本發(fā)明涉及oled制造領(lǐng)域，具體而言，涉及一種用于oled蒸鍍用的掩膜板。

背景技術(shù)：

oled顯示技術(shù)具有自發(fā)光、廣視角、對(duì)比度高、較低耗電、反應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)，受到人們的廣泛關(guān)注，譽(yù)為下一代顯示技術(shù)。

oled領(lǐng)域通常通過溶液制成和蒸鍍制成來實(shí)現(xiàn)薄膜的制備，成膜范圍的界定通過掩膜板來實(shí)現(xiàn)。然而，在實(shí)際使用中，特別是大尺寸面板制備時(shí)，掩膜板邊緣和中間的連接條，往往由于重力作用而發(fā)生下垂，下垂的掩膜板接觸到蒸鍍的基板后，會(huì)導(dǎo)致基板劃傷以及成膜區(qū)出現(xiàn)偏差等問題。

現(xiàn)有技術(shù)通常是在掩膜板上制作點(diǎn)狀物支撐，以對(duì)掩膜板進(jìn)行支撐，然而該技術(shù)方案雖對(duì)掩膜板下垂有所改善，但獨(dú)立的點(diǎn)狀物結(jié)構(gòu)容易剝落，影響支撐效果，并形成污染。

在所述背景技術(shù)部分公開的上述信息僅用于加強(qiáng)對(duì)本發(fā)明的背景的理解，因此它可以包括不構(gòu)成對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的一個(gè)主要目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的至少一種缺陷，提供一種掩膜板，以防止該掩膜板下垂。

本發(fā)明的另一個(gè)主要目的在于提供一種掩膜板，以保護(hù)基板，以防止掩膜板與基板直接接觸，造成刮傷。

為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種掩膜板，其中所述掩膜板包括掩膜板本體和彈性支撐結(jié)構(gòu)，所述掩膜板本體具有朝向基板的第一表面；所述彈性支撐結(jié)構(gòu)涂設(shè)置于所述第一表面上，優(yōu)選采用涂敷的方式設(shè)置；其中，所述彈性支撐結(jié)構(gòu)上設(shè)置有通孔，所述通孔優(yōu)選為均勻分布在彈性支撐結(jié)構(gòu)上。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中所述通孔為三角形通孔。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中所述彈性支撐結(jié)構(gòu)為一體成型結(jié)構(gòu)。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中所述彈性支撐結(jié)構(gòu)采用光刻技術(shù)成型。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中所述彈性支撐結(jié)構(gòu)由粘度為10cp～500000cp的材料構(gòu)成。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中所述彈性支撐結(jié)構(gòu)由樹脂類材料、亞克力材料或丙烯酸類材料制成。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中所述彈性支撐結(jié)構(gòu)的厚度為1-10μm。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中相鄰所述三角形通孔之間的所述掩膜板的寬度為小于或者等于200μm。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中所述掩膜板由金屬材料制成。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，其中所述掩膜板由不銹鋼或者因瓦合金制成。

由上述技術(shù)方案可知，本發(fā)明的掩膜板的優(yōu)點(diǎn)和積極效果在于：本發(fā)明提供的掩膜板包括彈性支撐結(jié)構(gòu)，該彈性支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置于掩膜板本體的朝向基板的第一表面上，以對(duì)掩膜板形成撐托，防止其下垂。另一方面，由于該支撐結(jié)構(gòu)設(shè)置于基板和掩膜板之間，因此即使掩膜板發(fā)生下垂，也不會(huì)接觸到基板，由此可以防止掩膜板下垂后對(duì)基板造成刮傷。更進(jìn)一步地，該彈性支撐結(jié)構(gòu)為一體成型結(jié)構(gòu)，增加了該彈性支撐結(jié)構(gòu)的堅(jiān)固性，能夠更好地對(duì)掩膜板進(jìn)行支撐，防止其發(fā)生下垂。更進(jìn)一步地，該彈性支撐結(jié)構(gòu)為具有三角形通孔的支撐結(jié)構(gòu)，其具有更好的支撐穩(wěn)定性，以進(jìn)一步防止掩膜板下垂。

附圖說明

通過結(jié)合附圖考慮以下對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明，本發(fā)明的各種目標(biāo)、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得更加顯而易見。附圖僅為本發(fā)明的示范性圖解，并非一定是按比例繪制。在附圖中，同樣的附圖標(biāo)記始終表示相同或類似的部件。其中：

圖1是根據(jù)一示例性實(shí)施方式示出的一種彈性支撐結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。

圖2是根據(jù)一示例性實(shí)施方式示出的一種彈性支撐結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。

圖3是根據(jù)一示例性實(shí)施方式示出的一種彈性支撐結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在將參考附圖更全面地描述示例實(shí)施方式。然而，示例實(shí)施方式能夠以多種形式實(shí)施，且不應(yīng)被理解為限于在此闡述的實(shí)施方式；相反，提供這些實(shí)施方式使得本發(fā)明將全面和完整，并將示例實(shí)施方式的構(gòu)思全面地傳達(dá)給本領(lǐng)域的技術(shù)人員。圖中相同的附圖標(biāo)記表示相同或類似的結(jié)構(gòu)，因而將省略它們的詳細(xì)描述。

參照?qǐng)D1至圖3，本發(fā)明的一種具體實(shí)施方式，其中掩膜板可以包括掩膜板本體和設(shè)置于該掩膜板本體的朝向基板的第一表面上的彈性支撐結(jié)構(gòu)2，也就是說，該彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以設(shè)置于掩膜板本體和基板之間，可以理解的是，彈性支撐結(jié)構(gòu)2設(shè)置于掩膜板本體的下方，以對(duì)掩膜板本體起到很好的支撐作用，防止其發(fā)生下垂。另一個(gè)方面，由于彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以設(shè)置于掩膜板本體和基板之間，即使掩膜板本體發(fā)生下垂，也不會(huì)直接接觸到基板，因此可以避免掩膜板本體和基板直接接觸而對(duì)基板造成刮傷，由此該彈性支撐結(jié)構(gòu)2對(duì)基板起到很好的保護(hù)作用。更進(jìn)一步地，該彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以為一體成型結(jié)構(gòu)，增加了該彈性支撐結(jié)構(gòu)2的堅(jiān)固性，能夠更好地對(duì)掩膜板進(jìn)行支撐，防止其發(fā)生下垂。更進(jìn)一步地，該彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以為具有三角形通孔的支撐結(jié)構(gòu)，其具有更好的支撐穩(wěn)定性，以進(jìn)一步防止掩膜板下垂。

參照?qǐng)D1至圖3，根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，為了使蒸鍍材料能夠順利通過彈性支撐結(jié)構(gòu)2以被蒸鍍到產(chǎn)品上，在彈性支撐結(jié)構(gòu)2上可以設(shè)置通孔，所述通孔優(yōu)選為均勻分布在彈性支撐結(jié)構(gòu)上，本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，該通孔可以為三角形通孔，在與掩膜板本體具有相同的接觸面積的情況下，具有該三角形通孔的彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以具有更好的支撐穩(wěn)定性，但并不以此為限，該彈性支撐結(jié)構(gòu)2的通孔的形狀可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)置，都在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。

繼續(xù)參照?qǐng)D1至圖3，根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以為一體成型結(jié)構(gòu)，以提高支撐效果，從而可以增加該彈性支撐結(jié)構(gòu)2的堅(jiān)固性，以避免掩膜板下垂后與玻璃基板接觸，從而可以減少對(duì)玻璃基板的摩擦損傷，但不以此為限。根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以采用光刻技術(shù)成型，但不以此為限。

繼續(xù)參照?qǐng)D1至圖3，根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以由粘度為10cp～500000cp的材料構(gòu)成，例如但不限于，彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以由樹脂類材料、亞克力材料或丙烯酸類材料制成，具體地，首先可以先對(duì)已經(jīng)成型的掩膜板進(jìn)行清洗并吹干；按照三角形圖形在彈性支撐結(jié)構(gòu)2的對(duì)應(yīng)位置上涂布上述材料；再對(duì)上述材料進(jìn)行uv固化或者加熱以進(jìn)行固化，從而便形成了本發(fā)明提供的掩膜板。本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，上述材料可以采用條形涂布(stripcoating)或者點(diǎn)膠(dispenser)的方式進(jìn)行涂布，但并不以此為限。

繼續(xù)參照?qǐng)D1至圖3，根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，彈性支撐結(jié)構(gòu)2的厚度可以為1-10μm，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中的oled蒸鍍用掩膜板支撐架，本發(fā)明中的彈性支撐結(jié)構(gòu)2的厚度更小，從而可以使蒸鍍精度更高；另一發(fā)面，由于彈性支撐結(jié)構(gòu)2涂覆于掩膜板本體的表面上，因此兩者之間的貼附性更好，從而也進(jìn)一步提高了蒸鍍精度，但不以此為限，彈性支撐結(jié)構(gòu)2的厚度可以根據(jù)實(shí)際需要而進(jìn)行選擇，都在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。該彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以采用旋涂或者整面涂布(coating)的正面涂布方式進(jìn)行涂布。具體地，首先可以先對(duì)已經(jīng)成型的掩膜板進(jìn)行清洗并吹干；在掩膜板本體的板條上進(jìn)行涂布上述彈性支撐結(jié)構(gòu)2；再對(duì)涂布的上述整面彈性支撐結(jié)構(gòu)2進(jìn)行曝光，以在彈性支撐結(jié)構(gòu)2上形成所需的三角形通孔，從而便可形成本發(fā)明提供的掩膜板。根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，相鄰的三角形通孔之間的板條的寬度可以小于或者等于200μm。根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，彈性支撐結(jié)構(gòu)2可以為樹脂類材料，也可以為亞克力材料，或者其它柔性或略帶彈性的材料，以具有一定的支撐性。本發(fā)明限定的彈性支撐結(jié)構(gòu)，既能夠具有很好的剛性以對(duì)掩膜板起到支撐作用，又能夠具有很好地彈性，用于防止掩膜板與基板接觸，從而可以很好地防刮擦。

根據(jù)本發(fā)明的一具體實(shí)施方式，其中掩膜板可以有金屬材料制成。例如但不限于，掩膜板可以由不銹鋼或者因瓦合金制成。

所描述的特征、結(jié)構(gòu)或特性可以以任何合適的方式結(jié)合在一個(gè)或更多實(shí)施方式中。在上面的描述中，提供許多具體細(xì)節(jié)從而給出對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的充分理解。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員將意識(shí)到，可以實(shí)踐本發(fā)明的技術(shù)方案而沒有所述特定細(xì)節(jié)中的一個(gè)或更多，或者可以采用其它的方法、組件、材料等。在其它情況下，不詳細(xì)示出或描述公知結(jié)構(gòu)、材料或者操作以避免模糊本發(fā)明的各方面。