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有機材料蒸鍍用掩膜板的制造方法與工藝技術資料下載

技術編號:11259736

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本申請涉及顯示技術領域,具體涉及有機材料蒸鍍用掩膜板。背景技術目前,現有的OLED(OrganicLightEmittingDiode,有機發(fā)光二極管)顯示面板中,通常采用真空蒸鍍工藝來形成各功能層。在蒸鍍過程中,一般需要使用掩膜板。掩膜板的作用是通過開孔區(qū)將材料蒸鍍至相應的位置,以形成對應的功能層。具體地,如圖1所示,坩堝11內添置有待蒸鍍的OLED材料。在真空度小于10-5Pa的環(huán)境下,坩堝11緩慢升溫。當溫度達到OLED材料的升華溫度以后,OLED材料慢慢變成氣態(tài)升華上來,如圖1中所示的氣...
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