(chǎn)品載具。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種適合改造后的原子層氣相沉積設(shè)備使用的，提高生產(chǎn)效率，提升單次生產(chǎn)時(shí)的產(chǎn)品承載量的同時(shí)保證質(zhì)量的原子層氣相沉積設(shè)備用片架。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種原子層氣相沉積設(shè)備用片架，所述的原子層氣相沉積設(shè)備設(shè)有呈矩形體狀的工作腔，所述的片架包括封頂蓋、呈矩形體狀的片架本體；所述的工作腔頂部設(shè)有卡槽，所述的工作腔底部設(shè)有出氣口及勻氣網(wǎng)；所述的封頂蓋設(shè)于片架本體上方并與片架本體固定連接，所述的封頂蓋上表面設(shè)有與卡槽配合的卡鎖扣，所述的卡鎖扣與卡槽可滑動(dòng)連接；所述的片架本體設(shè)有多層載盤(pán)，所述的載盤(pán)上設(shè)置若干適合晶圓形狀的承載槽，所述的承載槽中部貫穿載盤(pán)，相鄰兩層載盤(pán)之間設(shè)有進(jìn)氣空間。

4、本方案設(shè)備腔室改造后，分真空腔和真空反應(yīng)腔，即外腔和內(nèi)腔(工作腔)，外腔空間增大，內(nèi)腔可自如拆卸更換，但是內(nèi)腔改造后形狀發(fā)生變化，由圓形變?yōu)榫匦危呅?，梯形等；?nèi)腔上蓋呈懸吊式，腔室上蓋內(nèi)側(cè)留有懸掛治具的卡槽，因此設(shè)計(jì)了對(duì)應(yīng)的樣品裝載治具(片架)，由于多方面考慮工藝的良率和效率，需要設(shè)計(jì)一種與改造后的設(shè)備腔室相匹配的沉積時(shí)樣品裝片專(zhuān)用的治具，并且整體必須呈懸吊狀，片架是一種比較合適的裝載治具，片架可通過(guò)封頂蓋與卡槽連接并懸吊在工作腔內(nèi)，片架設(shè)置的多層載盤(pán)可承載大量產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行生產(chǎn)，工作時(shí)氣體從工作腔底部進(jìn)入并通過(guò)勻氣網(wǎng)均勻分布到工作腔內(nèi)，保證沉積薄膜質(zhì)量。

5、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述的片架本體設(shè)有四根螺柱，所述的載盤(pán)設(shè)有與四根螺柱配合的通孔，多個(gè)所述的載盤(pán)上下分層并串接固定在螺柱上。本方案的載盤(pán)可按照需要的數(shù)量合理分配，同時(shí)串接固定在螺柱上保證生產(chǎn)過(guò)程中載盤(pán)不晃動(dòng)。

6、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述的載盤(pán)一側(cè)側(cè)面上設(shè)有多根均勻分布的隔離柱，與封頂蓋相鄰的載盤(pán)及相鄰的兩個(gè)載盤(pán)之間由隔離柱相互間隔形成進(jìn)氣空間。本方案的進(jìn)氣空間可保證每層載盤(pán)上的晶圓等產(chǎn)品表面有足夠的氣體沉積空間，保證產(chǎn)品良率。

7、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述的工作腔頂部設(shè)有卡條，所述的卡條設(shè)有通長(zhǎng)的t形卡槽，所述的卡鎖扣為t形條，所述的片架本體通過(guò)卡鎖扣懸吊在卡條上。本方案t形卡槽與t形條的配合，既方便卡鎖扣的移動(dòng)，也能保證片架位于工作腔中心的同時(shí)不晃動(dòng)。

8、作為本實(shí)用新型優(yōu)選的方案，所述的片架材質(zhì)為鋁合金。

9、本方案提供了一種ald設(shè)備改造后專(zhuān)用的薄膜沉積時(shí)裝載樣品的片架，適合改造后的設(shè)備進(jìn)行生產(chǎn)；設(shè)備方面不同于原始結(jié)構(gòu)的地方在于，原始購(gòu)買(mǎi)回來(lái)的設(shè)備只有一個(gè)腔室，圓形尺寸為6寸，裝載樣品時(shí)具有對(duì)應(yīng)的載盤(pán)，用單獨(dú)的機(jī)械手臂拖住載盤(pán)直接放入真空腔室，內(nèi)有三根直徑為5毫米的頂針撐住載盤(pán)，后開(kāi)始薄膜沉積，載盤(pán)最多可容納3個(gè)樣品，一次只能傳送一個(gè)載盤(pán)進(jìn)入腔室等待薄膜沉積完畢，并且進(jìn)氣方式由下至上無(wú)勻氣網(wǎng)，對(duì)于光學(xué)產(chǎn)品來(lái)說(shuō)外觀(guān)要求嚴(yán)格，進(jìn)氣方式會(huì)影響外觀(guān)，呈現(xiàn)不均勻顏色分布，并且取片溫度必須降低至常溫，否則將會(huì)損傷傳送系統(tǒng)；對(duì)購(gòu)買(mǎi)回來(lái)的設(shè)備進(jìn)行改造，對(duì)應(yīng)的樣品裝載治具也需要單獨(dú)設(shè)計(jì)制造，改造后的設(shè)備增加一個(gè)外腔，再將6寸的真空腔改為30mm×50mm的矩形內(nèi)腔室，內(nèi)腔室攜帶水平進(jìn)氣勻氣網(wǎng)，取消傳送系統(tǒng)，改用鋁制傳輸板運(yùn)載片架，本發(fā)明裝載樣品的片架，完全符合改造后的腔室，不同于原始載盤(pán)的地方在于，每層呈矩形盤(pán)狀結(jié)構(gòu)，樣品槽中間懸空，對(duì)于需要單面形成薄膜的樣品，樣品槽內(nèi)可放置兩塊背靠背的樣品，從而可放置大量生產(chǎn)產(chǎn)品，層與層中間留有間隙，有4顆螺釘支撐，與腔室勻氣網(wǎng)相輔相成，留間隙是方便氣體進(jìn)入，避免產(chǎn)品外觀(guān)缺陷，改善成膜質(zhì)量，材質(zhì)為鋁合金散熱快，取片時(shí)可忽略溫度，不會(huì)損傷傳送系統(tǒng)和片架，片架最上層加封頂層，并且做有配合腔室上蓋內(nèi)側(cè)卡槽的卡鎖，整體結(jié)構(gòu)為了避免晃動(dòng)，四周有圓柱狀螺釘連接封頂層整體貫穿牢牢鎖住，整體結(jié)構(gòu)呈矩形體，以空間懸吊式置于工作腔室內(nèi)，上蓋蓋上后正處于腔室正中心空間位置，協(xié)助改造后的設(shè)備進(jìn)行薄膜沉積，有效提高產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率，最重要的是可以成為改造后的設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)的專(zhuān)屬配件，不會(huì)造成設(shè)備浪費(fèi)。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：相比原有載盤(pán)靈活性更高，功能更強(qiáng)，載盤(pán)可以減少和增加數(shù)量，屬于組合型片架，可靈活制造多種不規(guī)則形狀片架，并且可以兼顧不同形狀的產(chǎn)品使用，允許大量產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行加工生產(chǎn)。

技術(shù)特征：

1.一種原子層氣相沉積設(shè)備用片架，其特征在于：所述的原子層氣相沉積設(shè)備設(shè)有呈矩形體狀的工作腔，所述的片架包括封頂蓋、呈矩形體狀的片架本體；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原子層氣相沉積設(shè)備用片架，其特征在于：所述的片架本體設(shè)有四根螺柱，所述的載盤(pán)設(shè)有與四根螺柱配合的通孔，多個(gè)所述的載盤(pán)上下分層并串接固定在螺柱上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原子層氣相沉積設(shè)備用片架，其特征在于：所述的載盤(pán)一側(cè)側(cè)面上設(shè)有多根均勻分布的隔離柱，與封頂蓋相鄰的載盤(pán)及相鄰的兩個(gè)載盤(pán)之間由隔離柱相互間隔形成進(jìn)氣空間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原子層氣相沉積設(shè)備用片架，其特征在于：所述的工作腔頂部設(shè)有卡條，所述的卡條設(shè)有通長(zhǎng)的t形卡槽，所述的卡鎖扣為t形條，所述的片架本體通過(guò)卡鎖扣懸吊在卡條上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種原子層氣相沉積設(shè)備用片架，其特征在于：所述的片架材質(zhì)為鋁合金。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種原子層氣相沉積設(shè)備用片架，原子層氣相沉積設(shè)備設(shè)有呈矩形體狀的工作腔，片架包括封頂蓋、呈矩形體狀的片架本體；工作腔頂部設(shè)有卡槽，工作腔底部設(shè)有出氣口及勻氣網(wǎng)；封頂蓋設(shè)于片架本體上方并與片架本體固定連接，封頂蓋上表面設(shè)有與卡槽配合的卡鎖扣，卡鎖扣與卡槽可滑動(dòng)連接；片架本體設(shè)有多層載盤(pán)，載盤(pán)上設(shè)置若干適合晶圓形狀的承載槽，承載槽中部貫穿載盤(pán)，相鄰兩層載盤(pán)之間設(shè)有進(jìn)氣空間。本技術(shù)相比原有載盤(pán)靈活性更高，功能更強(qiáng)，載盤(pán)可以減少和增加數(shù)量，屬于組合型片架，可靈活制造多種不規(guī)則形狀片架，并且可以兼顧不同形狀的產(chǎn)品使用，允許大量產(chǎn)品同時(shí)進(jìn)行加工生產(chǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：白喜青
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州邦齊州科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231205
技術(shù)公布日：2024/12/19