技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠?qū)⒀心|的表面溫度保持在所期望的目標(biāo)溫度的用于對(duì)研磨墊的表面溫度進(jìn)行調(diào)整的裝置和方法。一種用于對(duì)研磨墊(3)的表面溫度進(jìn)行調(diào)整的裝置，其具備：墊接觸構(gòu)件(11)，其可與研磨墊(3)的表面接觸，且在內(nèi)部形成有加熱流路(61)和冷卻流路(62)；加熱液供給管(32)，其連接到加熱流路(61)；冷卻液供給管(51)，其連接到冷卻流路(62)；第一流量控制閥(42)，其安裝于加熱液供給管(32)；第二流量控制閥(56)，其安裝于冷卻液供給管(51)；墊溫度測(cè)定器(39)，其對(duì)研磨墊(3)的表面溫度進(jìn)行測(cè)定；以及閥控制部(40)，其基于研磨墊(3)的表面溫度對(duì)第一流量控制閥(42)和第二流量控制閥(56)進(jìn)行操作。

技術(shù)研發(fā)人員：丸山徹;松尾尚典;本島靖之;江藤洋平;小松三教
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社荏原制作所
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.22
技術(shù)公布日：2017.08.29