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一種磁場可調的磁控濺射涂層系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:11468744閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種磁場可調的磁控濺射涂層系統(tǒng),其特征在于:包括真空腔室、靶材、磁鐵、步進電機、直流脈沖電源和PLC單元,靶材設置于真空腔室中,磁鐵設置于靶材的后方,步進電機連接有齒輪傳動機構,該齒輪傳動機構連接有連桿機構,連桿機構又與磁鐵連接,步進電機通過齒輪傳動機構和連桿機構的配合帶動磁鐵前后移動,該直流脈沖電源具有負極、正極、電源控制端口和電源通信端口,真空腔室上設有陰極和陽極,直流脈沖電源的負極與陰極連接,直流脈沖電源的正極與陽極連接,該PLC單元包括CPU、通信模塊、輸入模塊和輸出模塊,直流脈沖電源的電源通信端口通過profibus總線與PLC單元的通信模塊連接,直流脈沖電源的電源控制端口通過profibus總線與PLC單元的輸出模塊連接,所述步進電機具有電機控制端口和電機通信端口,PLC單元的通信模塊通過profibus總線與步進電機的電機通信端口連接,PLC單元的輸出模塊通過profibus總線與步進電機的電機控制端口連接。

2.根據權利要求1所述的一種磁場可調的磁控濺射涂層系統(tǒng),其特征在于:該真空腔室連接有冷卻水進水管和冷卻水出水管。

3.根據權利要求1所述的一種磁場可調的磁控濺射涂層系統(tǒng),其特征在于:所述齒輪傳動機構包括主動齒輪、從動齒輪和傳動帶,該主動齒輪與步進電機連接,傳動帶連接于主動齒輪和從動齒輪之間。

4.根據權利要求1所述的一種磁場可調的磁控濺射涂層系統(tǒng),其特征在于:所述CPU與PC連接。

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