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有機(jī)材料蒸鍍用掩膜板的制作方法

文檔序號:11259736閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種有機(jī)材料蒸鍍用掩膜板。該掩膜板包括框架和固定于框架上的至少一個(gè)掩膜;框架形成一封閉的開口,每一掩膜至少覆蓋部分開口,并與框架焊接固定;框架為中空結(jié)構(gòu),框架的中空結(jié)構(gòu)中設(shè)置有加熱裝置,用于提高框架的溫度。該實(shí)施方式可以在清洗掩膜板時(shí),利用加熱裝置來提高框架的溫度,從而可以加速附著在掩膜板上的各種有機(jī)材料的溶解,改善清洗效果。

技術(shù)研發(fā)人員:楊育青
受保護(hù)的技術(shù)使用者:武漢天馬微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.07.19
技術(shù)公布日:2017.09.19
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