技術總結
本實用新型提供一種砷化鎵廢料分離回收裝置,該裝置包括上料機構、加熱爐、真空泵組和冷凝器;其中,所述上料機構包括支撐臂、上料托臂和導軌;所述加熱爐包括前門法蘭組件、爐腔,所述爐腔包括依次相連的加熱區(qū)域內石英管腔、冷卻區(qū)域內的冷卻腔以及取料腔;所述真空泵組與所述爐腔連通;所述冷凝器包括纏繞于冷卻腔外的冷凝管。采用本實用新型所述砷化鎵廢料分離回收裝置能直接分離出高純的金屬鎵和單質砷,砷和鎵單獨收集且鎵的回收率高,成本低廉,對環(huán)境無污染,且無有毒物質產生,更有利于操作和人員安全,維護成本低。
技術研發(fā)人員:魏守沖;郭志強;王新峰
受保護的技術使用者:磐石創(chuàng)新(北京)電子裝備有限公司
文檔號碼:201720118052
技術研發(fā)日:2017.02.08
技術公布日:2017.08.18