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AlNbC/AlNbCN疊層復(fù)合涂層刀具及其制備工藝的制作方法

文檔序號(hào):11259747閱讀:274來(lái)源:國(guó)知局

本發(fā)明屬于機(jī)械制造金屬切削刀具領(lǐng)域,特別是涉及一種alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具及其制備工藝。



背景技術(shù):

當(dāng)代切削加工技術(shù)的快速發(fā)展對(duì)刀具的材料和性能提出了更高的要求,干式、高速切削成為刀具切削發(fā)展的方向。在刀具表面沉積硬質(zhì)薄膜成為改善和提高刀具使用性能的重要途徑。ticn是目前最廣泛使用的三元碳氮化合物硬質(zhì)涂層,ticn涂層由于兼具tic的高硬度和tin的良好韌性,顯著提高了其摩擦磨損性能(jinlongli,shihongzhang,mingxili.influenceofthec2h2flowrateongradientticnfilmsdepositedbymulti-arcionplating[j].appliedsurfacescience,2013(283):134-144.),已廣泛應(yīng)用于銑削、攻牙、沖壓、成型及滾齒的加工,在高速切削時(shí)比普通硬質(zhì)合金刀具的耐磨性高5-8倍。中國(guó)專(zhuān)利“汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子輪槽銑刀表面ticn多層復(fù)合涂層制備工藝”(專(zhuān)利號(hào)201510564738.5)利用ti、氮?dú)?n2)與乙炔氣體(c2h2)在450℃沉積溫度下合成了ticn涂層銑刀,解決了26nicrmov145材料轉(zhuǎn)子加工難題。

ticn涂層雖然具有高硬度、低摩擦系數(shù)的優(yōu)點(diǎn),但同時(shí)因其熱穩(wěn)定性和紅硬性較差,僅適合應(yīng)用于低速切削或具有良好冷卻條件的場(chǎng)合,需要對(duì)傳統(tǒng)ticn涂層結(jié)構(gòu)和制備工藝進(jìn)行改進(jìn)。目前,多元化是材料改善力學(xué)性能、耐蝕性和耐磨性的有效途徑,通過(guò)制備多元復(fù)合涂層,既可提高涂層與基體的結(jié)合強(qiáng)度,又兼顧多種單涂層的綜合性能,顯著提高涂層刀具的性能。

目前ticn等碳氮化合物主要通過(guò)化學(xué)氣相沉積技術(shù)(cvd)等技術(shù)制備,即通過(guò)ticl4(或ti靶)、ch4(或c2h2)以及n2等氣體反應(yīng)生成,沉積溫度通常超過(guò)400℃,對(duì)基體產(chǎn)生不利影響,同時(shí)氣體碳源容易對(duì)涂層設(shè)備造成污染,制約了其廣泛應(yīng)用。

層狀復(fù)合材料是近幾年發(fā)展起來(lái)的材料增強(qiáng)增韌新技術(shù),這種結(jié)構(gòu)是通過(guò)模仿貝殼而來(lái),因此又叫仿生疊層復(fù)合材料。自然界中貝殼的珍珠層是一種天然的層狀結(jié)構(gòu)材料,其斷裂韌性卻比普通單一均質(zhì)結(jié)構(gòu)高出3000倍以上。因此,通過(guò)模仿生物材料結(jié)構(gòu)形式的層間設(shè)計(jì),制備出的疊層復(fù)合涂層可以提高目前碳氮化合物涂層的韌性、穩(wěn)定性及減摩耐磨性等綜合性能。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

目前現(xiàn)有碳氮化合物涂層刀具性能及制備方法的不足,結(jié)合層狀復(fù)合材料結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)提供一種alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具及其制備工藝。

本發(fā)明所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具,包括刀具基體,刀具基體表面沉積有涂層,所述涂層從內(nèi)到外依次為:ti過(guò)渡層、alnbc涂層與alnbcn涂層交替的疊層復(fù)合結(jié)構(gòu),最外層為alnbcn涂層;

其中:

刀具基體材料為高速鋼、工具鋼、模具鋼、硬質(zhì)合金、陶瓷、金剛石、立方氮化硼中一種。

所述非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶中包含重量分?jǐn)?shù)為65-80wt%的cr、10-20wt%的nb和10-15wt%的c。

本發(fā)明所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具的制備工藝,沉積方式為采用非平衡磁控濺射+電弧離子鍍復(fù)合鍍膜方法,沉積時(shí)使用2個(gè)非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶,2個(gè)電弧離子鍍ti靶:首先采用電弧離子鍍沉積ti過(guò)渡層,然后采用非平衡磁控濺射方法交替沉積alnbc涂層與alnbcn涂層,最外層為alnbcn涂層。

所述非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶中包含重量分?jǐn)?shù)為55-70wt%的al、20-30wt%的nb和10-15wt%的c,所述非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶采用真空熱壓法制備,其具體步驟包括如下:

(1)將重量配比好的粉末純度均為99.9%的al、nb和c的粉末混勻并裝入模具,然后將裝有粉末的模具置于真空熱壓爐;

(2)首先快速升溫,并在升溫開(kāi)始施加初始?jí)毫?0~40mpa,然后慢速升至1100~1500℃,保溫,混合粉經(jīng)熱壓燒結(jié)后成型得樣品;

(3)燒結(jié)結(jié)束后樣品隨爐冷卻降溫至100℃以下出爐得非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶。

所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具的制備工藝,具體包括以下步驟:

(1)對(duì)刀具基體表面前處理:首先將刀具基體表面拋光,去除表面油污、銹跡等雜質(zhì),然后依次放入酒精和丙酮中,超聲清洗各50min,去除刀具表面油污和其它附著物,電吹風(fēng)干燥充分后迅速放入鍍膜機(jī),抽真空至6.0×10-3pa,加熱至250℃,保溫30min;

(2)對(duì)刀具基體表面離子清洗:通ar氣,調(diào)其壓力為1.2pa,開(kāi)啟偏壓電源,電壓600v,占空比0.4,輝光放電清洗40min;降低偏壓至450v,占空比0.2,開(kāi)啟離子源離子清洗35min,開(kāi)啟電弧離子鍍ti靶電源,ti靶電流55a,偏壓300v,占空比0.2,離子轟擊2~3min;

(3)采用電弧離子鍍?cè)诘毒呋w表面沉積ti過(guò)渡層:調(diào)ar氣壓0.8~0.9pa,偏壓降至200v,調(diào)電弧離子鍍ti靶電流80a,沉積溫度200℃,沉積ti過(guò)渡層5~6min;

(4)采用非平衡磁控濺射在ti過(guò)渡層上沉積alnbc涂層:關(guān)閉電弧離子鍍ti靶電源,調(diào)ar氣壓0.9~1.0pa,偏壓調(diào)至120v,沉積溫度170℃,開(kāi)啟非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積alnbc涂層3~4min;

(5)采用非平衡磁控濺射在alnbc涂層上沉積alnbcn涂層:開(kāi)啟n2,n2氣壓為1.2pa,ar氣壓0.7~0.8pa,偏壓150v,調(diào)非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積溫度170℃,復(fù)合沉積alnbcn涂層3~4min,沉積完成關(guān)閉n2;

(6)采用非平衡磁控濺射在alnbcn涂層上沉積alnbc涂層:調(diào)ar氣壓0.9~1.0pa,偏壓調(diào)至120v,沉積溫度170℃,開(kāi)啟非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積alnbc涂層3~4min;

(7)重復(fù)(5)、(6)、(5)…(5),交替沉積alnbcn涂層、alnbc涂層、alnbcn涂層…alnbcn涂層,共沉積70min:

(8)后處理:關(guān)閉各靶電源、離子源及氣體源,涂層結(jié)束。

本發(fā)明所制備的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具,刀具基體表面沉積有涂層,所述涂層從內(nèi)到外依次為:ti過(guò)渡層、alnbc涂層與alnbcn涂層交替的疊層復(fù)合結(jié)構(gòu),最外層為alnbcn涂層,刀具基體上的ti過(guò)渡層主要作用是減緩因涂層成分突變?cè)斐傻膶娱g應(yīng)力,提高了涂層與刀具基體間的結(jié)合性能,涂層中的al不僅起固溶強(qiáng)化作用,還能跟氧結(jié)合形成致密的al2o3保護(hù)膜,可改善涂層的高溫氧化性能,nb元素提高了涂層的硬度、強(qiáng)度和抗壓、耐磨、耐蝕性能,涂層中的c元素降低了涂層表面的摩擦系數(shù),使涂層具備優(yōu)異的減摩潤(rùn)滑及耐摩擦磨損性能。同時(shí)該疊層復(fù)合結(jié)構(gòu)的層間界面可阻止涂層柱狀晶的生長(zhǎng),阻礙裂紋和缺陷的擴(kuò)展,提高涂層的硬度、韌性和耐沖擊性。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有以下有益效果。

本發(fā)明采用非平衡磁控濺射+電弧離子鍍的復(fù)合鍍膜方法,直接采用alnbc復(fù)合靶作碳源,且沉積溫度控制在300℃以下,可在更為廣泛的刀具或工具基體上制備。所制備的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具綜合了alnbc碳化物涂層、alnbcn碳氮化合物涂層及疊層結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn),具有很高的硬度和韌性,且表面光滑,表面摩擦力很低,便于切屑快速流過(guò),耐磨性更好,且刀片表面不易產(chǎn)生積屑瘤,具有極高的抗熱變形性能和刃口的完整性,優(yōu)異的抗高溫氧化性能和抗剝離性,良好的減摩潤(rùn)滑及耐摩擦磨損性能。所制備alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具,相比傳統(tǒng)ticn涂層刀具,可提高切削速度50%以上,減小刀具磨損量70%以上,提高涂層使用壽命一倍以上。所述alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具可廣泛應(yīng)用于鋼、不銹鋼、鑄鐵、耐熱合金、鈦合金等材料的粗加工及精加工。

附圖說(shuō)明

圖1、本發(fā)明的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具的涂層結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:1、刀具基體2、ti過(guò)渡層3、alnbc涂層4、alnbcn涂層5、alnbc涂層與alnbcn涂層交替的疊層復(fù)合結(jié)構(gòu)。

具體實(shí)施方式

下面給出本發(fā)明的二個(gè)最佳實(shí)施例:

實(shí)施例1

本實(shí)施例所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具,該刀具為普通的車(chē)刀片,其基體材料為:硬質(zhì)合金m10,刀具基體表面沉積有涂層,所述涂層從內(nèi)到外依次為:ti過(guò)渡層、alnbc涂層與alnbcn涂層交替的疊層復(fù)合結(jié)構(gòu),最外層為alnbcn涂層。

本實(shí)施例所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具的制備工藝,沉積方式為采用非平衡磁控濺射+電弧離子鍍復(fù)合鍍膜方法,沉積時(shí)使用2個(gè)非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶,2個(gè)電弧離子鍍ti靶:首先采用電弧離子鍍沉積ti過(guò)渡層,然后采用非平衡磁控濺射方法交替沉積alnbc涂層與alnbcn涂層,最外層為alnbcn涂層。

所述非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶中包含重量分?jǐn)?shù)為55wt%的al、30wt%的nb和15wt%的c。

所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具的制備工藝,具體包括以下步驟:

(1)對(duì)刀具基體表面前處理:首先將刀具基體表面拋光,去除表面油污、銹跡等雜質(zhì),然后依次放入酒精和丙酮中,超聲清洗各50min,去除刀具表面油污和其它附著物,電吹風(fēng)干燥充分后迅速放入鍍膜機(jī),抽真空至6.0×10-3pa,加熱至250℃,保溫30min;

(2)對(duì)刀具基體表面離子清洗:通ar氣,調(diào)其壓力為1.2pa,開(kāi)啟偏壓電源,電壓600v,占空比0.4,輝光放電清洗40min;降低偏壓至450v,占空比0.2,開(kāi)啟離子源離子清洗35min,開(kāi)啟電弧離子鍍ti靶電源,ti靶電流55a,偏壓300v,占空比0.2,離子轟擊2~3min;

(3)采用電弧離子鍍?cè)诘毒呋w表面沉積ti過(guò)渡層:調(diào)ar氣壓0.8~0.9pa,偏壓降至200v,調(diào)電弧離子鍍ti靶電流80a,沉積溫度200℃,沉積ti過(guò)渡層5~6min;

(4)采用非平衡磁控濺射在ti過(guò)渡層上沉積alnbc涂層:關(guān)閉電弧離子鍍ti靶電源,調(diào)ar氣壓0.9~1.0pa,偏壓調(diào)至120v,沉積溫度170℃,開(kāi)啟非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積alnbc涂層3~4min;

(5)采用非平衡磁控濺射在alnbc涂層上沉積alnbcn涂層:開(kāi)啟n2,n2氣壓為1.2pa,ar氣壓0.7~0.8pa,偏壓150v,調(diào)非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積溫度170℃,復(fù)合沉積alnbcn涂層3~4min,沉積完成關(guān)閉n2;

(6)采用非平衡磁控濺射在alnbcn涂層上沉積alnbc涂層:調(diào)ar氣壓0.9~1.0pa,偏壓調(diào)至120v,沉積溫度170℃,開(kāi)啟非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積alnbc涂層3~4min;

(7)重復(fù)(5)、(6)、(5)…(5),交替沉積alnbcn涂層、alnbc涂層、alnbcn涂層…alnbcn涂層,共沉積70min:

(8)后處理:關(guān)閉各靶電源、離子源及氣體源,涂層結(jié)束。

實(shí)施例2

本實(shí)施例所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具,該刀具為普通的焊接車(chē)刀,其基體材料為:高速鋼w18cr4v,刀具基體表面沉積有涂層,所述涂層從內(nèi)到外依次為:ti過(guò)渡層、alnbc涂層與alnbcn涂層交替的疊層復(fù)合結(jié)構(gòu),最外層為alnbcn涂層。

本實(shí)施例所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具的制備工藝,沉積方式為采用非平衡磁控濺射+電弧離子鍍復(fù)合鍍膜方法,沉積時(shí)使用2個(gè)非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶,2個(gè)電弧離子鍍ti靶:首先采用電弧離子鍍沉積ti過(guò)渡層,然后采用非平衡磁控濺射方法交替沉積alnbc涂層與alnbcn涂層,最外層為alnbcn涂層。

所述非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶中包含重量分?jǐn)?shù)為70wt%的al、20wt%的nb和10wt%的c。

所述的alnbc/alnbcn疊層復(fù)合涂層刀具的制備工藝,具體包括以下步驟:

(1)對(duì)刀具基體表面前處理:首先將刀具基體表面拋光,去除表面油污、銹跡等雜質(zhì),然后依次放入酒精和丙酮中,超聲清洗各50min,去除刀具表面油污和其它附著物,電吹風(fēng)干燥充分后迅速放入鍍膜機(jī),抽真空至6.0×10-3pa,加熱至250℃,保溫30min;

(2)對(duì)刀具基體表面離子清洗:通ar氣,調(diào)其壓力為1.2pa,開(kāi)啟偏壓電源,電壓600v,占空比0.4,輝光放電清洗40min;降低偏壓至450v,占空比0.2,開(kāi)啟離子源離子清洗35min,開(kāi)啟電弧離子鍍ti靶電源,ti靶電流55a,偏壓300v,占空比0.2,離子轟擊2~3min;

(3)采用電弧離子鍍?cè)诘毒呋w表面沉積ti過(guò)渡層:調(diào)ar氣壓0.8~0.9pa,偏壓降至200v,調(diào)電弧離子鍍ti靶電流80a,沉積溫度200℃,沉積ti過(guò)渡層5~6min;

(4)采用非平衡磁控濺射在ti過(guò)渡層上沉積alnbc涂層:關(guān)閉電弧離子鍍ti靶電源,調(diào)ar氣壓0.9~1.0pa,偏壓調(diào)至120v,沉積溫度170℃,開(kāi)啟非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積alnbc涂層3~4min;

(5)采用非平衡磁控濺射在alnbc涂層上沉積alnbcn涂層:開(kāi)啟n2,n2氣壓為1.2pa,ar氣壓0.7~0.8pa,偏壓150v,調(diào)非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積溫度170℃,復(fù)合沉積alnbcn涂層3~4min,沉積完成關(guān)閉n2;

(6)采用非平衡磁控濺射在alnbcn涂層上沉積alnbc涂層:調(diào)ar氣壓0.9~1.0pa,偏壓調(diào)至120v,沉積溫度170℃,開(kāi)啟非平衡磁控濺射alnbc復(fù)合靶電流30a,沉積alnbc涂層3~4min;

(7)重復(fù)(5)、(6)、(5)…(5),交替沉積alnbcn涂層、alnbc涂層、alnbcn涂層…alnbcn涂層,共沉積70min:

(8)后處理:關(guān)閉各靶電源、離子源及氣體源,涂層結(jié)束。

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